C2MGZN maart 2021

CONTAMINATION CONTROL MAGAZINE | UITGAVE VAN VCCN | JAARGANG 34 | EDITIE 1-2021

C

2

MGZN

GOEDE VENTILATIE VEREIST De huidige richtlijnen schieten tekort Energie-efficiëntie Meetmethoden voor het verbeteren van energieverbruik REST GAS ANALYSATOR Wat is het en hoe pas je het toe?

WE SHARE THE KNOWLEDGE Vereniging Contamination Control Nederland

® SCIENTIFIC CREDIBILITY

Quality has its color

is a brand of STAXS®

Discover the DOTCH® cleanroom disposables

www.staxs.eu

Passion for solutions

Met veel expertise en passie bieden we duurzame oplossingen voor cleanroomkleding, reiniging en opleiding. Zo combineren we moderne technologieën en gevalideerde processen met een hoogwaardige en transparante dienstverlening. We creëren op­ lossingen op maat en ondersteunen je bij de realisatie van ultraschone productieomgevingen.

Get in touch for your clean solution!

Contact Nederland: +31 402621692 cleanrooms.nl@cws.com Contact België: +32 33554903 cleanrooms.be@cws.com

CWS.COM/CLEANROOMS

V O O R W O O R D

De toekomst maken we samen Tastten we een jaar geleden nog in het duister, inmiddels beginnen we te begrijpen aan welke knoppen we kunnen draaien om de pandemie op z’n minst beheersbaar te houden. Belangrijker is dat we steeds meer middelen krijgen waardoor we straks dichter bij elkaar kunnen komen en daarmee de samenwerking verbeteren.

Door bakens te verzetten en veel te digitaliseren hebben vele verenigingen het contact en de uitwisseling met hun leden kunnen voortzetten. Zo ook VCCN. Echter het was en is wel continue puzzelen en aanpassen. Dat doet een stevig beroep op onze commissies, het bestuur en verenigingsbureau. Maar we staan bij het begin van 2021 in de startblokken om weer volop door te pakken met onze activiteiten, bijeenkomsten en trainingen. Uiteraard zal dat alles zowel fysiek als digitaal plaatsvinden. We zien een toenemende vraag naar trainingen en opleidingen. Immers contamination control staat steeds meer centraal, zowel bij bestaande als nieuwe bedrijven en instellingen. Tegelijkertijd zijn voor alle COVID testen en vaccins nieuwe cleanrooms en laboratoria noodzakelijk. Dat is in de eerste plaats goed nieuws voor de samenleving maar ook voor de bedrijven die deze faciliteiten mogelijk maken.

De VCCN visie ‘we share the knowledge’ wordt momenteel verder uitgewerkt door de nieuwe commissie Kennis met Jos Bijman, Paul Joosten en Koos Agricola. De routekaart staat inmiddels op papier en wordt in maart door het bestuur aangescherpt en samengebracht met het beleidsplan voor de komende vijf jaar. Uiteraard houden we jullie hiervan op de hoogte en gaan graag met jullie hierover in gesprek. Bijvoorbeeld tijdens de ALV en aankomende symposia.

Alvast enkele zaken die eruit springen: verbreden van opleidingen, vernieuwen en uitbreiden van digitaal cursusmateriaal en verzorgen van in-house trainingen, ook aan nieuwe bedrijven. Tegelijkertijd blijft VCCN zelf ook kennis ontwikkelen, bijvoorbeeld in Richtlijn 12 die dit jaar zijn definitieve vorm krijgt.

Helaas moet de vereniging ook een zeer vertrouwde kracht gaan missen: Paul van Rij. Paul is sinds 1997 onze secretaris vanuit het verenigingsbureau. Vooruitlopend op de ALV danken we hierbij Paul alvast voor al zijn goede werk, toewijding en collegialiteit.

Gelukkig hebben we samen met het verenigingsbureau een kundig opvolg(st)er gevonden: Judith Ruijter-Overklift Vaupel Kleijn.

Namens jullie allen heet ik Judith hartelijk welkom. We kijken uit naar de goede samenwerking en wensen haar heel veel succes.

Samenvattend is duidelijk dat VCCN volop borrelt en bruist. Daarbij denk ik dat ik namens jullie allen spreek als ik uitzie naar het eerst mogelijke moment om elkaar weer live te ontmoeten.

GOEDE VENTILATIE HEEFT IN NEDERLAND ONTERECHT EEN ONDERGESCHIKTE ROL Het RIVM ziet geen aanleiding om te twijfelen aan de ventilatieeisen uit het Bouwbesluit, ondanks nieuwe inzichten van experts.

Goede ventilatie krijgt daardoor in Nederland ten onrechte een ondergeschikte rol. Ook UVGI is volgens Paul Joosten een goed middel tegen de overdracht van infectieziekten.

Francesco Franchimon & Paul Joosten

DE DEPOSITIESNELHEID VAN DEELTJES Contaminaties met ernstige ongewenste gevolgen vinden veelal plaats door macro-deeltjes groter dan 5 µm. De oorzaak van de contaminatieproblemen wordt duidelijk als men de grotere deeltjes in de ruimte gaat tellen en meten. Dit lukt niet zo goed met het bemonsteren van de lucht, maar wel door het tellen en meten van de deeltjes die op oppervlakken terechtkomen.

Een maat hiervoor is de deeltjesdepositiesnelheid.

Eric Stuiver, voorzitter

Koos Agricola

4

06

10

INHOUD ENERGIE EFFICIËNTIE Recentelijk zijn er normen vrijgegeven die betrekking hebben op de kwantificering van lucht- en oppervlakte chemische concentraties, nano deeltjes en de selectie en het testen van apparatuur voor gebruik in cleanrooms. Afgezien van misleidende informatie in het originele deel 4 document over ontwerp, is daarin het onderwerp energiebehoefte in cleanrooms over het hoofd gezien.

Richard Gibbons

16

28

VOORWOORD Voorwoord De toekomst maken we samen HET BELANG VAN VENTILATIE Op het gebied van ventilatie hebben de experts vele nieuwe inzichten DEELTJES DEPOSITIE De nieuwe ISO-norm voor deeltjes depositie is klaar voor publicatie STOFFY & BEESIE Stoffy en Beesie zijn klaar met de Covidvarianten en willen zelf weer aan de slag EFFICIËNT OMGAAN MET ENERGIE Met deze 3 methodes lukt het om het energieverbruik te optimaliseren RESTGAS ANALYSE In de loop van 2021 wordt een eerste standaard verwacht CURSUS UITGELICHT Introductie Cleanroom Gedrag Hoe handel je veilig in een cleanroom?

VOORSTELLEN NIEUWE LEDEN Welkom bij als lid van VCCN!

29

DATA Data cursussen

29

COLOFON Redactieleden en contactgegevens

04 06 10 15 16 20 26

REST GAS ANALYSE Een RGA is de afkorting van Rest Gas Analysator, dit is een complex meetinstrument om de samenstelling van een gasmengsel te bepalen. Hiervoor bestaan veel verschillende technieken. In dit artikel zal worden ingegaan op de door ASML gebruikte RGA in vacuüm condities, de zogenaamde Quadrupool massa spectrometer.

John Stegeman

20 Contamination Control Magazine editie 01-2021

5

GOEDE VENTILATIE Het RIVM ziet nog geen aanleiding om te twijfelen aan de ventilatie-eisen uit het Bouwbesluit, ondanks nieuwe inzichten van experts.

Goede ventilatie krijgt daardoor in Nederland ten onrechte een ondergeschikte rol.

Francesco Franchimon en Paul Joosten

Ook UVGI is volgens Paul een goed in te zetten middel; een desinfectiemethode waarbij gebruik wordt gemaakt van ultraviolet licht dat bacteriën en virussen kan uitschakelen.

6

“

Hoewel steeds meer wetenschappers ervan overtuigd zijn dat aerosolen een belangrijke rol spelen bij de verspreiding van SARS-CoV-2, houdt het RIVM vast aan de ventilatievoorschriften uit het Bouwbesluit. Dat moet anders, stellen Francesco Franchimon en Paul Joosten. “De huidige richtlijnen schieten tekort als het gaat om het beperken van het risico op overdracht van infectieziekten.”

Een gebouw aanpassen is meestal

ingrijpend

en die optie lijkt daardoor op de korte

“

termijn minder

interessant.

Infectiepreventie Die gedachte wordt onder meer gedeeld door zeventien experts in een artikel voor Journal of Hospital Infection [1], waarin mythes over luchttransmissie aan de kaak worden gesteld.

De auteurs roepen op tot een herziening van de wetenschap, zeker in het licht van preventie en bestrijding van SARS-CoV-2. Desondanks ziet het RIVM nog geen aanleiding om te twijfelen aan de ventilatie-eisen uit het Bouwbesluit, wat feitelijk een taak is van de Gezondheidsraad.

Maar ventilatie krijgt daardoor binnen het OMT en in de Nederlandse overheidscommunicatie – anders dan in bijvoorbeeld de WHO, Canada, de Verenigde Staten, Duitsland of België – ook geen prominente rol.

Een gemiste kans, vindt Francesco. “De huidige voorschriften uit het Bouwbesluit – opgesteld in 1984 en in 2012 nog eens herzien door de Gezondheidsraad – zijn er vooral op gericht dat de lucht in een ruimte niet bedompt moet zijn of onfris moet ruiken.

Het lijkt dan of de ventilatie op orde is, maar er wordt geen rekening gehouden met het risico op overdracht van infectieziekten.”

Om de lucht in een ruimte te verdunnen en virusdeeltjes te verwijderen schieten de huidige richtlijnen volgens Francesco echt tekort. “Die evidence based approach van het RIVM, OMT en de Nederlandse overheid op het gebied van ventilatie houdt mogelijkheden tegen om het infectierisico verder te beperken.

Terwijl sommige andere maatregelen toch ook niet volledig wetenschappelijk onderbouwd kunnen worden, maar wel een bijdrage leveren aan infectiepreventie.”

Francesco verwijst naar de manier waarop de afgelopen eeuw naar ventilatie werd gekeken. “Honderd jaar geleden bepaalden artsen hoeveel er moest worden geventileerd, kijkend naar de gezondheid van mensen.

De komst van antibiotica en vaccins stelden ons in staat om op het gebied van ventilatie meer te denken vanuit comfort en later ook vanuit energie en duurzaamheid. Eigenlijk zou je kunnen zeggen dat we nu een eeuw zijn teruggeworpen in de tijd. Dat vraagt om een aanpak waarbij gezondheid weer leidend wordt: van ventilatie voor comfort naar ventilatie voor gezondheidswinst.”

Contamination control-denken Ook Paul Joosten is ervan overtuigd dat effectieve ventilatie, mogelijk versterkt door deeltjesfiltratie en luchtdesinfectie, een

bijdrage levert in het verminderen van het risico op infectie door virale deeltjes. “Het zou heel verstandig zijn om naar alle ruimtes te kijken door een contamination controlbril”, stelt hij. “In kantoren, scholen, horeca of sportscholen zijn eisen natuurlijk minder streng dan in operatiekamers of cleanrooms, maar de basisvraag blijft overeind: ‘hoe verkleinen we het risico op mogelijke verontreiniging in deze ruimte?’ Die manier van denken moet in het DNA komen van iedereen die zich bezighoudt met de gebouwde ruimte, te beginnen met de instanties die de richtlijnen bepalen.”

Oog voor lange termijn Ergens begrijpt Paul de terughoudendheid vanuit het RIVM, OMT, de Nederlandse overheid én bij gebouweigenaren. “Aanpassingen in gebouwen zijn meestal ingrijpend en lijken daardoor op korte termijn minder interessant”, geeft hij aan. “We zijn al aan het vaccineren, dus waarom extra investeringen? Toch vereist goede ventilatie in gebouwen nú onze aandacht. Niet in de laatste plaats omdat SARS-CoV-2 – inclusief alle gemuteerde varianten daarvan – hoogstwaarschijnlijk niet onze laatste pandemie zal zijn. Elke investering die men nu doet op het gebied van infectiepreventie, helpt ons op lange termijn duurzaam verder te gaan.”

Volgens Paul is het daarom belangrijk te blijven kijken naar wat wél kan. “Neem HEPAfilters”, zegt hij. “Die verwijderen deeltjes uit de luchtstroom en worden nu meestal ingezet in kritische ruimtes als operatiekamers, cleanrooms, laboratoria en isolatiekamers.

In de ventilatiesystemen van kantoren en klaslokalen hoef je wellicht niet direct over te gaan tot volledige HEPA-filtratie, maar je kunt wel nadenken over bijvoorbeeld luchtreinigers die kamerlucht op een soortgelijke wijze filteren.” Ook UVGI is volgens Paul een goed in te zetten middel; een desinfectiemethode waarbij gebruik wordt gemaakt van ultraviolet licht dat bacteriën en virussen kan uitschakelen. Zo wordt lucht gedesinfecteerd voordat het wordt gerecirculeerd. “En als dat nu nog niet kan – bijvoorbeeld door de crisis – zorg dan in elk geval dat je zo veel mogelijk verse lucht binnenhaalt en maximaal ventileert.

Als je blijft kijken naar wat binnen je vermogen ligt, is er al best veel mogelijk.”

Om professionals te helpen de ventilatie in gebouwen te optimaliseren is Het Masterplan Ventilatie opgericht; een initiatief van TVVL,,

Contamination Control Magazine editie 01-2021

7

GOEDE

VENTILATIE -vervolg-

Om de ontwikkeling van infectieziekten en chronische ziekten te beperken, is het belangrijk dat de luchtkwaliteit die wordt ingeademd op een acceptabel niveau is.

8

Binnenklimaat Nederland, ISSO en VCCN waarin experts op het gebied van ventilatie en luchtreiniging voor het beperken van de virusverspreiding hun krachten bundelen.

“Deskundigheid en kennis op het gebied van ventilatie en installatietechniek in gebouwen zijn al jaren geborgd binnen deze verenigingen”, geeft Paul aan. “Het voelt als een logische stap om nu de handen ineen te slaan en andere professionals via onder meer masterplanventilatie.nl te voorzien van kennis, tools en hulpmiddelen die bijdragen aan betere ventilatie.”

is weer anders dan praten. Die factoren spelen allemaal mee in de huidige ventilatiebehoefte en het wordt tijd dat daar in Nederland eens serieus naar wordt gekeken.”

Huidige ventilatiebehoefte Als het aan Francesco en Paul ligt, wordt er snel opnieuw naar het Bouwbesluit gekeken.

“Om de ontwikkeling van infectieziekten maar ook chronische ziekten te beperken, is het belangrijk dat de luchtkwaliteit die mensen inademen op een acceptabel niveau is als preventief middel tegen deze ziekten”, legt Francesco uit. “Daarvoor moeten ventilatieeisen niet alleen worden gebaseerd op comfort, maar juist ook op parameters als het aantal aanwezige deeltjes in een ruimte, ook wel de biologische en chemische agentia genoemd.” Francesco stelt dat men daarbij niet alleen moet kijken naar hoe vaak de lucht in een ruimte wordt ververst, maar men ook onderscheid moet maken in de fysieke activiteiten (zitten, staan, lopen, sporten) die er plaatsvinden en de aanwezigheid van vervuilingsbronnen. “Een afgesloten vergaderruimte vereist bijvoorbeeld meer ventilatie dan een ruime kantoortuin. En zingen

BRON: [1. Tang JW, Bahnfleth WP, Bluyssen PM, Buonanno G, Jimenez JL, Kurnitski J, Li Y, Miller S, Sekhar C, Morawska L, Marr LC, Melikov AK, Nazaroff WW, Nielsen PV, Tellier R, Wargocki P, Dancer SJ, Dismantling myths on the airborne transmission of severe acute respiratory syndrome coronavirus (SARS-CoV-2)], Journal of Hospital Infection, Published: January 12, 2021]

Op www.masterplanventilatie.nl vindt de overdracht van actuele kennis, en informatie over tools en hulpmiddelen op dit gebied plaats.

Gebouweigenaren zijn zich volgens Paul inmiddels wel bewust van het belang van goede luchtverversing. “Maar als het RIVM aangeeft dat de huidige richtlijnen voldoende zijn, verandert er niets”, zegt hij. “En dat is wél nodig. Die urgentie leeft al bij wetenschappers, maar moet ook echt een nieuwe standaard worden in de bouwwereld.”

GOED ZITTEN IN EEN CLEANROOM: BETAALBAAR EN DUURZAAM! Diverse cleanroomklasses beschikbaar. Bekijk alle producten en informatie op www.cleanroom.nl

© KMWE

Onze vakmensen hebben de kennis en vaardigheden in huis Cleanroom Combination Group realiseert geclassificeerde ruimtes in de zorg, farma en biotech, als ook in laboratoria, nucleaire, hightech en overige hoogwaardige industrieën.

www.cleanroomcg.com

9

DEELTJES DEPOSITIE De oorzaak van de contaminatieproblemen wordt duidelijk als men de grotere deeltjes in de ruimte gaat tellen en meten.

De nieuwe ISO-norm voor deeltjesdepositie is klaar voor publicatie.

Koos Agricola

10

“

De snelheid van de depositie van deeltjes hangt af van de grootte van de deeltjes.

Cleanrooms worden beoordeeld op data die verkregen wordt met lichtverstrooiingsdeeltjestellers. Dit is logisch omdat cleanrooms ook op basis van die deeltjestellingen worden geclassificeerd. Contaminaties met ernstige ongewenste gevolgen vinden veelal plaats door macro-deeltjes groter dan 5 µm. Deze problemen worden daardoor vaak aangepakt door het aantal luchtwisselingen in de cleanroom te verhogen. De effectiviteit van dit soort acties valt tegen. De oorzaak van de contaminatieproblemen wordt duidelijk als men de grotere deeltjes in de ruimte gaat tellen en meten. Dit lukt niet zo goed met het bemonsteren van de lucht, maar wel door het tellen en meten van de deeltjes die op oppervlakken terechtkomen. Een maat hiervoor is de deeltjesdepositiesnelheid. Deze hangt af van de deeltjesconcentratie in de lucht en de depositiesnelheid. De depositiesnelheid hangt af van de sedimentatiesnelheid en luchtbewegingen.

Cleanrooms worden beoordeeld op data die verkregen wordt met lichtverstrooiingsdeeltjestellers. Dit is logisch omdat cleanrooms ook op basis van die deeltjestellingen worden geclassificeerd.

Contaminaties met ernstige ongewenste gevolgen vinden veelal plaats door macrodeeltjes groter dan 5 µm. Deze problemen worden daardoor vaak aangepakt door het aantal luchtwisselingen in de cleanroom te verhogen. De effectiviteit van dit soort acties valt tegen. De oorzaak van de contaminatieproblemen wordt duidelijk als men de grotere deeltjes in de ruimte gaat tellen en meten. Dit lukt niet zo goed met het bemonsteren van de lucht, maar wel door het tellen en meten van de deeltjes die op oppervlakken terechtkomen. Een maat hiervoor is de deeltjesdepositiesnelheid. Deze hangt af van de deeltjesconcentratie in de lucht en de depositiesnelheid. De depositiesnelheid hangt af van de sedimentatiesnelheid en luchtbewegingen.

Hoe groter (zwaarder) het deeltje, hoe sneller het vanuit de lucht op oppervlakken terechtkomt. Deeltjes groter dan 25 µm vallen dusdanig snel dat ze nauwelijks meer met de cleanroomlucht kunnen worden afgevoerd.

In de ISO Technische Commissie 209 voor cleanroom normen werd erkend dat er voor deeltjes groter dan 25 µm geen norm is. De manier waarop deze deeltjes op oppervlakken terechtkomen en de meting van de deeltjesdepositiesnelheid zijn weliswaar beschreven in ISO 146449:2012 ‘Oppervlaktereinheid op basis van deeltjesconcentraties’ en in de in 2019 gepubliceerde ISO 14644-3 over meetmethoden. NEN heeft toen aangegeven dat zij met hulp van VCCN wel een internationale werkgroep wilde trekken om een norm voor deeltjesdepositiesnelheid te ontwikkelen. Eind 2016 werd ISO TC209 Werkgroep 14 Deeltjesdepositiesnelheid opgezet. Projectleider werd Koos Agricola en VCCN experts waren Jacques van der Donck en Frans van Vroonhoven. Verder waren er

experts uit het Verenigd Koninkrijk, Ierland, Denemarken, Duitsland, Frankrijk, Italië, Australië en China. Als startpunt werd VCCN Richtlijn 9 gebruikt.

Aangezien de manier waarop de deeltjesdepositiesnelheid gemeten kan worden al in ISO 14644-3 staat, is ervoor gekozen de norm op te stellen voor toepassingen van deeltjesdepositiesnelheid.

In acht internationale bijeenkomsten zijn vervolgens een werkdocument, commissie concept, een concept norm en tot slotte een definitief concept opgesteld die telkens door de normorganisaties van de ISO landen die lid zijn van de TC209 werden beoordeeld en van commentaar voorzien. In december 2020 werd het norm document definitief goedgekeurd.

Afgelopen maand zijn de laatste redactionele correcties gemaakt en in februari 2021 is de nieuwe norm gepubliceerd. Hieronder wordt de inhoud besproken.

ISO 14644-17 Toepassingen van deeltjesdepositiesnelheid De norm bestaat naast het voorwoord en de inleiding uit acht normatieve pagina’s en 17 informatieve pagina’s in vijf bijlagen.

In de inleiding wordt uitgelegd dat de deeltjesdepositiesnelheid bepaald wordt door het meten van de deeltjesconcentratie op een testplaat, die op een plaats in de buurt van het kritisch product wordt gelegd.

Na een bepaalde blootstellingstijd wordt de concentratie weer gemeten en het verschil wordt gedeeld door de blootstellingstijd. De deeltjesdepositiesnelheid wordt uitgedrukt in aantal deeltjes per m2 per uur. De deeltjesdepositiesnelheid hangt af van de deeltjesgrootte. Tevens wordt vermeld dat de gemeten deeltjes micro-organismen kunnen dragen. Deze bevinden zich gemiddeld op deeltjes groter dan 15 tot 25 µm. De kans op oppervlaktecontaminatie wordt bepaald door de lokale deeltjesdepositiesnelheid, het kwetsbare oppervlak en de blootstellingstijd.

De strekking van de norm betreft de interpretatie en toepassing van de resultaten 

Contamination Control Magazine editie 01-2021

11

“

DEELTJES DEPOSITIE -vervolg-

van de meting van de deeltjesdepositiesnelheid op een of meer kwetsbare oppervlakken in een cleanroom als onderdeel van een contaminatiebeheersingsprogramma. De norm geeft enkele instructies om de depositiesnelheid van deeltjes te beïnvloeden en het risico van deeltjescontaminatie op kwetsbare oppervlakken te verminderen. De norm geeft informatie over hoe een cleanroomgebruiker de deeltjesdepositiesnelheidsmetingen kan gebruiken om limieten te bepalen die kunnen worden gesteld aan macrodeeltjes op kwetsbare oppervlakken. De norm bevat tevens een risicobeoordelingsmethode waarmee een aanvaardbaar risico van depositie van deeltjes op kwetsbare oppervlakken in een cleanroom kan worden vastgesteld en, wanneer die wordt bereikt of overschreden, methoden die kunnen worden gebruikt om de depositiesnelheid van deeltjes te verminderen.

Wanneer een oplossing voor een beheerste contaminatie beperking van een kwetsbaar oppervlak van een onderdeel, product, proces of patiënt (‘contamination control’ oplossing) wordt gezocht, dient eerst een risicoanalyse uitgevoerd te worden. Hiermee wordt bepaald wat de kritische oppervlakken en deeltjesgrootte(s) is of zijn en op welke locaties deze oppervlakken worden blootgesteld. Dit kan afhankelijk zijn van verschillende soorten deeltjes, bijvoorbeeld geleidende of isolerende deeltjes. De limiet van de deeltjescontaminatie met betrekking tot aantal en afmeting wordt bepaald. Vervolgens wordt uitgezocht waar het kwetsbare oppervlak wordt blootgesteld.

De blootstellingstijd, die zo kort mogelijk moet zijn, en het kwetsbare oppervlak bepalen dan de limiet voor de deeltjesdepositiesnelheid per kritische locatie.

De ‘contamination control’ oplossing bevat manieren waarop contaminatie van de omgevingslucht wordt voorkomen; omgevingsoppervlakken worden schoon gehouden; deeltjesbronnen worden beperkt en manieren waarop het kwetsbare oppervlak kan worden afgeschermd van deeltjesbronnen.

In bijlage D wordt aangeven welke eisen aan de luchtreinheid moeten worden gesteld. In de toekomstige VCCN Richtlijn Cleanroomgebruik worden diverse aspecten behandeld.

In het algemeen lost men een deeltjescontaminatie probleem op door te beginnen bij het verminderen van de aanwezigheid van grotere deeltjes.

12

Wanneer de ‘contamination control’ oplossing is geïmplementeerd, is het aan te bevelen de deeltjesdepositiesnelheid te monitoren.

De norm biedt handvatten wat te doen als de gestelde limiet(en) worden overschreden.

Deze zijn beschreven in bijlage E. Aanwijzingen en voorbeelden van het meten van deeltjesdepositiesnelheid en verwerken van deeltjesdepositie data worden beschreven in bijlagen A en B.

Deeltjesdepositiesnelheid hangt af van de deeltjesgrootte. In de norm is daarom een methode beschreven om deeltjesdepositiesnelheden in verschillende niveaus uit te drukken. Het deeltjesdepositiesnelheidsniveau L is gerelateerd aan deeltjes groter dan of gelijk aan 10 µm.

In de norm staat een tabel met L’s van 1 tot 1.000.000 deeltjes ≥ 10 µm per m2·h. Voor deeltjes D ≥ 5 µm, ≥ 10 µm, ≥ 20 µm, ≥ 50 µm, ≥ 100 µm, ≥ 200 µm en ≥ 500 µm zijn dan de deeltjesdepositiesnelheid R weergegeven. De deeltjesgrootte D is de diameter van de kleinste omsluitende bol of cirkel (2- dimensionaal silhouet).

Het deeltjesdepositiesnelheidsniveau L kan als volgt bepaald worden: L = RD·D/10.

Hierin is RD de deeltjesdepositiesnelheid voor deeltjes ≥ D µm.

Als er meerdere RD’s bepaald zijn wordt de maximale L waarde genomen. Het voordeel van het gebruik van L is dat hieruit de R voor niet gemeten waarden, zoals van de kritische deeltjesgrootte(s), bepaald kan worden.

Als de deeltjesdepositiesnelheid voor deeltjes > 100 µm te hoog is, dient over het algemeen de reiniging van de omgevingsoppervlakken en/of de gehele cleanroom verbeterd te worden. Dit kan door vaker te reinigen en eventueel de reinigingsmethode te verbeteren.

Als de deeltjesdepositiesnelheid voor deeltjes > 25 - ≥ 100 µm te hoog is, dient de impact van de personen verkleind te worden. Dit kan bijvoorbeeld door het verminderen van het aantal personen, betere cleanroomkleding, sneller wisselen van cleanroomkleding en/of het verbeteren van de omkleedprocedure (en omkleedruimte).

Als de deeltjesdepositiesnelheid voor deeltjes ≥ 5-25 µm te hoog is, dient waarschijnlijk de ventilatie van de locatie verbeterd te worden.

De norm beschrijft niet wat er voor kleinere deeltjes gedaan moet worden, maar hiervoor bieden de andere normen handvatten.

In het algemeen lost men een deeltjescontaminatie probleem op door te beginnen bij het verminderen van de aanwezigheid van grotere deeltjes en dan gaat men stap voor stap naar de aanpak van de kleinere deeltjes.

Een andere manier om oppervlakte contaminatie door deeltjes te bepalen is door het meten van de bedekkingsgraad van deeltjes. Op het meetoppervlak worden de oppervlakken van de gemeten deeltjes gemeten en gesommeerd.

“

De bedekkingsgraad wordt bepaald door de som van de deeltjesoppervlakken gedeeld door het meetoppervlak. Deze methode wordt onder andere in de ruimtevaart voor optische systemen gebruikt. De bedekkingsgraad O wordt daarom ook wel de ‘obscuration’ of verdonkering van een optisch oppervlak genoemd. O wordt meestal uitgedrukt in mm2/m2.

De norm

geeft enkele instructies om het

Als de verandering van de bedekkingsgraad gedurende blootstelling wordt gemeten en gedeeld wordt door de blootstellingstijd kan de bedekkingssnelheid of verdonkeringssnelheid F bepaald worden. Als F bekend is kan de bedekking van een kwetsbaar optisch oppervlak A gedurende blootstellingstijd t berekend worden: O = F·A/t De nieuwe ISO 14644-17 norm ‘Particle deposition rate applications’ van 2021 is met name voor toepassingen van

kwetsbare oppervlakken in cleanrooms waar personen werken belangrijk. Personen in cleanroomkleding geven naast deeltjes < 5 µm, die met de cleanroomlucht afgevoerd kunnen worden, grotere deeltjes af die minder goed met de ventilatielucht worden afgevoerd.

Geïnteresseerde industrieën zijn onder andere: automobiel (accu’s, sensoren, actuatoren, aandrijvingsdelen), ruimtevaart, beeldschermen, printkoppen, medische producten, apparatuur voor halfgeleider industrie en oppervlakte onderzoek, optische systemen (camera’s tot extreem grote telescopen) en oppervlaktebewerkingen.

Het meten van deeltjesdepositie is de laatste jaren aanzienlijk vereenvoudigd door het aanbod van real-time deeltjesdepositie monitoren. 

Afbeelding 1: Twee Nederlandse deeltjesdepositie monitoren

risico van contaminatie door deeltjes

“

op kwetsbare

oppervlakken te beperken.

Contamination Control Magazine editie 01-2021

13

MEETINSTRUMENTATIE

FlowGuard Transmitters

FlowGuard Transmitters voor lage verschildruk metingen

PsiDac heeft haar succesvolle FlowGuard 6280 druktransmitter lijn verder uitgebreid met 3 nieuwe modellen Applicaties om aan de wensen vanuit de installatiebranche te kunnen blijven voldoen.

• Operatie ruimten • Patiënten kamers Instapmodel 6279 met een 0.5% nauwkeurigheid, inclusief ModBus en een vrij instelbare analoge uitgang.

• Cleanrooms FlowGuard 6282 wordt geleverd met alarm functies en een alarmrelais • Server ruimten FlowGuard 6283 is de meest geavanceerde druktransmitter en heeft als extra functies, de luchtstroom, de • Ruimtedruk bewaking luchtsnelheid en de luchtwisselingen per uur (ACPH) • VAV boxen Alle modellen zijn optioneel leverbaar met een auto zero functie en een display. De druksensor is leverbaar als • alarm applicaties bi­directioneel, uni directioneel of thermisch (voor zeer lage drukken) • Flow metingen

www.catec.nl ­ info@catec.nl ­ +31 174 272330

www.dcrf

info@dcr

0412 451

Meerstraa Heeswijk-

info@dcrf.nl | 0412 451579 | Meerstraat 22, Heeswijk-Dinther DCRF Advertentie 2017 DEF (191 x 126).indd 1

Meer weten? www.dcrf.nl 26-06-17 17:35

Cleanrumours Stoffy en Beesy waren onderweg. Het was een mooie dag nadat het een paar dagen gesneeuwd had. Nu scheen echter de zon en alles zag er vrolijk uit. Het was wel erg stil in de stad. Ze keken elkaar aan en dachten hetzelfde op dat moment, nog steeds is er een lockdown vanwege het zusje van Beesy uit China.

Beesy keek Stoffy vragend aan. “Waarom is iedereen nog zo voorzichtig om niet besmet te raken? Mijn zusje is toch allang onder controle?” “Nou”, zei Stoffy, “dan heb je niet erg opgelet, je zusje is natuurlijk de hele wereld rond geweest en is wat langere tijd hier en daar verbleven.” “Dat is toch juist goed van haar”, zei Beesy. “Je weet toch, ons doel is zo effectief mogelijk zijn.” “Ja dat klopt”, zei Stoffy, “ maar ondertussen is ze zo lang aanwezig dat er allerlei varianten van haar zijn ontstaan. Ze kreeg opeens hulp van een Brits zusje en ook van een Zuid Afrikaans zusje. En die zijn op dezelfde manier verder gegaan als je Chinese zus.

Het gevolg is dat we iedereen al bijna een jaar in de tang hebben.”

“Nou”, zei Beesy “hopelijk lukt het om nog een tijdje actief te zijn.” Stoffy dacht eens na en zei, “geloof maar niet dat de mensen dit over hun kant laten gaan, ze zijn al begonnen met vaccineren en als dat klaar is dan zal alles wel weer normaal worden.” “Daar zal ik alleen maar blij om zijn, kan ik weer aan de slag en op zijn tijd hier en daar laten zien dat ik er ook nog ben”, zei Beesy. “Ook wij simpele organismen hebben recht op onze plaats in de samenleving. Dus ik hoop net als iedereen dat alles weer snel terug gaat naar normaal. Hier en daar een griepje, af en toe een verkoudheid. Nooit gedacht dat ik daar naar terug zou verlangen.”

&

Stoffy Beesy 15

ENERGIE EFFICIËNTIE Het conditioneren van de toegevoerde lucht en circulatievouden zijn de belangrijkste bijdragen aan het energieverbruik in cleanrooms, in sommige faciliteiten tot wel 80% van de totale energie die nodig is.

Richard Gibbons

16

“

In deel 4 is het verbruik vanen behoefte aan energie over het hoofd gezien.

De groep normen ISO 14644 betreft cleanroom normen. Hier wordt al vele jaren de ontwikkeling van de cleanroom techniek gevolgd, de normen omvatten alle facetten van cleanroom activiteiten en cleanroomtypes, van grote balzaalcleanrooms tot tunnel-concepten, laminair airflow units en isolatoren.

Historisch gezien begon de ISO 14644 serie met informatie over het testen en meten van deeltjesconcentraties in de lucht en een classificatiesysteem voor toelaatbare deeltjesconcentraties in cleanrooms. Richtlijnen voor basisontwerp en praktijk volgden al snel en leidden tot een reeks ISO cleanroom-normen die nu wereldwijd wordt geaccepteerd. Deze groep normen wordt constant gereviseerd en wordt nog steeds uitgebreid.

Recentelijk zijn er normen vrijgegeven die betrekking hebben op de kwantificering van lucht- en oppervlakte chemische concentraties, nano deeltjes en de selectie en het testen van apparatuur voor gebruik in cleanrooms. Afgezien van misleidende informatie in het originele deel 4 document over ontwerp, is daarin het onderwerp energiebehoefte in cleanrooms over het hoofd gezien. In diverse landen hebben instellingen zoals de BSI in het Verenigd Koninkrijk, DINVDI in Duitsland en IEST in de Verenigde Staten wel beperkte informatie over dit onderwerp geleverd, maar deel 16 is de eerste internationaal overeengekomen norm. In dit artikel worden de belangrijkste kenmerken van deze nieuwe standaard uitgelegd die in mei 2019 is uitgebracht.

Inleiding De nieuwe norm is geïnitieerd door het Verenigd Koninkrijk als een voortzetting van de Britse in 2013 ontstane energiemanagement norm voor cleanrooms, de BS 85681.

De ISO 14644-16 borduurt verder op het daarin gevestigde principe, dat het conditioneren van de toegevoerde lucht en circulatievouden de belangrijkste bijdragen zijn aan het energieverbruik in cleanrooms, in sommige faciliteiten tot wel 80% van de totale energie die nodig is. Hoewel veel van de oorspronkelijke onderwerpen in BS 8568 over basisprincipes zoals over-engineering, lekpreventie, filterselectie, beheer en onderhoud behouden blijft in de nieuwe ISO 14644-16 norm, is de inhoud uitgebreid en luchtstroom volume assessments vervangt de circulatievouden berekeningen. Deze norm is tot stand gekomen door de vorming van ISO-werkgroep 13 met cleanroom experts uit Australië, China, Europa, Rusland, Scandinavië en de Verenigde Staten die hun ervaring op dit gebied deelden. De werkgroep was het er ook over eens dat een energievergelijkingsschema deel zou moeten uitmaken van de nieuwe norm, gebruikmakend van terminologie en maatstaven die zijn ontwikkeld voor ISO 50001, de Internationale norm voor energiemanagement systemen. Experts uit Frankrijk, Nederland en de Verenigde Staten hebben een uitgebreide bijlage opgesteld om

de berekeningen van dit moeilijke gebied uit te leggen en het gebruik ervan wereldwijd mogelijk te maken. Technisch gezien richt het nieuwe document zich op vier nieuwe onderdelen.

1. Het opstellen van een nauwkeurige User Requirement Specification (URS) om de exacte gebruikersbehoefte te definiëren.

Dit is een normale procedure op het gebied van farmaceutische en medische toepassingen, maar lijkt binnen de mechanische en microelektronische wereld te ontbreken. Effectief ontwerp vereist een nauwkeurige inschatting van hoeveel mensen in de ruimte zullen werken, wat voor soort cleanroomkleding er zal worden gedragen, welk soort materiaal wordt verwerkt, de gebruikte gereedschappen en de uiteindelijke schone lucht- en productkwaliteitsniveaus die moeten worden gehandhaafd.

Er moet ook rekening worden gehouden met de omgeving buiten de faciliteit en seizoensgebonden situaties. Deze overwegingen moeten gedetailleerd worden weergegeven in de ontwerpfase.

2. Een praktische methode voor het berekenen van de hoeveelheid toevoerlucht die nodig is om de gespecificeerde ISO-ruimteclassificaties in bedrijf (operational) te handhaven.

Dit betekent dat er een schatting gemaakt moet worden van de verontreinigingsbelasting vanuit het proces dat plaatsvindt in de cleanroom, van de deeltjes die komen van de mensen die werken in de cleanroom, van hun cleanroomkleding en van het gereedschap.

Dit om de deeltjesconcentratie aan te kunnen geven in de nieuwe luchthoeveelheid formules.

Onderzoeken naar deeltjesconcentraties, zoals die zijn uitgevoerd door Ljungqvist en Reinmüller in Zweden en de International Camfil Farr-groep worden vermeld in de bibliografie.

Een goed presterende cleanroom met een non-unidirectionele luchtstroom vereist een goed en effectief luchtstroomontwerp.

Traditionele luchthoeveelheidberekeningen kunnen worden verbeterd 

Contamination Control Magazine editie 01-2021

17

“

ENERGIE EFFICIËNTIE -vervolg-

door een ventilatie effectiviteit (VE) index op te nemen in de gegevens. Deze index wordt beïnvloed door de plaats van plafondroosters en uitlaatopeningen. Deel 16 geeft twee opties voor deze schatting, namelijk Air Change Effectiveness (ACE) en Contaminant Removal Effectiveness (CRE). De ACE-index vergelijkt hoeveel schone lucht een testlocatie krijgt ten opzichte van het gemiddelde in de cleanroom, terwijl CRE, gebruikt door de European Heating, Ventilation and Airconditioning Association (REHVA) en delen van de Verenigde Staten, dit bekijkt door het vergelijken van de gemiddelde deeltjestelling per kubieke meter in de cleanroom en in het afvoerkanaal.

De ACE-theorie en de nieuwe vergelijkingen zijn ontwikkeld en getest door Dr. Whyte en collega’s in het Verenigd Koninkrijk. Wei Sun’s ASHRAE-experimenten en onderzoekswerk in de VS versterken veel van het denken over en de introductie van CRE. Een aantal van hun artikelen over het onderwerp luchtstromingen wordt vermeld in de bibliografie.

Belangrijk is dat deze niet geschikt zijn voor unidirectionele luchtstroom (UDAF) cleanrooms waar het gehele plafond voorzien is van HEPA filters. Deze ruimtes vereisen optimalisatie van luchtstroomsnelheden, gecontroleerde stationaire verlagingen hiervan en strikte cleanroom discipline. Deze worden behandeld in de hoofdstukken betreffende adaptieve regeling, opleiding, training en onderhoud.

Reeds ontwikkelde instrumenten voor milieubeheer, de normen voor energiebeheersystemen, vooral ISO 500012 en ISO 500063, bevatten een schat aan nuttige informatie

18

3. Tuning.

Bij non-unidirectionele luchtstromingen kan het luchtdebiet alleen bij de ontwerpfase worden ingeschat aangezien alleen geschatte gegevens over deeltjesgeneratie beschikbaar zijn, en er normaliter een compensatiefactor is toegepast. Computational Fluid Dynamics (CFD) kan nuttig zijn bij het bepalen van de grootte en plaatsing van de luchttoevoerpunten en de locatie(s) van de luchtafvoerpunten.

Alexander Fedotov’s progressief testsysteem, ontwikkeld in Rusland, is een pragmatische manier om de voltooide cleanroom te testen en ervoor te zorgen dat de compensatiefactor niet buitensporig is. Dit proces omvat het progressief testen en verlagen van het luchtvolume totdat het juiste reinheidsniveau betrouwbaar wordt gehandhaafd. Dit kan normaal gesproken worden bereikt binnen twee of drie herhalingen van de testcyclus, ervan uitgaande dat het concept goed inregelbaar is.

Een uitgewerkt voorbeeld met betrekking tot bovenstaande theorie is opgenomen in de bijlage van de norm.

4. Benchmarking.

Reeds ontwikkelde instrumenten voor milieubeheer, de normen voor energiebeheersystemen, vooral ISO 500012 en ISO 500063, bevatten een schat aan nuttige informatie met terminologie, ontworpen om de elementen die bijdragen aan het energiegebruik te definiëren. Ze bieden ideale tools voor vergelijkende procesanalyse en de experts van de werkgroep rapporteerden hoe deze waren aangenomen en ontwikkeld in Nederland, de Verenigde Staten en Frankrijk voor vergelijkende analyse van procesverbruik van ventilatoren tijdens de verschillende bedrijfsuren. Daarnaast werkte een technisch team van ASPEC-ADEME in Frankrijk mee met het elektriciteitsbedrijf van EDF om het verbruik in hun nationale schone procesindustrieën te bestuderen. De studie, gepubliceerd in december 2016, vergeleek het jaarlijkse faciliteitsverbruik per proces, met behulp van meetstatistieken zoals de Specific Fan Power(SFP). De studie (gepresenteerd door het EDF-team en werkgroeplid Jean Paul Rignac) is zeer interessante lectuur en laat zien dat deze methoden een uitstekende indicator kunnen zijn voor energiebeheer. Jean Paul kon zijn ervaring delen, en hielp daarmee Peter Bertrand en Norman Goldsmith hun werk aan decomplexe benchmarking bijlage voor deel 16 te voltooien.

Deze bijlage ontwikkelt de basislijn voor de Energie Prestatie-Indicatoren (EnPI’s), zoals gebruikt door het Laurence Berkeley National Laboratory met uitgebreide formules om de drie belangrijke cleanroom gerelateerde metingen als volgt te definiëren: 1.Vermogens intensiteit voor het verwijderen van de verontreiniging (PICR) die het onmiddellijke verbruik aangeeft van het luchtbehandelingssysteem per vierkante meter vloeroppervlak voor het verwijderen van de contaminatie. PICR kan ook worden bepaald op basis van het product van twee deelstatistieken: specifiek ventilatorvermogen, • Het Specific Fan Power (SFP): het totale energievermogen in kj/m3 benodigd om de toevoerlucht van alle luchtbehandelingskasten naar de cleanroom te voeren. Dit kan worden berekend door het totale elektrische vermogen in kW van alle ventilatoren te delen door het totale luchtdebiet in m3/ s • Het genormaliseerde luchtdebiet: de hoeveelheid lucht per vierkante meter in (m3/ s) / m2 die wordt gebruikt om verontreinigingen in de cleanroom te verdunnen en af te voeren. Dit kan worden berekend door het totale luchtdebiet te delen in m3/s door het vloeroppervlak van de cleanroom in m2

“

Deze drie

methodes bieden volop

informatie om het energieverbruik

“

te

verbeteren.

2. De benodigde energie van de ventilator voor verwijderen van verontreiniging (EICR) is vergelijkbaar met PICR maar houdt rekening met energiereductie die optreedt in tijden dat de cleanroom niet in werking is of in adaptieve regelmodus waarbij de luchtstroom varieert afhankelijk van de hoeveelheid van de vervuiling die op dat moment wordt gegenereerd. Deze waarde wordt berekend door het totaal van energieverbruik van alle ventilatorsystemen voor de cleanroom, voor een periode van een jaar en gedeeld door het vloeroppervlak van de cleanroom.

3. Energie-intensiteit (EI) is een basis ontwerp maatstaf die wordt berekend door het gehele jaarlijkse energieverbruik van de betreffende cleanroom en deze dan te delen door het vloeroppervlak.

Deze gegevens worden vervolgens gesorteerd op ISO-klasse, zodat er vergelijkingen kunnen worden gemaakt tussen faciliteiten,bedrijven en industrieën voor de ISO klassen 3 tot 9 in bedrijf.

We zijn van mening dat deze drie meetmethoden veel informatie opleveren waarmee ingenieurs kunnen vergelijken en het energieverbruik binnen de cleanroom industrie kunnen optimaliseren.

Het nieuwe document behandelt ook het belang van correcte gowning, opleiding en training met betrekking tot energiebesparing en behandelt ook onderhoud, lekpreventie, filter- en motorselectie zoals gebruikt in de BS 8568. De selectietabellen van de reductietechniek uit BS 8568 zijn ook verbeterd om de voordelen en/of nadelen van bepaalde reductietechnieken te illustreren.

Tenslotte wil ik al onze werkgroepleden en hun beroepsorganisaties uit China, Duitsland, Nederland, Italië, het Verenigd Koninkrijk en de Verenigde Staten bedanken.

Zij hebben dit werk gesteund vanaf onze voorbereidende werkzaamheden tot het faciliteren van onze vergaderingen. Hoewel het met 43 pagina’s een groot document is, is het goed geïndexeerd en biedt het veel nieuwe en bruikbare informatie.

BRON: 1 BS 8568:2013, Cleanroom energy — Code of practice for improving energy efficiency in cleanrooms and clean air devices 2 ISO 50001:2018, Energy management systems — Requirements with guidance for use 3 ISO 50006:2014, Energy management systems — Measuring energy performance using energy baselines (EnB) and energy performance indicators (EnPI) — General principles and guidance

Contamination Control Magazine editie 01-2021

19

ASML RESTGAS ANALYSE Het transport van verontreinigingen vanaf het oppervlak naar de omgeving, heet ontgassing.

De mate van ontgassing dient bekend te zijn om zeker te stellen dat het EUV-lithografie systeem niet te veel vervuild is.

John Stegeman

20

“

Een beetje geschiedenis…ASML begon als ASM Lithography en werd opgericht in 1984 als een samenwerkingsverband tussen Philips en ASMI (Advanced Semiconductor Materials International), om nieuwe fotolithografie systemen te ontwikkelen (zie kader volgende bladzijde). Het eerste onderkomen van ASML was een simpele loods naast Philips in Strijp Eindhoven, hier werd in hetzelfde jaar het eerste product gelanceerd, de PAS 2000 stepper.

Een Rest Gas Analysator bepaalt de compositie van een gasmengsel.

ASML groeide snel, in 1985 waren er al 100 werknemers en verhuisde naar een nieuw kantoor en fabriek in Veldhoven.

De PAS2500 werd gelanceerd en de tot op heden durende innige samenwerking met Zeiss volgde in 1986. Hierna groeide ASML verder en breidde uit naar Azië en Amerika.

In de jaren 90 werd de baanbrekende PAS5500 gelanceerd, dit betekende de doorbraak van ASML in de halfgeleider wereld. Deze PASsystemen worden tot op de dag van vandaag nog steeds gebruikt in halfgeleider fabrieken.

In 1995 werd ASML zelfstandig en kreeg een notering aan de Nederlandse en Amerikaanse beurzen.

recentelijk de eScan1000 (electron-optics). Dit zijn metrologie systemen voor meten, analyse en controle van het lithografie systeem.

Inmiddels is ASML een multinational, er werken meer dan 26,000 medewerkers van meer dan 123 nationaliteiten in meer dan 60 ASMLlocaties in 16 landen wereldwijd. Daar ASML zelf weinig onderdelen en modules fabriceert, is ASML afhankelijk van een wereldwijde leveranciersketen, de “Supply Chain”.

Hierover nu genoeg, in dit artikel zal de rol van de RGA binnen de ASML Supply Chain worden beschreven.

In het nieuwe millennium werd immersiefotolithografie (een druppel water tussen lens en fotogevoelige laag) en de revolutionaire dual-stage TWINSCAN-technologie geïntroduceerd. Hiermee nam de resolutie en productiviteit enorm toe en dit verstevigde de concurrentiepositie van ASML.

RGA Definitie Een RGA is de afkorting van Rest Gas Analysator, dit is een complex meetinstrument om de samenstelling van een gasmengsel te bepalen. Hiervoor bestaan veel verschillende technieken, in dit artikel zal worden ingegaan op de door ASML gebruikte RGA in vacuüm condities, de zogenaamde Quadrupool massa spectrometer. Hieronder een paar voorbeelden (bron: Inficon).

In 2007 ging ASML zich focussen op zogenaamde “Holistische lithografie”, hierbij wordt het proces voor, tijdens en na de lithografische stap geanalyseerd. Hiervoor ontwikkelde ASML de YieldStar (optisch) en

Waarom is restgas analyse in vacuüm belangrijk voor ASML? ASML-lithografie systemen projecteren dus afbeeldingen met zeer kleine dimensies op foto gevoelige lak. 

Afbeelding 1: De aanvankelijk simpele ASML loods

Afbeelding 2: De PAS 2000 stepper

Afbeelding 3: Het nieuwe ASML kantoor in Veldhoven

Afbeelding 4: Dual-stage TWINSCAN technologie

Contamination Control Magazine editie 01-2021

21

“

RESTGAS

Afbeelding 5: Inficon massa spectrometer

A N A LY S E -vervolg-

Fotolithografie Dit is het afbeelden van een origineel (het ontwerp van de chip) door middel van licht op een foto gevoelige laag op een silicium wafer.

Deze foto gevoelige laag wordt ontwikkeld zodat er een patroon op de wafer achterblijft.

Hierna kunnen verschillende halfgeleider processen selectief worden uitgevoerd zoals etsen, dunne laag depositie of ionen implantatie.

Een moderne chip bestaat uit tientallen verschillende lagen, voor elke laag is opnieuw een foto lithografische stap nodig, uitgevoerd door bijvoorbeeld een ASML machine dus. Het onderste beeld toont schematisch het repeterende proces.

22

Afbeelding 6: fotolithografie golflengte en complexiteit

Afbeelding 7: EUV en het electromagnetische

spectrum

De golflengte van het licht welke voor de productie van chips gebruikt wordt, bepaalt de kleinste afmeting. Het type lichtbron bepaalt echter ook het complete ontwerp van het lithografie systeem. Omdat conventionele lichtbronnen tegen een harde grens aanliepen door de gebruikte golflengte, was er een fundamentele verandering nodig binnen de fotolithografie. Immers de vraag naar steeds complexere en energiezuinige chips neemt alleen maar toe, denk aan kunstmatige inteligentie, zelfrijdende auto’s en 5G (fig.2).

Alweer bijna 20 jaar geleden startte ASML met het EUV-programma. EUV, een afkorting voor Extreem Ultra Violet, is licht met een zeer korte golflengte (fig.3), nodig voor optisch afbeelden van nog kleinere dimensies. EUV licht is echter zeer moeilijk te genereren in voldoende intensiteit.

Elk materiaal, ook lucht, zal dit zeer kortgolvige licht absorberen. EUV licht kan slechts enkele millimeters lucht overbruggen zonder al te veel aan intensiteit te verliezen. Het verlies in intensiteit is door ASML opgelost door de gehele optiek, inclusief lichtbron, in een vacuüm omgeving te plaatsen. Hierbij werden tevens de traditionele lenzen vervangen door spiegels, daar ook lenzen EUV licht absorberen.

Deze spiegels zijn echter extreem gevoelig voor vervuiling, bijvoorbeeld organische moleculen in oliën en vetten. Toegepaste onderdelen in het vacuüm zullen altijd een bepaalde hoeveelheid vervuiling toevoegen aan de vacuüm omgeving.

Deze vervuiling is enerzijds toegevoegd tijdens het maakproces (draaien en frezen) maar

soms is het gekozen materiaal zelf een bron van vervuiling (kunststof slangen, printplaten etc.).

Het transport van verontreinigingen vanaf het oppervlak naar de omgeving, het vacuüm, wordt ontgassing genoemd.

De mate van ontgassing dient bekend te zijn om zeker te stellen dat het EUV-lithografie systeem niet te veel vervuild en dus minder onderhoud of vervangingsonderdelen nodig heeft. De vervanging van de spiegels is erg kostbaar en heeft een grote impact op de beschikbaarheid van het EUV-lithografie systeem voor productie bij de klant van ASML. Daarom hebben bijna alle onderdelen in het vacuüm van een EUVsysteem een ontgassing specificatie en is de restgasanalyse met een RGA-meting van alle kritische vacuüm componenten zo belangrijk!

Waarom dan RGA-metingen bij de leverancier?

De meeste onderdelen in een EUV-lithografie systeem worden door ASML ingekocht, de supply chain.

Om te voorkomen dat een aan ASML geleverd onderdeel of module te veel ontgast, worden deze onderdelen vooraf met een RGA-meting gecontroleerd. Zonder deze controle is er een grote kans dat een onderdeel met een te hoge ontgassing wordt ingebouwd in een EUV-lithografie systeem. Tijdens deze opbouw worden slechts enkele RGA-metingen uitgevoerd. Als bij een dergelijke RGA-meting een te hoge ontgassing wordt vastgesteld, is het niet meer mogelijk vast te stellen welk onderdeel deze ontgassing veroorzaakt. Deze situatie is uitermate ongewenst.

De vraag is dan ook wanneer een RGAmeting noodzakelijk is. Op een te hoog niveau beginnen is wellicht te risicovol, een te laag niveau is waarschijnlijk te duur. Deze vraag wordt beantwoord in het “Technical Product Documentation” of TPD-pakket. ASMLdesigners hanteren interne richtlijnen en rekenmodellen om de ontgassing specificatie in het TPD op te nemen. De uiteindelijke specificatie wordt vermeld op het TPD-160 blad, onderdeel van het TPD-pakket. Het maakt in principe niet uit of het een simpel boutje is, of een complexe module.

Hoe minimaliseer je de ontgassing?

Voorkomen van ontgassing is onmogelijk, maar om de ontgassing vanaf of vanuit onderdelen in het vacuüm te minimaliseren, en daarmee de levensduur te verlengen van de spiegels, dienen deze onderdelen gemaakt te worden van toegestane materialen en, daarbovenop, volgens een bepaalde vervaardigings- en reinigingsstrategie, te worden geproduceerd.

Dit proces begint bij het ontwerp. ASMLdesigners dienen het onderdeel te construeren van materialen met de juiste eigenschappen, dus niet alleen mechanische en optische eigenschappen zijn hier belangrijk maar ook de ontgassing eigenschappen van de gekozen materialen. Daarnaast heeft het ontwerp vaak een effect op de reinigbaarheid van het onderdeel, denk hierbij aan ingesloten volumes, nauwe naden en kieren.

Het complete ontwerp met alle specificaties wordt middels het TPD-pakket gedeeld met de leverancier van het onderdeel. Deze documenten bevatten naast tekeningen en specificaties, ook verwijzingen GSA’s (Generic Standard of ASML), ASML-richtlijnen.

Voor deze vacuüm gerelateerde verontreinigingen zijn de GSA’s “Vacuum Cleanliness” en “RGA Verification” van toepassing. Recentelijk is daar voor de laatste generatie EUV-systemen de GSA “Molecular Cleanliness” bijgekomen.

Om de specificaties te kunnen behalen, dient het onderdeel na de diverse machinale bewerkingen te worden gereinigd. Deze Afbeelding 8: Schematische voorstelling RGA

reiniging, uitgevoerd door de leverancier of een hierin gespecialiseerde serviceprovider, wordt veelal klassiek uitgevoerd met ultrasone technieken met verschillende zepen, gevolgd door verschillende spoelstappen. Daarnaast wordt in beperkte mate gereinigd met hogedruk reiniging (grote onderdelen), damp ontvetting en plasma reiniging (kleine metalen of keramische onderdelen).

Na vervaardiging en reiniging, zijn stappen als conditioneren (drogen/bakken) en als laatste verpakken, van invloed op de uiteindelijke verontreiniging die nog aanwezig is bij levering aan ASML, hier wordt het onderdeel immers ingebouwd voor een compleet EUV lithografisch systeem.

Om de gewenste reinheid te garanderen van deze onderdelen zijn twee zaken nodig, een specificatie en een verificatie methode.

De specificatie wordt opgesteld door ASML op basis van materiaaleigenschappen (bottomup berekening) of basis van systeemeisen (top-down specificatie). Dit bouwwerk van ontgassing specificaties dient uiteindelijk de vervuiling van de optiek binnen de perken te houden, dit wordt binnen ASML “Optics Life Time” of OLT genoemd.

De verificatie techniek, om de ontgassing te meten, is ontwikkeld door ASML in samenwerking met een aantal leveranciers zoals Zeiss en D&M vacuüm systemen.

Maar hoe meet je nu ontgassing…

Om iets te kunnen meten, moet je iets kunnen detecteren. Afstand meet je bijvoorbeeld met een schuifmaat, je ogen lezen de schaal af en de afmeting is gedetecteerd. Voor ontgassing ligt het iets complexer.

Daar het om zeer kleine hoeveelheden, atomen en moleculen, in vacuüm condities gaat en dus niet direct waar te nemen zijn, zijn er indirecte meettechnieken ontwikkeld, waaronder ionisatie.

Ionisatie is het beschieten van atomen en moleculen met bijvoorbeeld snelle elektronen.

Hierbij veranderen een aantal atomen en moleculen in geladen deeltjes, ionen.

Het ion is elektrisch geladen waardoor je het ion

kunt manipuleren (elektromagnetische velden) en detecteren door ionen op te vangen en de lading van de ionen (ionenstroom) te meten.

Het gaat hierbij om zeer kleine waardes, tussen 10-15 en 10-6 ampère.

De totale ontgassing (Q) van een vacuümkamer, en een onderdeel in deze kamer, bepaalt de einddruk (Ptot) in de ketel, samen met de effectieve pompsnelheid (Seff) waarmee je de ontgassing weer verwijdert uit deze kamer. Hiervoor is een formule opgesteld waarbij de druk wordt uitgedrukt in mbar en de pompsnelheid in liters per seconde. Hiermee heeft de ontgassing dus de eenheid mbar.l/s.

Q=P*Seff Met een dergelijk totaal drukmeting meet je dus ionen en daarmee een afgeleide van de daadwerkelijke druk in de vacuümkamer.

Wil je weten wat de samenstelling is van de ontgassing, dan zul je dus onderscheid moeten kunnen maken tussen de diverse verschillende soorten ionen. De voor dit doel gebruikte rest gas analysator of RGA is een massa spectrometer.

OK, een massa spectrometer, klinkt moeilijk…

De naam zegt het eigenlijk al, een massa spectrometer maakt een spectrum op basis van massa. Ionen kun je op basis van massa van elkaar scheiden met een zogenaamd elektrostatisch massa filter, welke gebruik maakt van instelbare elektrische velden waarmee ionen van een bepaalde massa door het vacuüm in het filter kunnen bewegen, andere massa’s worden eruit gefilterd. De analysator van de massa spectrometer bevindt zich dan ook volledig in het vacuüm. Door de velden in het massa filter te variëren kan na het massa filter een ionenstroom als functie van ionen massa worden geregistreerd, dit levert een massa spectrum op. Hieronder een schematische voorstelling van een RGA en een voorbeeld van een spectrum onder hoog vacuüm bij 10-7 mbar. 

Afbeelding 9: Voorbeeld van een spectrum onder hoog vacuüm bij 10-7 mbar.

Contamination Control Magazine editie 01-2021

23

RESTGAS

A N A LY S E -vervolg-

Om hieraan te kunnen rekenen, worden alleen de hoogste waarde per massa weergegeven, een staafdiagram dus.

Op de X-as staat de atoom massa (amu) afgebeeld. Water (H2O) heeft bijvoorbeeld een molecuul massa van 18 amu (H=1 en O=16 amu). Het signaal gemeten op 18 amu is 7*10-10 A. In dit geval is de bijdrage van water op het totale signaal van 10-6 A, ongeveer 70%.

Met een totaaldruk van 10-7 mbar en een pompsnelheid van 100 l/s is de ontgassing dus 70% * 10-7 * 100 = 7*10-6 mbar.l/s.

Daar het zeer lastig is om specifieke specificaties op te stellen voor alle mogelijke verontreinigingen, heeft ASML drie groepen van verontreinigingen, waaronder water, gedefinieerd. De andere twee groepen zijn vluchtige (45-100 amu) en niet-vluchtige (101200 amu) koolwaterstoffen.

Daarnaast worden specifieke verontreinigingen, met een zeer grote impact op de levensduur van de optische componenten, voorkomen door ze op de lijst met verboden materialen te zetten. Een bekend voorbeeld hiervan zijn siliconen, voorkomend in sommige vetten en lijmen.

RGA-systeem: Meetbereik en detectiegrens Om vast te kunnen stellen of een onderdeel aan de gestelde criteria voldoet geldt altijd dat het meetbereik en detectiegrens (Lower Detection Limit, LDL) moeten passen bij het te meten onderdeel. Een simpel voorbeeld is bijvoorbeeld een kogellager met een vereiste nauwkeurigheid van beter dan 0.01 mm. Dit onderdeel kan niet goed gemeten worden met een schuifmaat maar wel met een micrometer wegens de LDL. Aan de andere kant kun je een 10 meter lang onderdeel niet meten met een schuifmaat maar wel met een rolmaat (meetbereik). Bij RGA-metingen is dit niet anders. Meetbereik en LDL zullen beide moeten worden meegenomen in het ontwerp van het RGA-systeem.

Omdat het lastig is om specificaties op te stellen voor alle mogelijke verontreinigingen, heeft ASML drie groepen van verontreinigingen gedefinieerd.

24

Voor het gewenste meetbereik geldt dat de bovengrens wordt opgelegd door de maximaal te verwachten ontgassing. De ondergrens, en daarmee ook de LDL, wordt bepaald door de ontgassing van een leeg RGA-systeem, ook wel achtergrond, “background” of BG genoemd. Hoe schoner een RGA-systeem is, hoe lager de LDL. Door het meten van onderdelen is de kans groot dat het RGAsysteem langzaam vervuilt, als een RGAsysteem langere tijd geen onderdelen meet zal het RGA-systeem schoner worden. Dit betekent dus dat de LDL per definitie over tijd verandert.

De maximale LDL is veelal gelijk aan de laatst gemeten BG. In bepaalde gevallen kan een lagere LDL berekend worden op basis van de BG-waardes. Hiervoor zijn met vrijgegeven leveranciers van RGA-systemen afspraken gemaakt.

De BG, en daarmee de LDL, van elk RGAsysteem dient minimaal eens per maand te worden vastgesteld. Voordat de BG-meting start, dient een RGA-systeem altijd dezelfde tijdsduur blootgesteld te worden aan de omgeving. De tijdsduur voor deze blootstelling is afhankelijk van de maximale tijd die nodig is om onderdelen te plaatsen in de vacuümkamer.

Voor elke RGA-meting, BG of onderdeel, dient het RGA-systeem altijd en even lang aan de omgeving te zijn blootgesteld.

Berekening van de ontgassing Uiteindelijk is het de software die de ruwe RGA-data vertaalt naar een gestandaardiseerd meetrapport. Om de kwaliteit van dit meetrapport te garanderen, zijn er bepaalde eisen en testen gedefinieerd voor de complexe RGA-analyse, zodat de ontgassingsspecificatie juist wordt gemeten en er geen onterechte goed- of afkeur plaatsvindt. ASML heeft richtlijnen opgesteld hoe de ontgassing voor een onderdeel moet worden uitgerekend.

De ontgassing van een onderdeel (Qpart) wordt uitgerekend door de gemeten totaal ontgassing (Qmeas) te verminderen met de ontgassing van het RGA-systeem zelf (QBG).

Qpart=Qmeas - QBG Niet elke QPart kan worden uitgerekend, als de uitgerekende QPart lager is dan LDL wordt “< LDL” gerapporteerd.

Daarnaast heeft de RGA-meting een relatief grote meetonzekerheid, veroorzaakt door de gevoeligheid voor veranderende meetomstandigheden, operator afhankelijkheden en de locatie van het onderdeel in de vacuümkamer.

Voor het bepalen van deze onzekerheid is een Meet Systeem Analyse (MSA) uitgevoerd.

Om niet onterecht onderdelen af te keuren, hanteert ASML daarom een afkeur-criterium van 200% van de ontgassingsspecificatie op het TPD-160 blad.

Hiermee is dus ook de LDL van de vacuümkamer vastgelegd, namelijk lager dan het afkeur-criterium. Dus bij een TPD-160 specificatie van 2*10-6 mbar.l/s hoort een afkeurgrens van 4*10-6 mbar.l/s. De LDL van de vacuümkamer zelf dient dus lager te zijn dan 4*10-6 mbar.l/s.

“

Het is niet toegestaan door ASML vereiste kwalificaties uit te voeren waarbij de LDL te hoog is.

In de loop van 2021 wordt een eerste referentiestandaard verwacht.

Om een voldoende lage LDL te kunnen garanderen, kan het belangrijk zijn om elk RGAsysteem regelmatig uit te stoken en de nieuwe BG en LDL vast te stellen. Mocht door cross contaminatie van onderdelen of de omgeving, de nieuwe BG en LDL te hoog te zijn, dient te worden overwogen om het uitstoken van de vacuümkamer vaker uit te voeren. Uiteindelijk is het dus de balans tussen tijd, geld en kwaliteit die de operationele performance van de RGA bepaalt.

RGA-kalibratie Naast de bepaling van de eigen bijdrage van de vacuümkamer, is ook de maandelijkse controle van de RGA-sensor zelf erg belangrijk. Tijdens deze controle wordt een kalibratiegas van bekende samenstelling, met de RGA gemeten. Piek positie en intensiteit worden gecontroleerd, Veel moderne RGAsystemen, bijvoorbeeld van D&M Vacuüm Systemen kunnen dit volledig automatisch uitvoeren en rapporteren. Mocht de RGA niet meer voldoen aan de eisen, dan dient de RGA opnieuw afgeregeld te worden. Hierbij is dit is een specialistische handeling die in de meeste gevallen door de leverancier van het RGAsysteem op afstand kan worden uitgevoerd via een internetverbinding. In het geval van oudere RGA-systemen gebeurt dit meestal handmatig en kan tijdsintensief zijn.

Naast de achtergrond meting en de RGAkalibratie, dient er jaarlijks groot onderhoud te worden uitgevoerd, denk aan vacuümpompen en sensoren zoals drukmeters en de RGA zelf.

Bovenstaande is het minimale wat aan onderhoud dient te worden uitgevoerd.

Daarnaast dienen RGA-systemen te allen tijde zorgvuldig behandeld te worden, vervangende sensoren en andere componenten zijn kostbaar. Ook zal veelvuldige blootstelling aan vervuilde onderdelen leiden tot meer reparatie en vervanging van bepaalde componenten.

Round Robin Op dit moment wordt door een internationaal consortium, waaronder ASML en Zeiss, een internationale standaard voor ontgassing ontwikkeld, vergelijkbaar met de kilogram en de meter. Naar verwachting zal in de loop van 2021 een eerste ontgassing referentiestandaard beschikbaar komen.

Dit is een object waarvan de ontgassing exact bekend is. Deze referentiestandaard gaat gebruikt worden voor zogenaamde “Repeatability” en “Reproducibility” studies.

In een dergelijke studie wordt bekeken hoe goed een RGA-systeem herhaaldelijk dezelfde ontgassing kan meten, de “Repeatability”.

Vervolgens wordt de gemeten waarde vergeleken met referentiewaarden en kan de “Reproducibility” worden bepaald.

Hieruit volgen RGA-systeem specifieke gevoeligheidsfactoren waarmee gemeten waardes worden gecorrigeerd. Zodra deze systeemfactoren bekend zijn, kunnen meetresultaten van de verschillende RGAsystemen met elkaar vergeleken worden, het maakt dan niet meer uit welk RGA-systeem wordt gebruikt om een onderdeel te meten, zolang de LDL maar laag genoeg is. Dit kan belangrijk zijn als tijdens een RGA-storing uitgeweken dient te worden naar een ander meetsysteem, zonder risico op een onterechte afkeur of goedkeur. 

Contamination Control Magazine editie 01-2021

25

“

CURSUSUITGELICHT CLEANROOM GEDRAG INTRODUCTIE Ook tijdens deze pandemie, waar klassikaal trainen niet mogelijk is, is het van groot belang dat bestaand en nieuw personeel zich bewust is van hun gedrag in de cleanroom.

26

“

Deze online cursus traint en toetst de bewustwording van het gedrag.

De huidige pandemie heeft ertoe geleid dat klassikaal trainen en toetsen voorlopig niet mogelijk is. Dit geldt ook voor de reguliere gecertificeerde opleidingen van VCCN. De werkzaamheden in cleanrooms gaan echter door.

Of je nu als operator, technicus of als schoonmaker de cleanroom betreedt; Deze gecertificeerde cursus traint en toetst de bewustwording. De VCCN Cleanroom Gedrag Cursus is hiervoor bedoeld. Deze gecertificeerde cursus traint en toetst de bewustwording en bij het afsluiten van de cursus ontvangt de cursist de gecertificeerde VCCN Cleanroompas.

Wij kunnen ons voorstellen dat training van nieuw en bestaand personeel hard nodig is. Daarom heeft VCCN een online cursus ontwikkeld die nieuwe medewerkers voor aanvang van de werkzaamheden kunnen volgen. Dit kan op elk moment en volledig online. De cursus duurt maximaal 45 minuten.

Na afloop ontvangt de deelnemer een tijdelijk Bewijs van Toegang als PDF document. Wij verwachten in de loop van het jaar de klassikale trainingen weer op te kunnen starten en dus ook de officiële Cleanroom Gedrag cursussen.

De kosten voor de Online Cleanroom Gedrag Introductiecursus worden in mindering gebracht op de cursusprijs van de klassikale Cleanroom Gedrag Cursus als de medewerker later in 2021 alsnog deze cursus volgt.

Er is zowel een Nederlands- als Engelstalige versie en inschrijven is mogelijk via de VCCN website.

Voor nadere informatie over deze of andere VCCN cursussen bel: 088 401 06 50.

Contamination Control Magazine editie 01-2021

27

“

even voorstellen

NIEUWE BEDRIJFSLEDEN B IN CONTROL B.V. Muggenhol 24 5509 LP VELDHOVEN G-CLEANING B.V. De Run 5123 5503 LV VELDHOVEN www.gcleaning.nl VAN LEIJEN SCHOONMAAK B.V. Edisonweg 7 b 1821 BN ALKMAAR www.vanleijen.com

ERIK VERMEULEN “Mijn naam is Erik Vermeulen, en ik ben sinds 1 april begonnen als directeur van FastMicro. Wij leveren surface particle metrology equipment, voor metingen vanaf 100nm direct op een oppervlak, en vanaf 500nm via een indirecte sampler.

Mijn passie is om impact te maken met technologie, en ik wil graag de wereld van particle contaminatie beter leren begrijpen en vooruit helpen. We hebben inmiddels tien apparaten geleverd in vijf landen, met positieve gebruikersfeedback op meetsnelheid, nauwkeurigheid, gebruiksgemak en correlatie met verbetering van yield en defectivity.”

ROMYNOX BV Henricuskade 119 a 2497 NB ’S-GRAVENHAGE www.romynox.nl PHARMALOT COMPOUNDING B.V. Burg. Lemmensstraat 352 6163 JT GELEEN www.pharmalot.nl STRUKTON WORKSPHERE Kantonnaleweg 1 3542 DB UTRECHT www.strukton.com POLYGANICS BV Rozenburglaan 15 A 9727 DL GRONINGEN www.polyganics.nl TJONGERSCHANS, ZIEKENHUIS Thialfweg 44 8441 PW Heerenveen www.tjongerschans.nl

Polyganics BV is in 1999 ontstaan als spin-off van de Rijksuniversiteit Groningen. Polyganics ontwikkelt en produceert unieke, innovatieve medische toepassingen, gebaseerd op zijn gepatenteerde polymeertechnologie. Alle producten zijn bio-compatibel en bio-resorbeerbaar, hetgeen ze uitermate geschikt maakt voor gebruik na chirurgische ingrepen.

Polyganics heeft een commercieel portfolio van producten voor toepassingen binnen de KNO chirurgie, perifeer zenuwschadeherstel en Neurochirurgie. Daarnaast werkt het aan producten die kunnen worden toegepast binnen de Algemene Chirurgie.

Ieder product wordt in toegewijde cleanrooms vervaardigd.

Hierbij is borging van kwaliteit belangrijk, vandaar dat we dit lidmaatschap bij VCCN zeer waarderen. www.polyganics.com

28

NIEUWE LEDEN

POLYGANICS BV

APRIL

MEI

19 MEI 26 MEI 27 MEI

10 17

CLEANROOM BEHAVIOUR COURSE GMP Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

14

CLEANROOM GEDRAG CURSUS Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

AGENDA CURSUSSEN

SEPTEMBER

17 NOV 24 NOV 25 NOV

24

DECEMBER

Energie-efficiëntie Meetmethoden voor het verbeteren van energieverbruik

WE SHARE THE KNOWLEDGE

CLEANROOM TESTEN EN CERTIFICEREN Belangstellenden 1 dag: 19 mei Associate 2 dagen: 19, en 26 mei Professional 3 dagen: 19, 26 en 27 mei (VOL)

CLEANROOM GEDRAG CURSUS GMP Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

JUNI

GOEDE VENTILATIE VEREIST De huidige richtlijnen schieten tekort

CLEANROOM CONTAMINATION CONTROL Doelstelling: je doet kennis op over meettechnieken, cleanrooms, stof op oppervlakken en reiniging om contaminatie efficient tegen te gaan.

03 JUNI

C

2

MGZN

REST GAS ANALYSOR Wat is het en hoe pas je het toe?

CLEANROOM REINIGING CURSUS Doelstelling: na het volgen van de 1-daagse cursus ben je in staat een reinigingsprogramma op maat te maken en metingen uit te voeren.

JUNI

CONTAMINATION CONTROL MAGAZINE | UITGAVE VAN VCCN | JAARGANG 34 | EDITIE 1-2021

29 18

OPFRIS CLEANROOM GEDRAG CURSUS GMP Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

Vereniging Contamination Control Nederland

Jaargang 34 editie 1-2021 is een uitgave van VCCN Vereniging Contamination Control Nederland REDACTIE Philip van Beek, Arthur Lettinga, Veerle van Gent en Paul van Rij REDACTIE COÖRDINATIE Verenigingsbureau VCCN Korenmolenlaan 4 3447 GG Woerden T 088-401 06 50 v.vangent@vccn.nl ADVERTENTIEVERKOOP Bel voor de tarieven naar 088-401 06 50 of bezoek www.vccn.nl LIDMAATSCHAP Persoonlijk lidmaatschap € 50.- per jaar (incl. btw) Bedrijfslidmaatschap € 225.- per jaar (excl. btw) FOTOVERANTWOORDING Archief VCCN

CLEANROOM TESTEN EN CERTIFICEREN Belangstellenden 1 dag: 17 november Associate 2 dagen: 17 en 24 november Professional 3 dagen: 17, 24 en 25 november

VORMGEVING Bareminded www.bareminded.nl VERANTWOORDING De realisatie van C2MGZN is zorgvuldig voorbereid, gepland en uitgevoerd. Desondanks kan VCCN geen verantwoordelijkheid aanvaarden voor eventuele onjuistheden.

CLEANROOM GEDRAG CURSUS GMP Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

(data onder voorbehoud) Bezoek voor meer informatie www.vccn.nl

COLOFON

20 APR 21 APR

CLEANROOM TECHNIEK CURSUS (CTC) Doelstelling: kennis over alle facetten die een rol spelen bij de realisatie van een cleanroom. Van programma van eisen tot ingebruikname.

COPYRIGHTS Behoudens uitzondering door de Wet gesteld, mag zonder schriftelijke toestemming van de rechthebbende(n) op het auteursrecht niets uit deze uitgave verveelvoudigd en/of openbaar worden gemaakt door middel van druk, microfilm, of in enige digitale, elektronische of optische of andere vorm, hetgeen ook van toepassing is op de gehele of gedeeltelijke bewerking.

29

SCHRIJF JE S

NEL IN EN

WORD LID

Een persoonlijk- of bedrijfslidmaatschap van VCCN is een absolute ‘must’ voor wie zich beroepsmatig bezighoudt met contamination control. Het lidmaatschap vormt een belangrijke toegevoegde waarde binnen jouw vakgebied.

DE VOORDELEN VAN HET VCCN

LIDMAATSCHAP • • • • • • • • •

Beschik over een platform van kennis en ervaring Ontvang 4x per jaar C2MGZN (het magazine van VCCN) Ontvang informatie over VCCN activiteiten Neem deel aan symposia en excursies tegen gereduceerd tarief Breid je netwerk uit Maak deel uit van een landelijke organisatie met internationale contacten Neem deel aan de beleidsvorming van de vereniging Participeer in innovaties binnen het vakgebied Ontvang 4x per paar CACR digitaal (Clean Air and Containment Review)

Meer informatie en inschrijven op: https://www.vccn.nl/word-lid

WE SHARE THE KNOWLEDGE Vereniging Contamination Control Nederland

30

Houdt contaminatie buiten uw cleanroom Wij introduceren u de Flexi Mat en de MicronQuick doek Flexi Mat Geschikt voor en bij omkleedsluizen, materiaalsluizen, overstapbanken, entrees, en andere plaatsen waar een peel-off mat ligt Trekt deeltjes en bacteriën aan en houdt deze vast (stopt 99,9% van de contaminatie) MicronQuick Geschikt voor ISO 7 - 9 (GMP C – D – CNC) Superieure reinigings- en desinfectieprestaties – draft Annex 1 Vraag vandaag nog een gratis sample aan.

Beide producten worden aangeboden in onze welbekende huurconstructie. cleanroom.nl@elis.com | www.elis.com

Your contamination control partner

Flow Bench De nieuwe standaard in Crossflow techniek: Maximale productbescherming Maatwerkoplossing Vervaardigd uit hoogwaardig RVS Standaard uitvoerbaar met H13, H14 of lU15 filter

Volledig in RVS Hoogst mogelijke efficiency Volledig digitale besturing Optioneel kan het hoogwaardige PURIMA ultrasone reinigingssysteem geïntegreerd worden in het RVS-werkblad

Laminair Downflow Techniek

LAMINAIR DOWNFLOW TECHNIEK BIEDT OPTIMALE PERSOONSBESCHERMING Geen belemmeringen, maximale bewegingsvrijheid Perfecte monitoring van de procesparameters Volledig gedocumenteerd: QP, QMP, DQ, FAT, SAT, IQ & OQ

DENIOS: 360° VEILIGHEID NEUTRAL C

O

N PA

Y

AC

E AT

M

LI M

Werken met gevaarlijke stoffen vergt bijzondere voorzieningen in verband met de veiligheid. Bovendien is communicatie en alertheid continu van groot belang voor alle betrokkenen om het veiligheidsniveau te waarborgen.

2021

Al 30 jaar ontwikkelt en produceert DENIOS bedrijfsmiddelen waarmee u verantwoord veilig kunt werken met gevaarlijke stoffen.

Ook begeleiden wij u bij het maken van de juiste keuzen. Profiteer van onze ervaring en expertise en bel voor een vrijblijvende afspraak.

Ga voor meer informatie naar: www.denios.com of bel ons: 0172 - 50 64 66 03 312 00 87