Page 42

42

Nieuwe praktische richtlijnen voor Grade 2 reiniging in de maak

Schone producten vergen absolute procesbeheersing

Cees van Duijn: schoon bestaat niet. Het gaat om welke functie beïnvloed wordt door de vervuiling.

ASML en FEI zijn de hightech bedrijven die in de Nederlandse maakindustrie momenteel de toon zetten als het om technische reinheid van onderdelen gaat. Om deze eisen te halen, is een absolute procesbeheersing noodzakelijk. Terecht stond het thema Grade 2 reinigen op het programma van Verspanen 2019. Het is namelijk een thema dat bij veel toeleveranciers speelt, merkt Cees van Duijn, afkomstig van respectievelijk Philips, FEI en ASML. Vanuit zijn ervaring bij het Philips NatLab maakt hij al meteen de eerste kritische kanttekening dat schone oppervlakken niet bestaan. “Je moet specificaties hebben. Welke functie van je eindproduct wordt beïnvloed door de vervuiling.” Want alleen dan weet je naar welke vervuiling je moet kijken. Daarom stellen ASML en FEI op dit moment zulke hoge reinheidseisen. “Beide werken met energetische bundels in hun machines. Als energie een molecuul op het oppervlak raakt, wordt dit gekraakt en blijft koolstof achter”, zo schetst hij de achtergrond van de problematiek. Daarom leggen beide OEM’ers de lat hoog wat betreft het aantal deeltjes dat na ontgassing nog mag achter blijven. ASML heeft met de Grade 2 richtlijn min of meer in Nederland een standaard gesteld. Grade 1 geldt eigenlijk alleen voor het masker in de EUV-machine: hier mag geen enkel deeltje op achterblijven. “Maar de Grade 2 richtlijn gaat weg”, kondigde Van Duijn op Verspanen 2019 aan. Een landelijke werkgroep werkt aan nieuwe regels en specificaties. “Die iedereen begrijpt en waar iedereen mee kan werken.”

Procescontrole Om aan de hoge reinheidseisen te kunnen voldoen, moet je volgens Cees van Duijn het verspaningsproces absoluut beheersen. Van begin tot einde. Hij is onder andere betrokken geweest bij het onderzoeksproject van het Projectteam Verspanen 4.0 van het Mikrocentrum. Daarin is de invloed van koelsmeeremulsie op de reinigbaarheid van de componenten onderzocht. Belangrijk is volgens Cees van Duijn dat je na elke stap in het reinigingsproces meet hoe schoon het werkstuk is. “Daarmee kun je het hele proces onder controle krijgen.” De praktische oplossing is in zijn ogen de moderne dampreiniging: een bad met oplosmiddel verdampt, condenseert op het product en door te spoelen haal je verontreinigingen weg. Een van de voordelen die hij in deze techniek ziet, is dat het reinigingsmiddel meer vervuiling aankan. Wassen met een reinigingsmiddel op zeepbasis kan soms lastig, ingewikkeld en tijdrovend zijn. “Belangrijk daarbij is hoe spoel je daarna. Zeep houdt de vuile deeltjes vast.” Maar soms is een onderdeel zelfs na het reinigen niet schoon. Waarom? “Omdat je tijdens het proces vervuiling op het werkstuk brengt”, zegt de reinigingsspecialist. Snijolie tijdens een draaibewerking kan vervuild zijn. Deze vervuiling komt in het oppervlak terecht. “Alles wat je er niet opbrengt, hoef je er naderhand niet vanaf te halen.” Daarom zijn opmerking dat reinheid procesbeheersing vraagt.

april 2019

Profile for 54U Media BV

Solutions magazine 1 2019  

Solutions magazine 1 2019  

Profile for 54umedia