C2MGZN september 2021

Page 1

CONTAMINATION CONTROL MAGAZINE | UITGAVE VAN VCCN | JAARGANG 34 | EDITIE 3-2021

C

2

MGZN

DOORBRAAK: Het online kunnen monitoren van deeltjesdepositie TOEKOMSTVISIE Interview met Chris Perry en Eric Stuiver HIGH TECHNOLOGY? Is cleanroom technologie een noodzakelijk kwaad of high technology?

WE SHARE THE KNOWLEDGE Vereniging Contamination Control Nederland


® SCIENTIFIC CREDIBILITY

Quality has its color

is a brand of STAXS®

Discover the DOTCH® cleanroom disposables

www.staxs.eu


Performing Perfection CWS is de eerste Full-Service Cleanroom provider. Bij CWS Cleanrooms zijn onze klanten onze partners. Gezamenlijk streven we naar een optimale invulling van alle services op het vlak van contaminatiecontrole; kleding, cleaning en training. Voor een maximale ondersteuning en werking van uw productieproces. Ontdek de toegevoegde waarde van onze Passion for solutions.

CWS.COM/CLEANROOMS

Nu contact opnemen! Contact Nederland: +31 402621692 cleanrooms.nl@cws.com Contact België: +32 33554903 cleanrooms.be@cws.com


V O O R W O O R D

Beste lezer, Het is herfst en de zomervakantie lijkt alweer ver achter ons. We hebben afscheid moeten nemen van de lange lichte dagen. Waar we vorige editie van C2MGZN ook afscheid van hebben genomen zijn Stoffy & Beesy na jaren trouwe dienst. Daarom introduceren we een nieuwe column: Een dag in het leven van… Met deze column bieden we een kijkje in de keuken bij onze leden en lichten we iedere keer een ander deel van het vakgebied uit. Het eerste artikel is van Koos Agricola over een doorbraak in effectief cleanroom gebruik: het online monitoren van deeltjesdepositie. Tegenwoordig wordt de deeltjesdepositiesnelheid slechts in enkele cleanrooms gemonitord. Belangrijkste reden hiervoor is de beschikbaarheid van eenvoudig toe te passen monitoring instrumenten. Gaat de ontwikkeling van online real-time deeltjesdepositiemonitoren en oppervlaktereinheid monitoren hier verandering in brengen? Lees het in dit artikel op pagina 6. In het tweede artikel spreekt Jos Bijman Eric Stuiver en Chris Perry over de ontwikkeling en de toekomst van contamination control. Welke trends op het gebied van miniaturisatie en innovatieve productietechnologieën zien zij en wat betekent dit voor contamination control en de rol van ontwerpers van een toekomstige cleanroom? En zijn toekomstige technologieën onmogelijk zonder contamination control? Lees de toekomstvisie van Eric Stuiver en Chris Perry op pagina 10.

DOORBRAAK IN EFFECTIEF CLEANROOM GEBRUIK Dit jaar wordt de ingebruikname van een nieuwe ontwikkeling verwacht: het online monitoren van deeltjesdepositie. Hierbij communiceert de sensor via o.a. Wifi met Cloud software. Meerdere personen binnen een bedrijf kunnen onafhankelijk van elkaar via pc, laptop of tablet toegang tot de data verkrijgen. Iedere gebruiker kan daarbij zijn eigen weergave of dashboard selecteren.

Koos Agricola

06

In het laatste artikel van deze editie wordt de vraag gesteld of cleanroom technologie meer is dan een hulpwetenschap. Aan de hand van drie verkeerde ‘gouden regels’ neemt auteur Joachim Ludwig je mee in de visie op cleanroom technologie om onbegrip te voorkomen. Veel plezier bij het lezen van dit nummer. Zien we je tijdens het VCCN Symposium Product Cleanliness 2021 op 13 oktober of het VCCN Contamination Control Congres 2021 op 3 oktober? Tot dan! Redactie C2MGZN

ERIC STUIVER EN CHRIS PERRY GEVEN HUN VISIE OP DE TOEKOMST VAN CONTAMINATION CONTROL Het zijn vooral de economisch gedreven ontwikkelingen die contamination control in welke vorm dan ook nodig hebben. Daarbinnen zorgt de miniaturisatie voor nieuwe producten en toepassingen en dit op zijn beurt weer voor nieuwe en strengere criteria voor wat betreft contaminatie.

Jos Bijman

4

10


INHOUD

24

VOORWOORD Nieuwe rubriek: ‘Een dag in het leven van...’ EFFECTIEF CLEANROOMGEBRUIK Het online monitoren van deeltjesdepositie betekent een enorme doorbraak TOEKOMSTVISIE Eric Stuiver en Chris Perry geven hun visie op contamination control in de toekomst EEN DAG UIT HET LEVEN VAN... Menno Engwerda, accountmanager CleanAir by Baker HIGH TECHNOLOGY? Is cleanroom technologie high technology of ‘slechts’ een hulpwetenschap? SYMPOSIUM PRODUCT CLEANLINESS Richtlijn 12 is klaar! Alle ins en outs tijdens het symposium op 14 oktober CURSUS UITGELICHT Cleanroom Techniek. Leer een compleet ‘Programma van Eisen’ op te stellen. VOORSTELLEN NIEUWE LEDEN Welkom bij VCCN!

25

AGENDA Data cursussen

25

COLOFON Redactieleden en contactgegevens

04 06 10 15 HULPWETENSCHAP OF HIGH TECHNOLOGY? Veel potentiële gebruikers van cleanroom technologie reageren met een glimlach wanneer dit wordt gelinkt aan de term ‘high technology.’ Maar velen van hen hebben zich nooit intensief bezig gehouden met de vragen en antwoorden van cleanroom technologie. Het wordt beschouwd als een onvermijdelijke hulpwetenschap. Het resultaat van deze aanpak is een gebrek aan inzicht in de individuele problemen, die een ernstige impact kunnen hebben op de kwaliteit van de vervaardigde producten.

Joachim Ludwig

16

16 21 22

CONGRES

VCCN SYMPOSIUM PRODUCT CLEANLINESS In toenemende mate wordt aan leveranciers gevraagd producten schoon aan OEM bedrijven (Original Equipment Manufacturer) te leveren. Omdat er behoefte is aan een definitie hoe schoon het product moet zijn, heeft VCCN in 2017 de projectgroep Nano, Micro, Product Reinheid opgericht. In deze werkgroep zitten OEM bedrijven, toeleveranciers en kennisbedrijven. Deze projectgroep heeft zich bezig gehouden met Richtlijn 12. Op 14 oktober 2021 vindt in Eindhoven de toelichting en presentatie van VCCN Richtlijn 12 plaats. Tijdens dit Engelstalige symposium presenteren experts de voortgang van VCCN Richtlijn 12 en geven zij een inhoudelijke bijdrage.

26 Congres Contamination Control op woensdag 3 november in Bussum

21

Contamination Control Magazine editie 03-2021

5


ONLINEMONITOREN Na acht jaar deeltjesdepositiemeetapparatuur, wordt in 2021 een nieuwe ontwikkeling gelanceerd: het online monitoren. Hierbij communiceert de sensor via onder andere Wifi met Cloud software.

Koos Agricola

6


Doorbraak in effectief cleanroom gebruik dankzij nieuwe techniek van online monitoren deeltjes depositie.

Cleanrooms en aanverwante beheerste schone omgevingen worden gebruikt om contaminatie door deeltjes, micro-organismen en soms chemische stoffen te voorkomen. In de meeste gevallen zijn menselijke activiteiten de belangrijkste bron van contaminatie. In het geval dat de gevoeligheid voor contaminatie te hoog is, zoals bij halfgeleiders, worden producten volledig gescheiden van menselijke interactie. In de meeste cleanrooms is echter personeel nodig. Mensen kunnen gecompliceerde handelingen uitvoeren, waardevolle observaties doen en beslissingen nemen. Het contaminatierisico wordt beheerst door een cleanroominstallatie, die bestaat uit een speciale ruimte die is afgescheiden van de omgeving. In deze ruimte wordt de contaminatie in de lucht verdund en verwijderd door ventilatie met absoluut gefilterde lucht. Daarnaast worden operationele procedures geïmplementeerd om de emissie van contaminatie te beperken en oppervlaktecontaminatie te verwijderen. Door de reinheid van verschillende oppervlakken op kritische locaties te bewaken, kan de verandering van de oppervlaktereinheid door depositie en door reiniging worden bepaald. De deeltjesdepositiesnelheid bepaalt de waarschijnlijkheid van contaminatie tijdens blootstelling en de reinheid van oppervlakken bepaalt de waarschijnlijkheid van directe en indirecte deeltjescontaminatie van kritische product- of procesoppervlakken. Ongewenste contaminatie van een kwetsbaar product en procesoppervlak vermindert de opbrengst van productieprocessen. Tegenwoordig wordt het monitoren van deeltjesdepositiesnelheid en oppervlaktereinheid slechts in enkele cleanrooms toegepast. De belangrijkste reden is de beschikbaarheid van eenvoudig toe te passen monitoring instrumenten. Onlangs zijn nieuwe instrumenten ontwikkeld, zoals online real-time deeltjesdepositiemonitoren en oppervlaktereinheid monitoren. Baanbrekende bedrijven hebben het nut en de winstgevendheid van de inzet van dergelijke monitoren aangetoond, met name in toepassingen waar de productopbrengst en de proceskwaliteit worden geschaad door deeltjes groter dan 5 micrometer en deeltjes, die micro-organismen dragen. Voorbeelden zijn cleanrooms voor hoogwaardige optiek, ruimtevaart instrumenten, diverse automobiel onderdelen, elektronische apparaten, inkjet printkoppen, grote en kleine batterijen, medische apparaten, hoogwaardige beeldschermen enz. Contamination control Cleanrooms en aanverwante beheerste schone omgevingen worden geclassificeerd op luchtreinheid met betrekking tot deeltjesconcentratie van submicron deeltjes

tot deeltjes groter of gelijk aan (≥) 5 micrometer (µm) per kubieke meter. Cleanrooms worden toegepast om ongewenste oppervlaktecontaminatie van deeltjes en/ of micro-organisme dragende deeltjes te voorkomen. De depositiesnelheid van deeltjes kleiner dan (<) 10 µm is voor de meeste deeltjes minder dan 4 mm per seconde of ¼ m per minuut. Metaaldeeltjes slaan 4 keer sneller neer. Dus in een cleanroom van pakweg 3 m hoog is de gemiddelde depositietijd 6 minuten en voor metaaldeeltjes 3 minuten. Laten we aannemen dat de gemiddelde verblijftijd van een luchtpakket maximaal 120·V/Q is. In deze relatie is V in het cleanroom volume in m3 en Q is de luchttoevoer in m3 per uur. In een cleanroom met verdunningsluchttoevoer zal de verblijftijd ergens tussen de 1 tot 6 minuten liggen, afhankelijk van het aantal luchtwisselingen per uur (Q/V ≥ 20/uur). Dit betekent dat op enkele metaaldeeltjes na bijna alle deeltjes < 10 µm met de ventilatielucht verwijderd worden, tenzij extra mechanismen zoals turbulente impactie en/of elektrostatische aantrekking plaatselijk extra deeltjesdepositie veroorzaken. Deeltjes die niet door de luchtstroom worden verwijderd, slaan neer op alle oppervlakken in de cleanroom. Voor het voorkomen van deeltjesdepositie zijn er twee benaderingen. Ten eerste het verhogen van het aantal luchtwisselingen, hetgeen hogere installatiekosten vereist en energieverslindend is. Deze aanpak werkt tot ongeveer deeltjes < 40 µm (sedimentatiesnelheid < 4 m/min). De effectiviteit kan worden beoordeeld door de luchtreinheid te meten voor deeltjes ≥ 5 µm per m3. Ten tweede het verbeteren van het cleanroomgebruik via procedures voor het beperken van de introductie en de emissie van deeltjes > 5 µm en het frequent en effectief verwijderen van oppervlaktedeeltjes. De effectiviteit van de geïmplementeerde contaminatiebeheersmaatregelen kan worden gecontroleerd door het meten van deeltjesdepositiesnelheden en reinheid van cleanroomoppervlakken zoals vloeren, werkbladen, apparatuur en gereedschappen op kritieke locaties. Het deeltjesdepositiesnelheidsniveau bepaalt op een kritieke locatie de waarschijnlijkheid van directe product- of procescontaminatie door macrodeeltjes. Bovendien bepaalt het de snelheid 

Contamination Control Magazine editie 03-2021

7


ONLINE MONITOREN -vervolg-

waarmee de oppervlaktereinheid cleanroom oppervlakken verslechtert.

van

Als kwetsbare oppervlakken relatief groot zijn (zeg ≥ 10 cm2) en één of meer macrodeeltjes schade kunnen toebrengen aan het product of proces, dienen macrodeeltjes ≥ 10 µm beheerst te worden. De effectiviteit van de verwijdering van deeltjes met behulp van lucht neemt snel af met toenemende deeltjesgrootte. Bronnen van macrodeeltjes zijn personeel, binnenkomende goederen en onvoldoende schone oppervlakken. Daarom moeten verschillende operationele maatregelen worden genomen om deeltjescontaminatie te voorkomen. Als we kijken naar microbiologische contaminatie moet men weten dat de meeste microorganismen gedragen worden door deeltjes > 10 µm. Monitoring van de beheersing van macrodeeltjes kan alleen worden gedaan door oppervlakken te onderzoeken, aangezien luchtmonsters te klein zijn voor het verkrijgen van representatieve informatie en deeltjes > 10 µm in het bemonsteringssysteem kunnen blijven plakken. De reinheid van oppervlakken kan direct of indirect worden gemeten. Een betere manier is het meten van de deeltjesdepositiesnelheid. Hiermee kan de verandering van oppervlaktereinheid door deeltjesdepositie en de waarschijnlijkheid van product- of procescontaminatie door deeltjes of microben dragende deeltjes voorspeld worden. Beheersing van macrodeeltjes kan het rendement van veel productieprocessen verbeteren door de kwaliteit van het cleanroom gebruik en de effectiviteit van de geïmplementeerde operationele procedures aan te tonen.

Meerdere personen binnen een bedrijf kunnen onafhankelijk van elkaar via pc, laptop of tablet toegang tot de data verkrijgen. Iedere gebruiker kan zijn eigen weergave of dashboard selecteren.

8

Monitoren van de deeltjesdepositiesnelheid De methode voor het meten van de depositiesnelheid van deeltjes is beschreven in ISO 14644-3:2019. In de beschreven methode wordt een opvangplaat gebruikt en wordt de verandering van deeltjesaantallen, deeltjesbedekkingsoppervlak of deeltjesgewicht tijdens de (operationele) blootstellingstijd bepaald. De toepassing van deeltjesdepositiesnelheid is beschreven in ISO 14644-17:2021. Een risicoanalyse van het kwetsbare product kan de deeltjesdepositiegrens RD voor deeltjes ≥ D µm per m2/uur bepalen. Dit kan worden uitgedrukt als een deeltjesdepositiesnelheid

ten opzichte van deeltjes ≥ 10 µm per m2/uur. Verder wordt het concept van de bedekking van het deeltjesoppervlak en de snelheid van optische verduistering door deeltjes beschreven. De deeltjesdepositiesnelheid of deeltjesbedekkingssnelheid zal de verwachte oppervlaktecontaminatie voorspellen wanneer deze tijdens bedrijf wordt blootgesteld. In 2013 kwam de geavanceerde real-time deeltjesdepositiemonitor op basis van de TNO APMON technologie, op de markt. Het belang van dit meetinstrument werd door de Cleanzone met hun cleanroom prijs onderstreept. Het instrument meet de verandering van oppervlaktereinheid van zes testplaten in de sensor met behulp van een holografische beeldvormingstechniek. Sinds de introductie zijn er andere deeltjesdepositie monitoren geïntroduceerd. Deze meten allemaal de neerslag van deeltjes over een bepaalde blootstellingstijd. Van de getelde deeltjes wordt de differentiële deeltjesgrootte verdeling bepaald. Deze worden omgerekend naar de cumulatieve deeltjesgrootteverdeling van het aantal deeltjes ≥ D µm per m2 per uur. De raaklijn in de cumulatieve log-log grafiek bepaalt het deeltjesdepositiesnelheidsniveau L = RD·D/10 voor deeltjes ≥ D µm per m2 per uur. In ISO 14644-17 is een tabel met verschillende L-waarden en de bijbehorende deeltjesdepositiesnelheid van kritische deeltjesgroottes weergegeven. In de cumulatieve grafiek van de deeltjesgrootteverdeling kunnen drie deeltjesgrootte bereiken onderscheiden worden: 10 – 40 µm, 40 tot 100 µm en > 100 µm onderscheiden worden. De deeltjesdepositiesnelheid in deze gebieden kunnen worden beïnvloed door respectievelijk de ventilatie, personeel (aantal, kleding en discipline) en schoonmaakprogramma. Na acht jaar deeltjesdepositie meet apparatuur, wordt in 2021 op basis van de APMON technologie een nieuwe ontwikkeling gelanceerd, het online monitoren. Hierbij communiceert de sensor via onder andere Wifi met Cloud software. Meerdere personen binnen een bedrijf kunnen onafhankelijk van elkaar via pc, laptop of tablet toegang tot de data verkrijgen. Iedere gebruiker kan zijn eigen weergave of dashboard selecteren. Zo’n platform kan meerdere sensoren tegelijk bedienen en weergeven. Op deze manier is deeltjesdepositie data toegankelijk voor operators, supervisors, productiemanagers, kwaliteitsmanagers, ingenieurs en ontwikkelaars en elke gebruiker kan zijn eigen instellingen maken.


Binnenkort inzetbaar: een nieuw instrument dat de met een sensor verkregen data online kan verwerken.

Bovendien is het mogelijk diverse specifieke rapporten, eventueel met aanbevelingen te genereren. Deeltjesdepositie monitoren worden gebruikt door toonaangevende organisaties en bedrijven in de astronomie, ruimtevaart, hoogenergetische lasers, elektronica, optica, medische apparatuur, inkjet printkoppen, displays, batterijen, auto- en procesapparatuur. Monitoren van de oppervlakte reinheid Het nadeel van real-time deeltjesdepositiemonitors is dat deze alleen data geven op kritieke locaties. Door tevens of als alternatief op diverse plaatsen in de cleanroom belangrijke oppervlakken op bepaalde tijdstippen na reiniging te meten kan men een beeld krijgen van de reinheid van de cleanroom met betrekking to deeltjes ≥ 10 µm. Belangrijke oppervlakken in een cleanroom zijn: •

de vloer omdat hier de deeltjesdepositie het hoogst is en doordat er tijdens het lopen deeltjes in kunnen worden getrapt; werkbanken aangezien hier meer permanente activiteiten zullen plaatsvinden die zowel deeltjesdepositie als re-entry kunnen veroorzaken; apparatuur en gereedschappen aangezien deze zich meestal dicht bij de kwetsbare oppervlakken bevinden.

Onreine oppervlakken kunnen bijdragen aan de depositie van deeltjes op kritieke en kwetsbare oppervlakken en contactoverdracht. Daarom moeten oppervlakken regelmatig worden gereinigd. Kwalitatief kunnen cleanroom oppervlakken worden geïnspecteerd met blacklight (UV-licht) of strijklicht. Nadeel is dat de kamerverlichting moet worden uitgeschakeld en dat de verkregen informatie niet kwantitatief is. In de afgelopen jaren zijn een aantal oppervlaktereinheidsmonitoren op de markt verschenen. Het nadeel is dat men altijd een computer in de buurt van de meetsensor moet hebben. Dit maakt het lastig om snel veel meetsamples te verzamelen of te laten verzamelen. Voor oppervlaktereinheid monitoring in de cleanroom is er behoefte aan een sensor die eenvoudig en snel oppervlakteopnames kan maken. Dit moet door een operator of schoonmaker uitgevoerd kunnen worden. De opnames kunnen dan door een cleanroombeheerder, productiemanager, kwaliteitsmanager of engineer beoordeeld worden. Binnenkort is een nieuw meetinstrument

beschikbaar waarmee de oppervlaktereinheid kan worden gemeten van deeltjes die zichtbaar gemaakt kunnen worden door blacklight. Met een sensor kunnen in korte tijd diverse oppervlakken bemonsterd worden en vervolgens kan de verkregen data verwerkt worden. Een oppervlaktereinheidsmonitor kan worden gebruikt om de impact van het cleanroomgebruik op de toename van oppervlaktecontaminatie door deeltjesafzetting, de reinigingsefficiëntie en de resulterende oppervlaktereinheid van de verschillende belangrijke oppervlakken in een cleanroom te meten. De verzamelde oppervlakte reinheidsgegevens kunnen gebruikt worden om de gemiddelde oppervlaktereinheid van grotere oppervlakken, de oppervlaktereinheidstrends, de efficiëntie van het reinigingsprogramma en de deeltjesdepositiesnelheid te bepalen. Gegevens en resultaten kunnen worden geëxporteerd. Verdere meetrapporten van geselecteerde onderwerpen en gegevens kunnen worden gemaakt. Conclusie In veel toepassingen in cleanrooms waar personeel nodig is, is het grootste risico contaminatie door deeltjes ≥ 10 µm, inclusief deeltjes, die micro-organismen dragen. Deze kunnen niet goed gemeten worden met lichtverstrooiingsdeeltjestellers. Die zijn slechts geschikt voor het meten van luchtreinheid met betrekking tot deeltjes < 10 µm. Oppervlakken spelen een belangrijke rol bij de beheersing van contaminatie. Deeltjesdepositie veroorzaakt contaminatie van alle oppervlakken en onreine oppervlakken veroorzaken contaminatie door contactoverdracht, opwerveling en depositie van deeltjes. Het monitoren van deeltjesdepositie en/of oppervlaktereinheid maakt de effectiviteit van operatieprocedures zichtbaar. Het bewijst of de manier waarop de cleanroom wordt gebruikt, voldoende effectief is voor het voorkomen van ongewenste contaminatie van kritische product- en procesoppervlakken. Voor het behalen van goed productie- en procesrendement zijn goede operationele procedures vereist. Nieuwe real-time monitoringinstrumenten voor deeltjesdepositie en oppervlaktereinheid zijn cruciaal voor het vervaardigen van kwetsbare producten met een relatief groot en/of lang blootliggend oppervlak dat kwetsbaar is voor deeltjes > 10 µm. Hun implementatie is een doorbraak in het effectief gebruik van cleanrooms en beheerste schone omgevingen. 

9


TOEKOMST VISIE Wat brengt de toekomst van Contamination Control en hoe ben je daarop voorbereid? Eric Stuiver en Chris Perry gaan hierover met elkaar in gesprek.

Jos Bijman

10


Naar aanleiding van een lezing die Eric Stuiver en Chris Perry op het VCCN Nationaal Cleanroom Symposium van 9 juni 2021 gaven, gaan zij een gesprek aan over de ontwikkeling en toekomst van contamination control. Er wordt gediscussieerd over de trends op gebied van miniaturisatie en innovatieve productietechnologieën en wat dit betekent voor contamination control en de rol van ontwerpers van een toekomstige cleanroom.

Miniaturisatie zorgt voor nieuwe

toepassingen, en dat op zijn beurt weer voor strengere

controle op

contaminatie.

Inleiding In het voormalig ketelhuis van de TU Delft ontmoeten Eric Stuiver en Chris Perry elkaar voor een gesprek over contamination control in de toekomst. Twee personen met samen meer dan 50 jaar ervaring in de ontwikkeling en realisatie van cleanrooms voor diverse sectoren, zowel nationaal als internationaal. Belangrijk topic in het gesprek is het toenemend belang en de diversificatie van contamination control. Bij Stuiver brengt de locatie herinneringen boven: “Het doet mij terugdenken aan 2002 toen de eerste gesprekken over de tramverbinding voor de TU campus werden gevoerd. Het nanoonderzoek van de TU Delft ging verhuizen en hiervoor was een nieuwe cleanroom faciliteit nodig. Voor het onderzoek in de cleanrooms werden problemen voorzien door de dichtbij aan te leggen trambaan. Aan de cleanrooms werden naast de stofklassen namelijk ook strenge eisen gesteld aan zowel trillingen en elektromagnetische straling. Het heeft de onderzoekers en ontwerpers heel wat denkvermogen gekost om de juiste oplossingen uit te werken.” Perry: “Een mooi voorbeeld inderdaad, zowel wat betreft het integrale cleanroom ontwerp als het belang van contamination control voor en binnen de samenleving. Traditioneel wordt ontworpen van ‘binnen naar buiten’ maar nieuwe technologieën vragen tevens een proces van ‘buiten naar binnen’. Juist omdat deze kennisintensieve sector mensen nodig heeft, vraagt dit om extra aandacht voor een aantrekkelijke locatie die bij voorkeur binnen de gebouwde omgeving dient te zijn.” Contamination continuum Perry ziet het belang van contamination control voor toekomstige technologieën: “Er worden grote investeringen gedaan in de halfgeleiderindustrie en binnen R&D op life science gebied. Ook voor Nederland is dit bijzonder relevant.” Met grote technologische ontwikkelingen tot gevolg. Het zijn vooral de economisch gedreven ontwikkelingen die contamination control in welke vorm dan ook nodig hebben. Perry: “Denk aan halfgeleiderindustrie, gezondheidszorg, food, maar ook mobility zoals de ontwikkeling en fabricage van accu’s en batterijen.” Ondanks hun ruime ervaring geven beiden aan dat, juist vanwege de snelle technologische ontwikkelingen, de werkelijke toekomst van deze snel groeiende markt niet te voorspellen is. Toch wordt een poging gedaan een beeld

te schetsen. Stuiver: “Het contamination continuum is een gegeven. Hiermee doel ik op de cirkel waarin de miniaturisatie voor nieuwe producten en toepassingen zorgt en dit op zijn beurt weer voor nieuwe en strengere criteria voor wat betreft contaminatie. Zie figuur 1.” Stuiver schets de toekomst: “In de elektronicaindustrie zet de miniaturisatie onverminderd door. Waar we eerst rekening hielden met deeltjesgroottes van een micrometer (1·10-6 m) is dit inmiddels al een factor 1.000 kleiner ofwel een nanometer (1·10-9 m). Tegelijkertijd worden er belangrijke stappen gezet naar technologieën die gebruik maken van steeds kleinere deeltjes, van elektronen naar fotonen en quantum bits. Bij life sciences zien we een tegenovergestelde ontwikkeling, hier zijn we inmiddels in staat om moleculen en specifieke vaccins te creëren. Dit vertaalt zich niet alleen in nieuwe medicijnen maar door deze twee ontwikkelingen te combineren ontstaan ook innovaties zoals lab-on-a-chip of bioelectronics.” Perry: “Een mooi voorbeeld hiervan is het Oxford Martin Programma van de Oxford University. Hier wordt een medicijn ontwikkeld dat je één maal per jaar moet innemen en dat kankercellen detecteert en tevens vernietigt. Het bestaat uit een grafeen nanotube, gewikkeld in een proteïne. Een potentieel medicijn dat het unieke resultaat is van technologische ontwikkelingen uit de farmacie, halfgeleiderindustrie en biotechnology.” “Wellicht lijkt dit nu nog ver van ons bed maar gepersonaliseerde medicijnen is een zeer interessante ontwikkeling en er komen steeds meer mogelijkheden,” vult Stuiver aan. “Uiteraard is hierbij rekenkracht en data nodig waarmee ziekenhuizen in staat zijn meer gepersonaliseerde zorg en medicijnen zelf te prepareren en hiervoor zijn ruimten met contamination control onontbeerlijk.” De volgende stelling komt op tafel: Toekomstige technologieën zijn onmogelijk zonder contamination control. “Misschien niet helemaal waar, maar in ieder geval wel die technologieën die de economie voortstuwen”, aldus Perry. “En zeker die ontwikkelingen die de welvaart en gezondheid van de samenleving betreffen zoals life science. Ik pleit er ook voor om niet enkel in halfgeleiderindustrie te investeren maar juist in R&D en dan met name in life sciences. De EU is hier al sterk in. Het gaat om de juiste balans. Immers de semiconductor industrie is cruciaal voor informatie en data.”

Contamination Control Magazine editie 03-2021

11


TOEKOMST

VISIE -vervolg-

Bij EUV (extreme ultraviolet lithography) moet ook rekening worden gehouden met contaminatie van oppervlaktes en de chemische zuiverheid van de lucht. Uiteindelijk is dit enkel mogelijk door te werken in een vacuüm.

12

Herdefiniëren van contamination control De definitie van contamination, in een cleanroom omgeving, richt zich heden ten dagen niet alleen meer op de productreinheidseisen op basis van aantallen deeltjes in de lucht, maar gaat inmiddels veel verder, stellen zowel Eric Stuiver als Chris Perry. De miniaturisatie in allerlei toepassingen leidt tot verdergaande eisen ten aanzien van contamination control, in de halfgeleiderindustrie en voor een groot aantal andere sectoren zoals life sciences. Het gaat dan niet alleen om de luchtgedragen deeltjes maar om een groot aantal andere mogelijke contaminaties. De diversificatie zoals aangegeven in de rechter cirkel van figuur 1. Er zijn de nodige voorbeelden van de diversificatie te geven. Neem trillingen. Perry: “Als er 15 jaar geleden als uitgangspunt over trillingsniveau E werd gesproken dan had je een hoogwaardige eis. Inmiddels is dit al niveau F, G en soms al H.” Stuiver: “De deeltjes waren en zijn bij de semiconductor industrie nog leidend. Maar bij de laatste halfgeleider technologie, de EUV (extreme ultraviolet lithography) moet ook rekening worden gehouden met contaminatie van oppervlaktes en de chemische zuiverheid van de lucht. Uiteindelijk is dit enkel mogelijk door te werken in een vacuüm zodat contaminatie vanuit de lucht wordt uitgesloten.” Bij het maken van quantum schakelingen moet letterlijk elke beweging worden vermeden en dat kan alleen door het proces in speciale opstellingen bij het absolute nulpunt uit te voeren. Perry: “Een voorbeeld van life sciences is bioprinting, waarbij botten en organen op gepersonaliseerde basis kunnen worden gemaakt. Hiervoor is beslist contamination control nodig waarbij naast deeltjes, bacteriën en virussen de te beheersen contaminanten zijn.” Stuiver: “Bij de fabricage van batterijen voor de auto-industrie wordt een ruimte gecreëerd met een relatieve vochtigheid van 5%. Je spreekt dan niet enkel van een cleanroom maar van een dry-room waar vocht de contaminant is.”

“Een heel ander voorbeeld is de realisatie van een archief,” stelt Perry. “Hier was vanuit het oogpunt van brandgevaar zuurstof de contaminant. Personen die hier gingen werken ondergingen een medische keuring om te checken of ze in deze omstandigheden konden functioneren.” Conclusie is dat bij veel nieuwe technologieën het begrip contaminatie moet worden hergedefinieerd van deeltjes naar alles wat een probleem kan vormen bij een fabricageproces of opslag van producten. Realisatie contamination control en rol ontwerper Bovengenoemde ontwikkelingen hebben een grote invloed op de definitie en daarmee de realisatie van contamination control. Maar ook op de rol van de ontwerper en architect. Stuiver: “Veel van de genoemde voorbeelden zijn high-end oplossingen met hoge eisen ten aanzien van contamination control. De eisen zijn vaak zo hoog, vacuüm of een temperatuur van -273 °C, dat dit alleen in een mini-environment mogelijk is waarbij ook een grote diversiteit aan bedrijfsstoffen vereist is.” Perry: “Dit is een algemene trend. In de halfgeleiderindustrie zie je dat, in tegenstelling tot vroeger, de kosten voor de machines een stuk hoger liggen dan de kosten voor de cleanroom. Dit betekent automatisch een prominentere rol voor de industrial engineer.” Het ontwerp begint met het bepalen van het niveau van contamination control. Perry: “Het is zoeken naar de juiste balans tussen betrouwbaarheid en kosten aan de ene kant en de minimale eisen aan de andere kant.” Stuiver: “Het is als ontwerper je taak de opdrachtgever uit te dagen aangaande het gewenste niveau van contamination control. Dit verschilt per sector.” Perry: “De opdrachtgever zal in principe voor een risicomijdend ontwerp gaan en daarbij kijken naar de kosten. In de halfgeleiderindustrie is dit relatief eenvoudig. Op basis van een mathematische berekening kun je op basis van een ISO klasse de uitval

Figuur 1. Ontwikkelingen en gevolgen (bron: Chris Perry & Eric Stuiver)


Het ontwerp begint met de balans tussen de kosten en de minimale eisen.

per wafer berekenen, de zogenoemde yield. Als dit op minder dan 1% ligt dan zal er geen behoefte zijn naar een zwaardere ISO klasse voor de cleanroom. In de biotech ligt dit gecompliceerder. De aantallen zijn geringer, de impact is vele malen groter, het besmettingsgevaar is ongrijpbaarder en hier staat risico vermijden dan ook bovenaan.” “De foodsector heeft weer een andere insteek”, zegt Stuiver. “Deze sector is zeer sterk kosten gedreven maar kan juist ook profiteren van de condities waarin het product wordt samengesteld. Industrieel gekweekt voedsel wordt steeds meer noodzaak en de aantallen zijn groot. Als het misgaat moet je direct ook heel veel weggooien. Dit wil je uiteraard voorkomen.” Mede gedreven door de snelle ontwikkelingen in nieuwe sensoren wordt er steeds meer naar adaptieve regeltechniek gekeken vanuit kostenbesparing, bijvoorbeeld verlaging van de luchthoeveelheid in deellast, constateert Stuiver: “Met de huidige stand van zaken in de besturingstechniek is dit mogelijk maar het zal altijd zonder extra risico’s voor het proces gepaard moeten gaan.” Stuiver vervolgt: “Niet alleen de eisen aan het product of ruimte bij de gebruiker worden cleaner. Dit geldt voor de gehele keten, waaronder de toeleveranciers. Maar dan hebben we het ook over ‘clean’ in de definitie van afval en duurzaamheid. Voor wat betreft energiegebruik wordt dit geëist vanuit bedrijfsstrategie, subsidieverstrekkers en/ of de overheid. Denk hierbij bijvoorbeeld aan de plannen voor een CO2-taks. Inmiddels worden de standaarden als BREEAM en LEED ook van toepassing voor de meer complexe onderdelen van een gebouw als een lab of cleanroom.” Perry: “Dit is een behoorlijke uitdaging. Deze industrie gebruikt dusdanige

hoeveelheden energie dat dit niet lokaal is op te wekken.” Stuiver: “Door energie direct vanaf het begin mee te nemen kun je aan hergebruik van energie denken. Veel machines gebruiken dusdanig veel energie dat je moet nadenken hoe je dit elders in het gebouw kunt hergebruiken.” “Dit geldt ook voor afval.” Perry: ”Als je afval als energie beschouwt dan kan dit niet verloren gaan. Door het te herdefiniëren kun je kijken naar hergebruik.” Een generiek ontwerp Kijkend naar de toekomst ziet Perry de trend dat een cleanroom generiek moet zijn waarbinnen een specifiek en complex productieproces kan plaatsvinden. “De investeringen zijn hoog en je wilt daarom alles er uit kunnen halen. Ook weet je dat het productiedeel aan veranderingen en innovaties onderhevig is. Het generieke deel, bijvoorbeeld een ISO 6 cleanroom met trillingsniveau E, is geschikt om meerdere productiemachines in de toekomst te kunnen huisvesten.” Stuiver: “Het is aan de cleanroom ontwerper om samen met de klant te zorgen voor een toekomstbestendige faciliteit. De ontwerper moet daarom kunnen functioneren in een integraal ontwerpteam waarin specialisten van de diverse disciplines samenwerken en alle aspecten als proces, contamination control, bedrijfsstoffen, afval en energie worden meegenomen. Uiteraard binnen de financiële kaders.” Perry: ”Als ontwerper is het noodzakelijk kennis te hebben van het proces, dit kan of halfgeleider of biotech industrie zijn. Dit is cruciaal om de taal van de opdrachtgever of andere specialisten in het team te begrijpen en daarmee succesvolle toepassingen te kunnen hergebruiken in andere sectoren of processen.“

Christopher Perry (links) en Eric Stuiver (rechts): ”Als de technologische ontwikkelingenexponentieel blijven groeien, wees dan voorbereid op het onbekende.”

Contamination Control Magazine editie 03-2021

13


M E E T I N S T R U M E N T A T I E

EE680 serie luchtsnelheid opnemers voor laminaire flow bewaking

Turfschipper 114 | 2292 JB Wateringen | Tel. 0174 272330 | info@catec.nl | www.catec.nl

Laminaire Flow Meters, haaks en recht model, EE680 serie De EE680 is specifiek ontwikkeld voor het nauwkeurig meten van de luchtsnelheid en temperatuur in laminaire flow applicaties zoals in clean rooms, ziekenhuizen, farmacie, biowetenschappelijke applicaties de micro­elektronica industrie. De opnemers zijn voorzien van een uiterst nauwkeurige thermo anemometer en kent een luchtsnelheid range van 0 tot 2 m/s bij een temperatuur bereik van ­20 tot 70 graden. Features •Multipoint kalibratie •SS meetvoeler en meet kop •Nauwkeurig, vanaf 0,1m/s •Clean room uitvoering volgens GMP •Sensor coating

Toepassingsgebieden •Operatie kamers •Clean rooms •Zuurkasten •Veiligheidskasten

Specificaties •analoge uitgangen 0­5/10V, 0/4­20mA •digitale uitgang Modbus RTU •voeding 24 VDC •voeler lengte 200mm / 300mm

www.dcrf

info@dcr

0412 451

Meerstraa Heeswijk-

info@dcrf.nl | 0412 451579 | Meerstraat 22, Heeswijk-Dinther DCRF Advertentie 2017 DEF (191 x 126).indd 1

Meer weten? www.dcrf.nl 26-06-17 17:35


Een dag in het leven van…

Menno Engwerda Accountmanager CleanAir by Baker

© KMWE

Onze vakmensen hebben de kennis en vaardigheden in huis Cleanroom Combination Group realiseert geclassificeerde ruimtes in de zorg, farma en biotech, als ook in laboratoria, nucleaire, hightech en overige hoogwaardige industrieën.

www.cleanroomcg.com

SCHRIJF JE

IN

WORD LIDEN ! Een persoonlijk- of bedrijfslidmaatschap van VCCN is een absolute ‘must’ voor wie zich beroepsmatig bezighoudt met contamination control. Het lidmaatschap vormt een belangrijke toegevoegde waarde binnen jouw vakgebied.

DE VOORDELEN VAN VCCN

LIDMAATSCHAP • • • • • • • • •

Beschik over een platform van kennis en ervaring Ontvang 4x per jaar C2MGZN (het magazine van VCCN) Ontvang informatie over VCCN activiteiten Neem deel aan symposia en excursies tegen gereduceerd tarief Breid je netwerk uit Maak deel uit van een landelijke organisatie met internationale contacten Neem deel aan de beleidsvorming van de vereniging Participeer in innovaties binnen het vakgebied Ontvang 4x per paar CACR digitaal (Clean Air and Containment Review)

Meer informatie en inschrijven op: https://www.vccn.nl/word-lid

WE SHARE THE KNOWLEDGE

“Als accountmanager is het mijn taak om nauw betrokken te blijven bij mijn klanten. Service is een belangrijke peiler bij CleanAir, ik wil het dus weten als het goed gaat, maar ook zeker als een klant vragen of wensen heeft. Daarnaast is het onderhouden van mijn netwerk belangrijk om op de hoogte te blijven van wat er speelt in de markt en waar nieuwe projecten starten. CleanAir is gebouwd op bijna 50 jaar aan kennis op het gebied van microbiologische veiligheidswerkbanken, cross- en downflow installaties, isolatoren, maatwerkprojecten, etc. Daarom is het adviseren van (potentiële) klanten erg belangrijk en tegelijk een van de leukste taken van mijn functie. Gelukkig heb ik geen gemiddelde werkdag. De afwisseling is de reden waarom ik mijn werk zo leuk vind. Op de leukste werkdagen ben ik vroeg op pad, heb ik meerdere afspraken bij klanten en doe ik bij thuiskomst mijn administratie. Uiteraard is voor mijn functie de kennis van onze verschillende apparatuur onmisbaar. Het goed kunnen adviseren van een klant is key in mijn job. Er wordt regelmatig met zeer schadelijke stoffen of organismen in onze microbiologische veiligheidswerkbank gewerkt. Veiligheid is daarom een grote prioriteit! Ik heb een aantal collega’s die ik grappend “lopende bibliotheken” noem. Sinds ik zeven jaar geleden bij CleanAir begonnen ben, heb ik enorm veel van ze geleerd. Ik ben van nature erg nieuwsgierig, dus als ik ergens vragen over heb, over twijfel of gewoon een sparringpartner zoek, dan trek ik een van mijn collega’s aan de mouw. Daarnaast lees ik o.a. LabInsights en BiotechNEWS & Life Sciences om up-to-date te blijven. Als ik kijk naar waar ik het meest trots op ben in mijn werk dan zou ik meerdere mooie en grote projecten kunnen noemen die me bijgebleven zijn. Achter elk succesvol project zit een team van gedreven collega’s. Daarom ben ik het meest trots op hoe wij als firma onze plek in de markt sterk hebben verstevigd en wij samen onze projecten tot een succes maken. Ik ben echt een mensenmens en heb een natuurlijke en oprechte interesse in mensen. Als het even kan neem ik de tijd om mijn klanten echt te leren kennen. Daarmee krijg ik ook direct helder wat ze verwachten, zodat ik ze op de best mogelijke manier kan adviseren en assisteren. Als accountmanager krijg je ook met tegenslag te maken. Bijvoorbeeld het verliezen van een project waar je veel energie in hebt gestoken. Als ik iets zou adviseren, is het om jezelf toe te staan dat je altijd mag blijven leren, reflecteer op het project en kijk hoe je het een volgende keer anders kan aanpakken. Ik heb geleerd dat je altijd jezelf moet blijven, wie er ook tegenover je zit. Als ik een ding binnen de cleanroom industrie zou mogen veranderen is het dat onze apparatuur stand-alone in cleanrooms staat en qua formaat soms al lastig in te huizen is. Wij komen nog wel eens tegen dat deuren in een sluis niet tegenover elkaar zitten. Dat maakt dat wij onze apparatuur soms ter plekke moeten opbouwen in de cleanroom. Verre van ideaal voor de klant, omdat dit tijdsintensief is en extra kosten met zich meebrengt. Nederland is een land dat bij uitstek geschikt is voor de life-science industrie. Waar de cleanroom industrie zich op moet blijven focussen is dat alle leveranciers binnen deze industrie de kwaliteit van diensten en producten hoog moeten houden, zodat we met zijn allen een goed investeringsklimaat blijven bieden aan (nieuwe) bedrijven in de life-science industrie.”

15


HIGH TECHNOLOGY? Vaak kan niemand de oorzaak van kwaliteitsproblemen identificeren, omdat de kennis hiervoor niet aanwezig is. Een gebrek aan inzicht in de individuele problemen kan een grote impact hebben op de kwaliteit van het eindresultaat. Joachim Ludwig

16


De term

cleanroom

technologie wordt te vaak opgevat als kennis die alleen wordt

toegepast in een

cleanroom.

Sinds het begin van de jaren 60 van de vorige eeuw is het uiterlijk van cleanroom technologie en de kijk op deze hoogwaardige technologie maar marginaal veranderd. Veel potentiële gebruikers van cleanroom technologie reageren met een glimlach wanneer cleanroom technologie wordt gelinkt aan de term ‘high technology.’ Maar velen van hen hebben zich nooit intensief bezig gehouden met de vragen en antwoorden van cleanroom technologie of wilden ermee omgaan. Om deze reden heeft cleanroom technologie een vergelijkbare relatie met haar hightech toepassingsgebieden als wiskunde tot natuurkunde. Het wordt beschouwd als een hulpwetenschap en dus onvermijdelijk. Het resultaat van deze aanpak is een gebrek aan inzicht in de individuele problemen, die een ernstige impact kunnen hebben op de kwaliteit van de vervaardigde producten. Onvolledige kennis Vaak kan niemand de oorzaak van kwaliteitsproblemen identificeren, omdat de kennisbasis voor deze bevindingen niet aanwezig is. Veelal wordt de term “cleanroom technologie” opgevat alsof er een cleanroom moet zijn. De term “cleanroom technologie” omvat echter veel meer dan alleen deze cleanroom, die slechts een klein onderdeel is van de gehele technologie. Het wordt vaak niet begrepen dat cleanroom technologie een breed scala aan producten, oplossingen en diensten omvat, die allemaal hun eigen uitdagingen met zich meebrengen en die voor elke specifieke toepassing moeten worden overwogen. Dit onbegrip leidt tot verkeerde ‘gouden regels’ in de visie op cleanroom technologie. DE ‘DRIE GOUDEN REGELS’ “Dat hebben we altijd zo gedaan” Een cleanroom is bijvoorbeeld pas een cleanroom als deze een uitgekiend barrièresysteem heeft. Voor persoonlijke luchtsluizen worden bijvoorbeeld standaard zogenaamde luchtdouches geïnstalleerd naast de vraag naar interlock op de sluisdeuren. Uit een aantal onderzoeken blijkt dat het reinigende effect van een dergelijke luchtdouche in het lage deeltjesbereik van 0,1-10 m vrij klein is, maar aanzienlijk toeneemt met toenemende deeltjesgrootte. Maar ook een goed functionerend logistiek proces, waarbij het goed schoonmaken, opslaan en verschonen van cleanroom kleding hoort, kan voorkomen dat er grote deeltjes (30, 50, 100 m) op de kleding terechtkomen. Het is bekend dat het aantal deeltjes exponentieel toeneemt met afnemende grootte vanwege de grootteverdeling van deeltjes in de lucht en op oppervlakken. Dit betekent dat het aantal deeltjes, dat door luchtdouches kan worden losgemaakt, vrij klein is. Bovendien zou het effect, met name in deeltjesgroottebereiken die het meest interessant zijn voor reiniging (0,1-10 m), marginaal zijn. Desalniettemin worden deze luchtdouches op grote schaal toegepast en worden deze geëist door engineers en eindklanten. De reden voor deze investering is vooral dat het

altijd al op deze manier is gedaan en het effect van de luchtdouche installatie niet verder wordt uitgedaagd. Er zijn zeker redenen die het gebruik van luchtdouches rechtvaardigen. Zo veroorzaakt de luchtdouche een psychologisch effect wanneer de medewerker een gevoelig gebied betreedt en vervolgens zijn/haar gedrag daarop aanpast. “Dat hebben we nog nooit gedaan” In dit voorbeeld is een concept voor een mini-environment ontwikkeld waarbij gebruik is gemaakt van de condities van de procesmachine voor een optimale luchtstroom. Het doel van het concept was het behalen van de reinheidsklasse ISO 5 op de verwerkingslocatie. De klant gebruikte een granieten tafel en daarboven een granieten portaal. Alle processpecifieke componenten werden aan het granietportaal bevestigd en werden alleen gebruikt tijdens individuele processtappen in het productgebied. Een optimale luchtstroom zou dus worden bereikt door een horizontale verplaatsingsstroom met lage turbulentie. Het resultaat zou een relatief onbelemmerde vrije doorsnede zijn, waardoor de lucht van een ventilatorfiltermodule over de proceslocatie zou stromen. De deeltjes die door het proces worden uitgestoten, zouden worden geloosd in niet-kritieke gebieden. Een verticale stroming was ongunstig vanwege de obstructie met de processpecifieke componenten. In dit geval zou de belemmering van de luchtstroom zo ernstig zijn dat er op de verwerkingslocatie niet voldoende zuivere lucht beschikbaar zou zijn om het productgebied te beschermen. Daarnaast bevonden de processpecifieke componenten zich precies tussen de filtermodule en de proceslocatie, zodat daar vrijkomende deeltjes naar het product konden worden geleid. De aanpak in dit concept was logisch en eenvoudig uitvoerbaar met als realistisch doel om minimaal reinheidsklasse ISO 5 op de verwerkingslocatie te behalen. Het projectteam had ingestemd met het concept. De manager van dit bedrijf was het daar echter niet mee eens, “want in een cleanroom moet de lucht altijd van boven komen”. 

Contamination Control Magazine editie 03-2021

17


HIGH

TECHNOLOGY? -vervolg-

Uit onderzoeken blijkt dat het reinigende effect van een luchtdouche in het lage deeltjesbereik van 0,1-10 m vrij klein is, maar aanzienlijk toeneemt met toenemende deeltjesgrootte. Maar een goed functionerend logistiek proces, -goed schoonmaken, opslaan en verschonen van cleanroom kledingkan óók voorkomen dat er grote deeltjes op de kleding terechtkomen.

18

Helaas is daar nooit aan een horizontale stroming gedacht. “Wie ben je eigenlijk” Het onderwerp reiniging van afzonderlijke onderdelen, subassemblages en machines onder cleanroom omstandigheden is een voortdurend groeiende vraag, niet alleen vanuit de auto-industrie, maar ook van veel machinefabrikanten wiens machines worden gebruikt in cleanroom omgevingen. In dit voorbeeld vroeg een klant om het reinigen van een aantal losse onderdelen in een cleanroom met classificatie ISO 7. Hoewel deze taak vrij ongecompliceerd en weinig spectaculair leek, werden er toch vragen gesteld over de te behalen zuiverheidsgraad van de oppervlakken. Het was belangrijk om de kwaliteitseisen te identificeren om het reinigingssucces te evalueren. Voor de klant was het niet van belang of deze specificaties afkomstig zijn uit een richtlijn (bijvoorbeeld VDI 2083-9.1) of interne specificaties. Verder gaf de klant geen informatie over de reinigingsprocedure zelf. De enige eis van de klant was reiniging onder ISO 7-omstandigheden. De aanbieder die de adequate resultaatgerichte vragen stelde was te ver vooruit en de klant begreep de noodzaak van deze vragen niet. Deze anekdotes zijn voorbeelden en roepen de vraag op hoe deze inzichten ontstaan en waarom cleanroom technologie niet de aandacht krijgt die het uiteindelijk verdient. Er zijn verschillende manieren om gevoelige processen onder schone omstandigheden uit te voeren, waarvoor niet per se een cleanroom nodig is. De focus moet liggen op optimale productieomstandigheden op de verwerkingslocatie en kostengeoptimaliseerde oplossingen (investeringen en exploitatiekosten). Risico’s die voortvloeien uit werken met Cleanroom technologie en materialen Het gedrag van de “drie gouden regels” en het algemene gebrek aan begrip van de individuele stappen en vereisten van het cleanroom proces, brengen een enorm risico met zich mee voor de productkwaliteit. Hier twee voorbeelden waarin niet voor de hand liggende risico’s verborgen kunnen liggen. Deze risico’s zijn nooit of zelden aangepakt of zijn ontstaan uit lange termijn benaderingen, waarbij processen al lang in het bedrijf functioneren en daarom niet ter discussie worden gesteld. Deeltjestellers als deeltjesbron Sinds het begin van de cleanroom technologie was het nodig om de zuiverheid van een cleanroom of een schone ruimte aan te tonen door middel van deeltjestellers. In de loop der jaren heeft zich een groot aantal aanbieders van deeltjestellers op de markt gevestigd, waardoor een breed scala aan verschillende deeltjestellers beschikbaar is.

Veel gebruikers vertrouwen op deze techniek en gebruiken de vastgestelde waarden als een belangrijk onderdeel van hun kwaliteitsborging, maar overwegen niet noodzakelijkerwijs deze meettechniek te evalueren. Om de vereisten voor een dergelijke deeltjesteller beter te begrijpen, is het belangrijk om te weten wat een ISO 7, ISO 5 of ISO 1 volgens ISO 14644 omvat. Uit ISO-tabellen is algemeen bekend dat bij ISO 1-classificatie in één kubieke meter lucht (meetvolume) niet meer dan 10 deeltjes groter en/of gelijk aan 0,1 m mogen zijn. Het is vrij moeilijk voor te stellen wat deze cijfers eigenlijk betekenen. Stel je voor dat je een luchtpomp gebruikt om de opzet van het experiment op te pompen tot een meetvolume van de aarde. De grootte van de kleine deeltjes zou dan slechts 1 m³ per stuk zijn. Het is dus een hele uitdaging om die tien deeltjes in het gedefinieerde volume te detecteren, wat de striktheid van de vereisten aantoont. Het is belangrijk om te bedenken dat elk analyseapparaat ook een bron van verontreiniging is en daarom alleen met zorg mag worden gebruikt in de procesruimte. Zo bleek tijdens een reeks testen op geschiktheid voor cleanrooms dat er een verhoogde deeltjesconcentratie was nabij de deeltjesteller. Deze verhoogde deeltjesconcentratie kon niet worden toegeschreven aan enige schijnbare deeltjesbron. Nader onderzoek bracht aan het licht dat de deeltjesteller zelf de bron was van verhoogde deeltjesconcentratie, een resultaat dat niemand had verwacht. Daarom hebben we besloten om twee verschillende deeltjestellers te evalueren op hun deeltjesoutput. Er zijn twee deeltjestellers geselecteerd met het kleinste meetkanaal van 0,1 m. Beide apparaten zijn geschikt voor metingen en de detectie tot aan de classificatie van de ISO 1. Een van de tellers maakt gebruik van een laser en de andere teller gebruikt een laserdiode als lichtbron. Voor de rest zijn de toestellen grotendeels identiek. Beide tellers zijn uitgerust met een koelventilator, die verantwoordelijk is voor de koeling in de meetinstrumenten (Fig. 1 en Fig. 2). Het is bekend dat dit type koeling door bewegende lucht gepaard gaat met een verhoogde deeltjesafgifte. Tijdens real life metingen wordt het deeltjesteller instrument niet in de directe nabijheid van het meetpunt geplaatst. De uitgestoten deeltjes worden door de luchtstroom weggevoerd en via de kortste weg afgevoerd naar niet-kritieke gebieden. Desalniettemin moet het bewustzijn worden gewekt dat dergelijke mogelijk deeltjes emitterende deeltjestellers worden aangeboden voor gebruik met de hoogste reinheidsnormen. Bovendien tonen deze resultaten het belang aan van een bewust gebruik van dergelijke apparaten om de


Cleanroom

Figuur 1 Deeltjesteller 1

Figuur 2 Deeltjesteller 2

technologie krijgt in praktijk

vaak niet

Deeltjesteller 1 laat een onverwacht hoog aantal uitgeputte deeltjes zien (Tabel 1), vergelijkbaar met de resultaten van deeltjesteller 2. De deeltjestellingen bleken veel hoger dan algemeen aanvaard voor een ISO 1-omgeving. In Fig. 3 werden de telwaarden in perspectief geplaatst voor de verschillende ISO-classificaties en het is duidelijk zichtbaar dat de deeltjesuitstoot in het bereik ligt dat acceptabel is voor ISO 5- of ISO 6-omgevingen, maar niet voor een ISO 1-omgeving.

de aandacht die het verdient, met alle

risico’s

van dien.

Fig. 3: Grafische weergave van deeltjesteller

hoogste kwaliteit van het totale systeem te garanderen. Het is belangrijk om toe te voegen dat de meeste apparaten erg goed zijn en dat er apparaten zijn die minder geschikt zijn voor hun specifieke toepassing. Zeker speelt ook de ‘state of the art’ een rol, zodat deze toestellen volgens de laatste bevindingen verder zijn doorontwikkeld. Selectie van verpakkingsmateriaal Ook op het gebied van verpakkingen zijn bewuste keuzes belangrijk om de productkwaliteit te waarborgen. Het verpakken van gevoelige producten is altijd onderdeel geweest van de processtappen die veel aandacht krijgen maar vaak verkeerd worden ingeschat in verband met hun risico’s. Zo vraagt de toeleveringsketen van de halfgeleiderindustrie om de producten te

wikkelen en te lassen in de ‘roze antistatische cleanroom folie.’ Om de exacte samenstelling van deze ‘roze antistatische cleanroom folie’ te begrijpen, werd het productinformatieblad nader geanalyseerd met betrekking tot de toepasbaarheid van de folie. 2 Antistatische eigenschappen van > 104 en < 1011 Ω bij 23 0C en 30 % relatieve vochtigheid • Temperatuur en vochtigheid beïnvloeden de antistatische eigenschappen van de folie. Wanneer de vochtigheid afneemt, neemt de weerstand toe en daarmee gaan de antistatische eigenschappen verloren. • De folie wordt voor een breed scala aan toepassingen gebruikt vanwege de antistatische eigenschappen. Om het product te beschermen tegen vocht is de verpakking gevuld met stikstof. 

Contamination Control Magazine editie 03-2021

19


HIGH

TECHNOLOGY? -vervolg-

De resulterende lage luchtvochtigheid leidt tot een weerstand die tot in het oneindige gaat en dus gaan de antistatische eigenschappen verloren.

De eigenschappen hebben een garantie van 18 maanden • Hoe lang is de folie bij de leverancier bewaard gebleven? • Hoe lang is de folie door de gebruiker bewaard? • Hoe lang wordt de folie als verpakkingsmateriaal bewaard door de eindklant? Opslag condities 15 - 30°C en 45 - 70% relatieve vochtigheid De bewaarcondities bij de leverancier, gebruiker en eindklant dienen geborgd te zijn. Bescherming tegen UV-licht • De bewaarcondities bij de leverancier, gebruiker en eindklant dienen geborgd te zijn. Niet bewaren in de buurt van warmtebronnen of blootstellen aan zonlicht • De bewaarcondities bij de leverancier, gebruiker en eindklant moeten geborgd zijn. • Vaak is er beperkte ruimte voor de opslag van verpakkingsmaterialen en worden deze daarom bovenin het niet geklimatiseerde magazijn opgeslagen. In de zomer kan daar tot 50°C worden bereikt; in de winter temperaturen onder 0°C. Bescherm de buitenverpakking tegen beschadiging en stof • De bewaarcondities bij de leverancier, gebruiker en eindklant dienen geborgd te zijn. • Ook magazijnlocaties voor verpakkingsmaterialen dienen schoon en veilig te worden gehouden. Laat 48 uur voor gebruik acclimatiseren onder procesomstandigheden • Er moet rekening worden gehouden met acclimatisatieperiodes in processtromen.

20

Op het gebied van verpakkingen zijn bewuste keuzes belangrijk om de productkwaliteit te waarborgen. Het verpakken van gevoelige producten is altijd onderdeel geweest van de processtappen die veel aandacht krijgen maar vaak verkeerd worden ingeschat in verband met hun risico’s.

Hoewel deze specifieke roze folie onder cleanroom omstandigheden is geproduceerd, betekent dit niet dat een roze folie aan de cleanroom specificaties voldoet. Om de eindgebruiker te kunnen garanderen dat zijn product goed is verpakt, is een cleanroom folieterm vereist die aangeeft: • Is de folie geproduceerd onder cleanroom omstandigheden? • Is de folie gereinigd onder cleanroom omstandigheden? • Is de folie netjes verpakt? • Is de procesketen van de folie van productie tot gebruik gesloten of zijn er aan het einde van de procesketen hiaten die de reinheid van de folie niet meer garanderen.

Daarnaast is het van belang dat de halfgeleiderindustrie, de optische industrie en tal van andere industrieën bijzondere eisen stellen aan de afwezigheid van moleculaire verontreinigingen. Dit betekent dat de verpakkingsmaterialen zeer lage uitgassnelheden van verontreinigingen moeten hebben. Verontreinigingen die zorgen baren zijn siliconenverbindingen, die een negatieve invloed hebben op de productkwaliteit, vooral in de halfgeleiderindustrie. Deze siliconenverbindingen worden echter ook gebruikt als smeermiddel (bijvoorbeeld siliconenolie) in het fabricageproces van de folies. Deze smeermiddelen zorgen ervoor dat de folie gemakkelijk van de rol kan worden afgerold, evenals de scheiding van twee lagen in een buisvormige folie. De aanwezigheid van siliconen als bestanddeel van verpakkingsfolies maakt deze folies ongeschikt voor gevoelige producten. Dit voorbeeld toont het belang aan van een bewuste keuze van verpakkingsmateriaal voor elk specifiek product. Er moet meer bewustzijn worden gewekt met betrekking tot de compatibiliteit van verpakkingsmateriaal. REFERENTIES: 1. Ortner Reinraumtechnik GmbH, PersonenLuftschleusentechnologie, Funktion – Reinigungseffizienz – Betriebsempfehlung, Villach, Austria 2. Bischof + Klein SE Co. KG, Data sheet, CleanFlex® PROTECLEN® CF ANTISTATIC PE FILM


ONTVANG

VCCN RICH TLIJN 12 & BEZOEK DE

BEDRIJVE

NMARKT

VCCN SYMPOSIUM PRODUCT CLEANLINESS DONDERDAG 14 OKTOBER 2021 BRAINPORT INDUSTRIES CAMPUS EINDHOVEN

Richtlijn 12

Sprekers

In toenemende mate wordt aan leveranciers gevraagd producten schoon aan OEM bedrijven (Original Equipment Manufacturer) te leveren. Omdat er behoefte is aan een definitie hoe schoon het product moet zijn, heeft VCCN in 2017 de projectgroep Nano, Micro, Product Reinheid opgericht. In deze werkgroep zitten OEM bedrijven, toeleveranciers en kennisbedrijven. Al snel nadat de werkgroep startte, voelde men de behoefte om een richtlijn te ontwikkelen, zodat iedereen met betrekking tot productreinheid dezelfde taal spreekt. Met de hulp van OEM bedrijven, die eisen stellen aan de reinheid van het product, is men voortvarend aan de slag om VCCN Richtlijn 12 op te stellen. Aan het einde van het symposium wordt de nieuwe richtlijn overhandigd aan prof. Dr. Vadim Banine van ASML.

Tijdens dit Engelstalige symposium in Eindhoven presenteren experts de voortgang van VCCN Richtlijn 12 en geven een inhoudelijke bijdrage. De sprekers zijn:

• • • • • • • •

Koos Agricola, projectleider VCCN Richtlijn 12 Philip van Beek, VCCN Max van de Berg, Festo Rients de Groot, Thermo Fisher Scientific Paul Krüsemann, Eurofins Material Science Netherlands B.V. Freek Molkenboer, TNO Olof Teulings, NTS Mechatronics Dirk Trienekens, ASML Netherlands B.V

Kijk voor meer informatie en om aan te melden op www.vccn.nl/congressen

WE SHARE THE KNOWLEDGE 21


CURSUSUITGELICHT CLEANROOM TECHNIEK CURSUS Doelstelling: kennis over alle facetten die een rol spelen bij de realisatie van een cleanroom. Van programma van eisen tot ingebruikname.

22


Leer hoe je een goede afweging maakt tussen de diverse opties en keuzes.

De Cleanroom Techniek Cursus leert je een compleet ‘Programma van Eisen’ op te stellen voor een cleanroom. Je leert daarbij een goede afweging te maken van alle belangrijke facetten bij het opzetten van een cleanroom. Je dient na het afronden van de cursus een procesanalyse te kunnen maken, nodig voor het bepalen van de benodigde ruimten, classificatie en indeling. Het unieke van de VCCN Cleanroom Techniek Cursus is dat deze aan alle genoemde doelgroepen tegelijk wordt gegeven. Dit betekent dat men tijdens de cursus al kennis kan maken met de verschillende partijen, die ook bij de realisatie van een cleanroom project aan bod komen. Algemene informatie • Nederlandstalig • Geen specifieke vooropleiding gevraagd • Les van zeer ervaren docenten op het terrein van beheer, opzet, technische installaties en bouwkundige zaken • 2 aaneensluitende lesdagen, exclusief hotelovernachting • Locatie: VCCN, Woerden Doelgroepen Opdrachtgevers van cleanrooms, projectleiders technische adviesbureaus, projectleiders installatiebedrijven en leveranciers. De Cleanroom Techniek Cursus is bedoeld voor iedereen die een cleanroom gaat opzetten. Van ontwerper of bouwer tot toekomstig gebruiker. Technici en leidinggevenden Technici en leidinggevenden werkzaam bij opdrachtgevers leren beter te formuleren wat voor een toekomstige cleanroom van belang is. Een betere afweging tussen de verschillende aspecten en opties kan leiden tot een economisch aantrekkelijker cleanroom.

Cleanroomontwerpers Voor diegene die voor een opdrachtgever een cleanroom ontwerpen stelt deze cursus vooral de aspecten aan de orde die in regulaire bouwprojecten niet of minder van belang zijn. De verkregen cleanroomkennis leidt tot ontwerpen, die beter passen bij de wensen van de klant. Cleanroombouwers Voor cleanroombouwers is vooral de bijzondere aandacht die de keuze van materialen, componenten en bouwwijze voor de realisatie van een cleanroom vragen van belang. Het kunnen maken van de optimale keuzes in de realisatie van een cleanroom is in het voordeel van alle betrokkenen.

Meer informatie Voor meer informatie over deze of andere VCCN cursussen bel 088 401 06 50 of mail naar cursus@vccn.nl

Contamination Control Magazine editie 03-2021

23


NIEUWE BEDRIJFSLEDEN ALLFORZ B.V. Boogoort 44 1721 JG BROEK OP LANGEDIJK http://www.allforz.com/ BIG CLEANING Clarisselaan 4 5665 AX GELDROP http://www.bigcleaning.nl/ DOKTER SCHOONMAAK ORGANISATIE Maxwellstraat 2 7825 GA EMMEN http://dokterschoon.nl/ SMART HOSPITAL CONSULTING B.V. Steenhoven 4c 5626 DK Eindhoven https://www.smart-hospital.consulting/

EVEN VOORSTELLEN... SMART HOSPITAL CONSULTING B.V. Sinds januari 2021 is Smart Hospital Consulting BV actief op het gebied van technisch complexe projecten in de ziekenhuisomgeving en life sciences. Met name projecten waar medische of laboratoriumapparatuur moet worden geïntegreerd of waarbij logistieke processen vorm moeten krijgen in het gebouw, behoren tot onze expertise.

NIEUWE LEDEN

Smart Hospital Consulting beschikt over meer dan 25 jaar van persoonlijke ervaring en biedt ondersteuning in de vorm van advies en projectmanagement tijdens elke projectfase, van initiatief tot ingebruikname. Onze filosofie is: ‘Focus on what is perfect for today and smart enough for tomorrow’. Daarmee zetten we in op slim adviseren en realiseren van duurzame oplossingen.

24 28

ALLFORZ B.V. Multidisciplinary Maintenance Management for Critical Environments ‘Onderhoudend naar een hoger niveau’ AllforZ ondersteunt bedrijven, met een geclassificeerde kritische ruimte (zoals een cleanroom of laboratorium) om deze optimaal te onderhouden en te beheren. We minimaliseren daarmee de downtime van de installaties en dus ook het bedrijfsproces. AllforZ organiseert en coördineert de onderhoudsstop. Door risico gebaseerd onderhoud uit te voeren verlagen wij het aantal storingen en verhogen wij de beschikbaarheid van uw kritische ruimten. Tevens ondersteunen wij bedrijven met gedegen en onderbouwde adviezen op het gebied van het beheren en optimaliseren van de kritische klimaatinstallaties.


12 OKT 13 OKT

CLEANROOM TECHIEK CURSUS Woerden Doelstelling: kennis over alle facetten die een rol spelen bij de realisatie van een cleanroom. Van programma van eisen tot ingebruikname.

09 NOV 17 NOV 18 NOV

CLEANROOM TESTEN EN CERTIFICEREN Woerden Belangstellenden 1 dag:09 november Associate 2 dagen: 09 en 17 november Professional 3 dagen: 09, 17 en 18 november

11

NOVEMBER

14

09

WE SHARE THE KNOWLEDGE

OPFRIS CLEANROOM GEDRAG CURSUS Woerden Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

Vereniging Contamination Control Nederland

Jaargang 34 editie 3-2021 is een uitgave van VCCN Vereniging Contamination Control Nederland REDACTIE Philip van Beek, Arthur Lettinga, Jos Bijman en Veerle van Gent REDACTIE COÖRDINATIE Verenigingsbureau VCCN Korenmolenlaan 4 3447 GG Woerden T 088-401 06 50 v.vangent@vccn.nl ADVERTENTIEVERKOOP Bel voor de tarieven naar 088-401 06 50 of bezoek www.vccn.nl

MAAK KEN NIS MET D E LAATSTE ONTWIKKE LINGEN & BEZOEK D E

BEDRIJVE

OKTOBER

03

NOVEMBER

LIDMAATSCHAP Persoonlijk lidmaatschap € 50.- per jaar (incl. btw) Bedrijfslidmaatschap € 225.- per jaar (excl. btw)

NMARKT

FOTOVERANTWOORDING Archief VCCN

SYMPOSIUM PRODUCT CLEANLINESS Brainport Industries Campus Eindhoven Tijdens dit Engelstalige symposium in Eindhoven presenteren experts de voortgang van VCCN Richtlijn 12 en geven een inhoudelijke bijdrage.

VORMGEVING Bareminded www.bareminded.nl VERANTWOORDING De realisatie van C2MGZN is zorgvuldig voorbereid, gepland en uitgevoerd. Desondanks kan VCCN geen verantwoordelijkheid aanvaarden voor eventuele onjuistheden.

CONGRES CONTAMINATION CONTROL ‘t Spant Bussum Het programma bestaat uit lezingen, colleges en workshops over micro-elektronica, farmacie, food, ruimtevaart en gezondheidszorg.

(data onder voorbehoud) Bezoek voor meer informatie www.vccn.nl

COLOFON

14

DOORBRAAK: Het online kunnen monitoren van deeltjesdepositie

HIGH TECHNOLOGY? Het niet echt serieus nemen van contamination control brengt risico’s met zich mee

CLEANROOM GEDRAG CURSUS Eindhoven Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

FEBRUARI

C

2

MGZN

TOEKOMSTVISIE Twee gedreven experts geven hun mening

CLEANROOM GEDRAG CURSUS Amersfoort Doelstelling: het vergroten van het bewustzijn van medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in de cleanroom.

DECEMBER

AGENDA CONGRESSEN

AGENDA CURSUSSEN

OKTOBER

CONTAMINATION CONTROL MAGAZINE | UITGAVE VAN VCCN | JAARGANG 34 | EDITIE 3-2021

06

CLEANROOM SCHOONMAAK CURSUS Woerden Doelstelling: je bent in staat te beoordelen of een product te reinigen is en of er verbetermogelijkheden zijn ten aanzien van de reinigingskwaliteit.

COPYRIGHTS Behoudens uitzondering door de Wet gesteld, mag zonder schriftelijke toestemming van de rechthebbende(n) op het auteursrecht niets uit deze uitgave verveelvoudigd en/of openbaar worden gemaakt door middel van druk, microfilm, of in enige digitale, elektronische of optische of andere vorm, hetgeen ook van toepassing is op de gehele of gedeeltelijke bewerking.

25


MAAK KEN NIS MET D E LAATSTE ONTWIKKE LINGEN & BEZOEK D E

BEDRIJVE

NMARKT

VCCN CONGRES CONTAMINATION CONTROL WOENSDAG 03 NOVEMBER 2021 ‘T SPANT BUSSUM

We kunnen elkaar weer ontmoeten Op 3 november 2021 organiseert VCCN het Contamination Control Congres 2021 in ’t Spant in Bussum. We hopen elkaar weer te ontmoeten binnen de restricties, en bedrijven de kans te geven zich aan jou voor te stellen op de bedrijvenmarkt. Wat kun je verwachten? Het programma bestaat uit lezingen, colleges en workshops over micro-elektronica, farmacie, food, ruimtevaart en gezondheidszorg. En omdat contamination control in de afgelopen periode voor een steeds grotere groep mensen relevant is geworden, hebben wij in het lezingenprogramma ook onderwerpen

opgenomen gericht op mensen die net beginnen in de wereld van contamination control. Sprekers In het programma staan hoogleraren dr.ir. Marcel Loomans van de TU Eindhoven en prof.dr.ir. Philomena Bluyssen van de TU Delft opgenomen. Govert Schilling Tot slot hebben wij wetenschapsjournalist en -publicist Govert Schilling gevraagd de dag af te sluiten met een spectaculaire lezing. Hij biedt zijn gehoor een verrassende en relativerende kijk op de plaats van mens en aarde in ruimte en tijd.

Kijk voor meer informatie en om aan te melden op www.vccn.nl/congressen

WE SHARE THE KNOWLEDGE 26


Houd contaminatie buiten uw cleanroom Wij introduceren u de Flexi Mat en de MicronQuick doek Flexi Mat Geschikt voor en bij omkleedsluizen, materiaalsluizen, overstapbanken, entrees, en andere plaatsen waar een peel-off mat ligt Trekt deeltjes en bacteriën aan en houdt deze vast (stopt 99,9% van de contaminatie) MicronQuick Geschikt voor ISO 7 - 9 (GMP C – D – CNC) Superieure reinigings- en desinfectieprestaties – draft Annex 1 Vraag vandaag nog een gratis sample aan. Beide producten worden aangeboden in onze welbekende huurconstructie. cleanroom.nl@elis.com | www.elis.com

Your contamination control partner


35 JAAR DENIOS SINDS 1986 EN WIE JARIG IS TRAKTEERT! Daarom bieden wij u als jubileumactie een combinatie aan van een Q90.196.120 veiligheidskast, een Spill-Kit en een SpillGuard, geheel conform PGS 15, § 3.4.1, voorschrift 3.4.7 en § 3.4.3, voorschrift 3.4.9 Vanaf 1 oktober 2021, zo lang de voorraad strekt profiteert u van dit fantastische aanbod tegen een aantrekkelijke prijs: Een type 90, Q-serie brandveiligheidsopslagkast van Asecos, met gele deuren, in combinatie met een SpillGuard® autonoom lekdetectiesysteem en een DENSORB® Spill-Kit, gevuld met adsorptiematerialen, waarmee u geheel aan de voorschriften uit de PGS 15 voldoet.

Europa’s meest gebruikte brandveiligheidskast, nu completer dan ooit! Type Bestelnr. Prijs Totaal

Veiligheidskast Q90.196.120 Spill-Kit Speciaal SpillGuard (ATEX zone 1) 200-987-02 267-048 267-579 € 2.547,00 € 99,00 € 89,00 € 2.735,00 Jubileumactie: € 2.400,00

(geldig vanaf 1 oktober 2021, zo lang de voorraad strekt)

Voor meer informatie zie: www.denios.nl/nl/pageid/newsitem-2020-08-20 of via onze website www.denios.nl onder het menu actualiteiten

De PGS 15, § 3.4.1, voorschrift 3.4.7 vermeldt: De verpakte gevaarlijke stoffen en / of CMR-stoffen in een opslagvoorziening moeten regelmatig worden gecontroleerd op lekkages of beschadiging van de aanwezige verpakkingen. Conform de PGS 15, § 3.4.3, voorschrift 3.4.9 is het bij opslag van gevaarlijke vloeistoffen verplicht om voldoende voor deze stoffen geschikte adsorptie– materialen binnen handbereik beschikbaar te hebben.

Ga voor meer informatie naar: www.denios.nl of bel ons: : +31 172 50 64 66 | : +32 3 312 00 87