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INDUSTRY NEWS
by Paola Giraldo
MEGASONIC NOZZLE WITH THE FREQUENCY OF 600 KHZ Ugello megasonico con frequenza a 600 kHz
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he gentle cleaning of small particles is now essential in many industries. Sonosys® provides customer-oriented and future-proof Ultrasonic-/Megasonic-System solutions in the frequency range from 400 kHz to 4 MHz. Our 15 years of experience in development and production, as well as collaboration with world renowned research institutes, make us your competence partner for precision cleaning. As a product novelty we present a Megasonic Nozzle with the frequency of 600 kHz. The transducer in the Nozzle generates a Megasonic wave, which is transmitted through a flowing liquid (e.g.: DI-water) to the surface of the object to be cleaned. This tankless Ultrasonic Nozzle system provides advanced non contact cleaning processes. With the recent frequency of our Megasonic Nozzles with 1 MHz to 4 MHz, the efficient cleaning of particles down to 34 nm from semiconductor wafers and masks is approved. With the new frequency of 600 kHz a much stronger cavitation in the liquid jet allows the cleaning of larger particles and stubborn dirt. A variety of new applications outside the semiconductor industry thereby is opened up such as in optics, medical devices and sensors. www.sonosys.de
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l lavaggio delicato di piccoli particolari è oggi essenziale in molte industrie. Sonosys® fornisce soluzioni orientate al cliente e all’avanguardia con sistemi a ultrasuoni/megasuoni nella gamma di frequenze da 400 kHz a 4 MHz. I 15 anni di esperienza in ricerca e sviluppo, così come la collaborazione con rinomati istituti di ricerca a livello mondiale fanno dell’azienda un partner competente per il lavaggio di precisione. Come novità di prodotto è stato presentato l’ugello megasonico con la frequenza di 600 kHz. Il trasduttore nell’ugello genera un’onda megasonica, che viene trasmessa attraverso un liquido (ad es. acqua demi) verso la superficie dell’oggetto da lavare. Questo sistema a ugello ultrasonico senza vasca fornisce un processo di lavaggio innovativo senza contatto. Con la recente gamma di frequenza dei nostri ugelli che va da 1 MHz a 4 MHz consente un lavaggio efficace di particolari di dimensioni fino a 34 nm presenti ad esempio su wafer e maschere semiconduttrici. La nuova frequenza di 600 kHz genera una cavitazione più forte nel getto del liquido che consente il lavaggio di particolari più grandi e lo sporco più ostinato. Si apre così una varietà di nuove applicazioni al di fuori dell’industria dei semiconduttori ad esempio nei settori dell’ottica, delle apparecchiature mediche e dei sensori. www.sonosys.de
2 MAY/JUNE 2012