LOOK TO TOMORROW
vorhanden, so dass die Investitionskosten für dieses Verfahren niedrig liegen. Ein weiterer Vorteil dieses Verfahrens besteht in der hohen Mobilität. Die Tape-Lifts können einfach mitgeführt und auch an unzugänglichen Messstellen eingesetzt werden. Der Nachweis von Oberflächenkontaminationen im µm-Bereich ist mit modernen Lichtmikroskopen problemlos möglich. Weiterhin können mit dem Lichtmikroskop auch morphologische Betrachtungen der Oberflächenkontaminationen gemacht werden. Der Nachweis von Oberflächenkontaminationen mittels Tape-Lift-Verfahren besitzt jedoch eine begrenzte Aussagekraft, da nicht reproduzierbar nachgewiesen werden kann, wie hoch die Ablöserate der jeweiligen Probenahme ist. Des Weiteren sind erhebliche Streuungen im Verhältnis Abscheiderate und Oberflächeneigenschaften zu erwarten (Bild 1). Ein weiteres indirektes Verfahren kombiniert eine Probenahmevorrichtung mit einem optischen Partikelzähler. Die Probenahmevorrichtung ist derart gestaltet, dass im ersten Schritt der Messung durch einen Luftstoss die Oberflächenkontaminationen abgelöst und im zweiten Schritt angesaugt und einem optischen Partikel-
Bild 4: Das PartSens-Gerät von PMT ist ein tragbares Messsystem zur direkten Messung von Partikeln, Staub und sonstigen Verunreinigungen auf Oberflächen.
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21. INTERNATIONALE FACHMESSE 01.–04. APRIL NEUE MESSE MÜNCHEN
zähler zugeführt werden. Optische Partikelzähler besitzen den Vorzug, dass hier bis zu einer Grösse von 0,1 µm Kontaminationen direkt erfasst und gezählt werden. Das Verfahren ist ebenfalls mobil und generiert die Messergebnisse direkt am Messort und ist so weniger zeitaufwendig als die Mikroskopie. Jedoch verfügt dieses Verfahren ebenfalls über eine eingeschränkte Reproduzierbarkeit, da nicht nachgeprüft werden kann, wie viel Prozent der auf der Oberfläche befindlichen Partikel tatsächlich abgelöst wurden. Auch besteht hier die Gefahr einer weiteren elektrostatischen Aufladung durch den Luftstoss und somit eine weitaus grössere Anhaftung der Partikel auf der Oberfläche bzw. deren Agglomeration.
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clean contamination control room report report