■編集・発行 東京大学生産技術研究所 / 広報室
IIS NEWS
No.174 2018.10
●情報・エレクトロニクス系部門 教授
年吉 洋
IIS TODAY
本号の表紙を飾って頂いたのは情報・エレクトロニク ス系部門の年吉洋教授です。年吉先生は半導体微細加工 技術を基盤とした MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究に長年取り組んでおられます。写真は 製作されたマイクロデバイスの仕上がりを電子顕微鏡で 確認している様子。このように年吉先生専用のクリーン スーツをまとって学生さんに交じって作業されることも 珍しくない(?)とのことです。 これまでのご研究では MEMS アクチュエータを応用 した光ファイバ内視鏡や光断層計測法といった光デバイ ス技術を開発されており、これらの実績は高く評価され て、この夏にも井上春成賞、永守賞などを受賞されてい
ます。一方、現在は MEMS によるエナジーハーベスタ (EH)の研究を主に進められているとのこと。センサネッ トワークに利用されるような小型で独立した電子機器に 電源を供給するために、わずかな振動から静電誘導に よって電力を発生させるデバイスを開発されているそう です。小型で半永久的に電力を供給する仕組みは携帯端 末や IC カードなど我々の身近なところでも利用されつつ あります。さらに今後はあらゆるエレクトロニクス機器 の低消費電力化が進むため、小型で高出力な MEMS-EH には大きな期待が寄せられています。 (広報室 大石 岳史)