physique des plasmas -- CLAN9 livre electronique

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Dans la décharge elle-même, le courant est presque totalement électronique. Donc, la multiplication du courant électronique doit être très élevée, de l’ordre de 10,000. Ceci demande un champ électrique (plutôt E/P) élevé. Ceci demande que αd≅9. En fait, on trouve que la chute de potentiel (« cathode fall ») est dépendante du gaz et du matériau de la cathode, à peu près indépendant du courant et la pression (voir tableau)

Table 2: Chute de tension cathodique (V) Air

Ar

He

H2

Hg

Ne

N2

O2

CO

CO2

Al

229

100

140

170

245

120

180

311

-

-

Ag

280

130

162

216

318

150

233

-

-

-

Au

285

130

165

247

-

158

233

--

-

-

Bi

272

136

137

140

-

210

-

-

-

-

C

-

-

-

240

475

-

-

-

526

-

Cu

370

130

177

214

447

220

208

-

484

460

Fe

269

165

150

250

298

150

215

290

-

-

Hg

-

-

142

-

340

-

226

-

-

-

K

180

64

59

94

-

68

170

-

484

460

Mg

234

119

125

153

-

94

188

310

-

-

Na

200

-

80

185

-

75

178

-

-

-

Ni

226

131

158

211

275

140

197

-

-

-

Pb

207

124

177

223

-

172

210

-

-

-

Pt

277

131

165

276

340

152

216

364

490

475

W

-

-

-

-

305

125

-

-

-

Zn

277

119

143

184

-

-

354

480

410

216

L’épaisseur de la zone cathodique varie à peu près comme 1/P .

Table 3: Épaisseur de la couche cathodique en (cm-Torr) à la température de la pièce

Al C

Air

Ar

He

H2

Hg

Ne

N2

O2

0.25 -

0.29 -

1.32 -

0.72 0.90

0.33 0.69

0.64 -

0.31 -

0.24 -

Sources et réacteurs de plasmas

7.38


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