無塵室設備專業規劃、製造、施工

Index 索引 無塵室清淨度標準............................... 1 無塵室空調方式................................. 2 無塵室進出管理流程............................. 3 無塵室衰退之原因............................... 4 無塵室之應用範圍............................... 5 環氧樹脂地板工程............................... 6 導電高架地板................................... 8 無塵室隔間工程................................. 9 照明燈具.......................................11 空氣浴塵室.....................................12 傳遞箱.........................................13 無塵操作亭/風扇過濾組/洩壓風門.................14 無菌無塵操作台.................................15 PP化學清洗槽/排煙櫃/萬向抽氣罩.................16 廢氣排放工程及處理設備.........................17 無塵衣櫃/一般衣櫃/置物櫃、鞋櫃.................18 靜電消除及測試設備.............................19 無塵防靜電椅...................................20 空氣過濾網.....................................22 不銹鋼訂製品...................................23 無塵室相關器材.................................24 藥品安全儲存櫃/鋼瓶固定裝置....................25 緊急沖身洗眼器/淋浴站..........................26 無塵衣/鞋/帽...................................27 手套...........................................28 無塵室耗材.....................................29

美國聯邦標準(Fed.Std.209E)無塵室等級分類之規範 Cleanliness class

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

350 1,240 3,500 12,400 35,000 …… …… …… …… …… …… …… ……

9.91 35.0 99.1 350 991 …… …… …… …… …… …… …… ……

75.7 265 757 2,650 7,570 26,500 75,700 …… …… …… …… …… ……

2.14 7.5 21.4 75 214 750 2,140 …… …… …… …… …… ……

30.9 106 309 1,060 3,090 10,600 30,900 …… …… …… …… …… ……

0.875 3 8.75 30 87.5 300 875 …… …… …… …… …… ……

10 35.3 100 353 1,000 3,530 10,000 35,300 100,000 353,000 1,000,000 3,530,000 10,000,000

0.283 1 2.83 10 28.3 100 283 1,000 2,830 10,000 28,300 100,000 283,000

…… …… …… …… …… …… ……

247 618 2,470 6,180 24,700 61,800

…… …… …… …… …… …… ……

7 17.5 70 175 700 1,750

ISO/TC209(ISO 14644-1)潔淨標準 等級 Class

ISO/TC209與Fed.Std.209E之比較 ISO/

微塵粒限制 (顆 / m3) 0.1μm

5μm Unit volume

0.2μm

0.3μm

無塵室清淨度標準

Metric Fps system system M1 M1.5 1 M2 M2.5 10 M3 M3.5 100 M4 M4.5 1000 M5 M5.5 10000 M6 M 6.5 100000 M7

Maximum numbers of particles 0.2μm 0.3μm 0.5μm Unit volume Unit volume Unit volume

0.1μm Unit volume

Fed.Std.209E

`

微塵粒限制

0.5μm

5.0μm

TC209

英制

SI 制

0.3μm

Class

Class

顆 /m3

0.5μm 粒徑 顆 /ft 3

顆 /m3

-

-

ISO 9

-

-

35,200,000

293,000

Class

ISO 8

-

-

3,520,000

29,300

ISO 9

ISO 7

-

-

352,000

2,930

ISO 8 1000,000 M6.5

100,000 3,520,000

ISO 6 1,000,000 237,000 102,000

35,200

2,93

ISO 7 10,000

M5.5

10,000

352,000

ISO 5 100,000

23,700

10,200

3,520

29

ISO 6

1,000

M4.5 102,000

1,000

35,200

ISO 4 10,000

2,370

1,020

352

0

ISO 5

100

M3.5

10,200

100

3,520

ISO 3

1,000

237

102

35

0

ISO 4

10

M2.5

1,020

10

352

ISO 2

100

24

10

4

0

ISO 3

1

M1.5

102

1

35

ISO 1

10

2

0

0

0

ISO 2

10

0

0

ISO 1

0

0

0

無塵室(ICR)無菌室(BCR)的環境狀況 等級 美 國 聯

100 10,000

邦 規 100,000 範 邦 209B

微粒子 (ICR) 3

大小 (μm)

( 個 / ft )

( 個 /ι)

0.5 以上

100 以下

3.5 以下

0.5 以上

10,000 以下

350 以下

5.0 以上

65 以下

2.0 以下

0.5 以上

100,000 以下

3,500 以下

5.0 以上

700 以下

25 以下

生物粒子 (BCR)

照度

相對濕度

浮遊量( 個 /ι) 沈降量( 個 /ι)

Lux

% RH

0.0035 以下

12,900 以下 1,080

0.0176 以下

64,600 以上

~

45~40

1,620 0.0884 以下

323,000 以下

3

新鮮外氣量 : 送風量之 5~20%或 30 ft / min.人數 壓力 mmAq : 1.3 以上壓差+0.05 溫度 ℉/℃ : 72 ± 5℉或 22.2 ± 2.8℃ 氣流換氣回數 : 層流 0.45m/s ± 0.1m/s , 亂流方式 28 回 / 時以上 , 天花板高 8~12 呎

1

▓ 垂直層流

無塵室空調方式

清淨空氣自屋頂至地板的流通方式。 ( Class 10~1,000適用 ) ● 優點 1. 效果完全。 2. 不易為作業人員及工作狀態所影 響。 3. 開始運轉後即刻便成穩定狀態。 4. 粉塵的堆積及再飄浮極少。 5. 管理容易。 ● 缺點 1. 需注意天花板的無效空間如照明 等( 防止亂流 )。 2. 換過濾器較麻煩。 3. 設備費用非常高。 4. 隔間的擴充比較困難。

▓ 水平層流 清淨空氣由天花板80%以上吹出，壁板 40%以上吸入，天花板亦可。( Class 100~10,000適用 ) ● 優點 1. 開始運轉後即刻便成穩定狀態 2. 構造簡單。 ● 缺點 1. 上游的影響會在下游出現。 2. 人員及機器的配置及管理需注意。 3. 設備費用非常高。 4. 隔間的擴充比較困難。

▓ 亂流 清淨空氣從過濾器吹出口，由地板附近 吸入。( Class 10,000~100,000適用 ) ● 優點 1. 構造簡單。 2. 設備費用低。 3. 隔間的擴充比較容易。 4. 若再加用無塵台則可確保高潔淨度。 ● 缺點 1. 由於氣流的亂流污染粒子，有可能在 室內循環。 2. 人員及機器的配置及管理需注意。 3. 到穩定狀態需要一段時間。

2

室外

除塵踏墊

換

鞋

辦公室 鞋

更

衣

(一次更衣室)

洗手間

(赤腳或穿拖鞋)

更

(清淨更衣室)

衣

無塵室進出管理流程

無塵衣櫥

鞋

鞋

櫃

一般衣櫃

管理區

一次更衣

鞋

櫃

黏踏墊

準清淨區

洗手烘乾機

氣浴室

準備室

清淨區

清 淨 室

3

▓無塵室衰退原因說明表

無塵室衰退之原因

癥結點

違反 原則

1

HEPA破損

A

依規定定期檢查

2

HEPA框未密合

A

依規定定期檢查

3

HEPA墊襯劣化

A

依規定定期檢查

4

過濾網太髒

C.D

各級濾網未依規定更換

5

風門受阻

C.D

調整開關因振動而鬆動

6

回風口受阻

C.D

調整開關鬆動或受室內設備阻擋

7

風管漏氣

8

風扇皮帶鬆弛 (斷裂)

9

天花板壁面材剝落

10 天花板縫未密封

A C.D

說

明

停止送風時微粒子可能滲入風管內，而送風時 滲入室內 定期檢查磨損程度

B

檢討室內是否有腐蝕性氣體

A

密封之，必要時使天花板內維持負壓

11 設備擺置不當

C.D

阻礙氣流，單向流尤為嚴重

12 製程更改

B.C

討論改善

13 隔間異動

C.D

室壓及風量未隨之調整

14 生產設備未強制排氣

D

排氣管受阻或吸氣罩效率不佳而擴散

15 輸送帶口滲入

A

直通非管制區，宜加大室壓差或增設緩衝區

16 開門太久

A

氣鎖室門不密合，造成室壓差不當

17 外氣量不足

C.D

外氣過濾網髒或外氣風門受阻，導致室壓差 不足，影響外氣進入

18 衣著不當

A.B

人為過失

19 進料污染

A

人為過失

20 供應氣體及藥劑污染

A

人為過失

C.D

人為過失

21 未做妥清潔維護

註－ A ：不帶入 B：不產生 C：不滯留 D：速排除

4

無塵無菌室等級 各種產業應用範圍 (容許最大微粒徑)

CLASS 100~1000 (0.25-5μ)

CLASS 100000 (2.5-25μ)

航空計器 精密球型軸承 人造衛星 高度信賴產品 LSI，IC製作 LSI IC組立 半導體製作， 小型接點 精密流體元件 精密誘導裝置 彩色電視影像管 小型繼電器 光學鏡頭 高能光學裝置 高解像度攝影

血清製造 注射液，眼藥水製造 抗生素分裝 臟器移植手術室 心臟血管手術室 腦神經外科手術室 加護病房 燒傷病房

照相底片 飛彈零件 小型計測器 數字顯示器 氣動機器 精密電子零件 精密陶瓷 液氧機器 中型軸承 望遠鏡 印刷製版

一般外科手術室 早產嬰兒房 臨床檢查室 血液分注作業 醫療儀器 食品肉類加工 乳製品製造

真空管 大型球軸承 光學機器 照相機裝配 火箭飛彈分解檢查 電子計算機 電子計測器

X – P手術室 RI手術室 放射線治療室 醫療儀器製造 醫療品製造 食品加工

CLEAN 方式 垂直層流式 DOWN LAMINAL FLOW

水平層流式 CROSS LAMINAL FLOW

無塵室之應用範圍

CLASS 10000 (1-10μ)

各種醫療應用範圍

亂流式 CONVENTIONAL

5

環氧樹脂耐磨地板施工一般規定

環氧樹脂地板工程

1. 本工程使用之材料，除底塗樹脂於原廠配方中添加溶劑外；餘均為二液型無溶劑環氧 樹脂，並符合所附檢驗標準。 2. 主劑及硬化劑應按規定之重量比例調配，攪拌均勻後使用。 3. 相對濕度在85%RH以上時，應避免施工。 4. 地板若有滲水現象，需停止施工，待完全解決滲水現象，再繼續施工。 5. 中塗•面塗檢驗標準： (中塗樹脂)

EPOXY FLOOR

試驗項目

試驗規範

檢驗標準

抗壓強度

ASTM D638 JIS K6911

900 ㎏/㎝ 2 以上

抗拉強度

ASTM D695 JIS K6911

450 ㎏/㎝ 2 以上

抗彎強度

ASTM D348 JIS K6911

1000 ㎏/㎝ 2 以上

接著強度

ASTM D190

40 ㎏/㎝ 2 以上

衝擊強度

ASTM D256B

4.0 ㎏/㎝ 2 以上

硬度

ASTM D2240

80 以上

試驗項目

試驗規範

檢驗標準

抗壓強度

ASTM D638 JIS K6911

850 ㎏/㎝ 以上

抗拉強度

ASTM D695 JIS K6911

240 ㎏/㎝ 以上

抗彎強度

ASTM D348 JIS K6911

380 ㎏/㎝ 以上

硬度

Shore D

75 以上

衝擊強度

ASTM D256B

(面塗樹脂)

吸水率 耐磨損測試

6

ASTM C413 JIS K-6911 H-22 1.000g-1.000 轉 ASTM D4060

2

2

2

4.0 ㎏/㎝ 2 以上 95℃ × 2hr＜0.35﹪ 25℃ × 24hr＜0.35﹪ 2.0g 以下

▉環氧樹脂地板施工說明 環氧樹脂無縫地板 面塗層 中塗層 底塗層 粗化研磨

環氧樹脂地板工程

環氧樹脂金鋼砂耐磨地板 面塗層 金鋼止滑層 流展樹脂砂漿層 打底材 粗化研磨

環氧樹脂導電地板 導電面塗二層 導電面塗一層

EPOXY FLOOR

流展面塗 中塗層 底塗層(安裝導電端子)

乙烯脂樹脂耐腐蝕地板 面塗層 面塗樹脂 玻纖積層 (積層樹脂＋#300 補土層

玻纖蓆) * 2 接著樹脂＋補土粉

底塗層

底塗樹脂

粗化研磨

7

雙桁樑設計

導電高架地板

鐵桁樑

◎ 鋁基座內有專利之內肋設計，承載 力佳。 ◎ Interlock設計，使地板與基座相連結。 ◎ 橡膠墊片內含不鏽鋼網，導電性佳。

桁樑上鎖

◎ 可加螺絲上鎖，以增強地板穩固性。 ◎ 不同高度的鋁基座/鐵基座皆可提供。 ◎ 斜支撐亦可提供，強化基座穩固性。 ◎ 鋁合金材料壓鑄而成的基座，符合CNS 10678 A2171之規定。

雙桁樑設計

◎ 高架地板可藉基座螺桿以調整水平高度。電腦機房，一般完 成高度(F.F.H.)介於200~450mm。潔淨室完成高度(F.F.H.)則介 於450~750mm之間。如需特殊高度，亦可配合供應。 ◎ 基座以特殊專用膠固定於地面，如有需要也可加裝膨脹螺絲 固定。

8

可變動承載桁樑

無塵室隔間工程

▉隔板門式樣 圖號

內容

D

單開

D.W

單開 (開窗)

DOD-1

子母門

DOW-1

子母門 (開窗)

DOD-2

雙開門

DOW-2

雙開門 (開窗)

DA

自動門

DWA

自動門 (開窗)

規格依客戶需求訂製

▲ D單開

▲ D單開 (開窗)

9

無塵室隔間工程 10

▲ DOD-1子母門 ▲ DOW-1 子母門 ( 開窗 )

▲ DOD-2 雙開

▲ DOW-2 雙開 (開窗)

▲ DA自動門

▲ DWA 自動門 ( 雙開 )

▓吸頂式 JH-4517：40W × 1 JH-4527：40W × 2 JH-4537：40W × 3 尺寸：L 1255×W×300×H 160(m/m)

▓嵌入式 JH-4519：40W × 1 JH-4529：40W × 2 JH-4539：40W × 3

照明燈具

尺寸：L1295×W340×H140(m/m) 嵌內孔：1255×300×140(m/m)

`

▓三段嵌入式 JH-4511：40W × 1 JH-4521：40W × 2 JH-4531：40W × 3 尺寸：L1350×W350×H190(m/m) 嵌內孔：1320×305×170(m/m)

▓淚滴型

11

空氣浴塵室 (AIR SHOWER) 為作業者或物品進入無塵室時用以吹除人體衣服上及 設備、物料、工具的塵埃，同時其氣鎖功能可以有效控制人員進出及作為不同等級潔 淨室的緩衝室，達到防止交叉污染。

空氣浴塵室

`

(AIR SHOWER) 型 號 A S -34 AS- 35 AS- 36 AS- 3 9 外 部 尺 寸 W x D x H ( m m ) 1300x1200x2150 1300x1500x2150 1300x2000x2150 1300x2800x2150 內 部 尺 寸 800x1100x2000 800x1400x2000 800x1900x2000 800x2700x2000 W1xD1xH1(mm) 風 速(m/s) 20~25 換氣數(回/hr) 545 482 631 500 噴 嘴 數 量 16 18 32 36 結 構 冷作鋼板烤漆 或 不銹鋼板 照 明 20Wx1 30Wx1 20Wx2 30Wx2 集 塵 效 率 99.99%以上0.3μm D.O.P TEST H EP A 尺寸 610x610x50 915x610x50 610x610x50 915x610x50 x 數量 x2pcs x2pcs x4pcs x4pcs 鋁 門 陽極處理鋁門內裝 5mm 玻璃附自動關門器 功 能 1. 門禁確認自動檢查 2. INTER LOCK 自動連鎖控制 消 耗 電 力 0.4KWx2sets 0.75KWx2sets 0.4KWx4sets 0.75KWx4sets

12

傳遞箱 (PASS BOX) 為置於潔淨室隔間牆上之裝置，其功能是做為潔淨室內外物品傳 遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓，更可減少 作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入。也因此傳遞箱的進出口應具有不可同時開啟 的連鎖控制，以達到防止交叉污染。 ▓一般型

傳遞箱

● 手動門

(PASS BOX)

▓浴塵式傳遞箱

● 自動門

13

Bio-Hazard機型之無菌無塵安全操作台 ，空氣流在經過主過濾器(Main Filter)後， 穩定流向工作檯面，並在循環過濾的同時 ，因正負壓力差關係將部份多餘之氣流經 Exhaust Filter過濾後排出機體外，防止污染 性氣體流向外面，造成操作者之危害，達 成保護之效果。

無菌無塵操作台

附件 □數字式計時器 □二連式插座 ● 選擇性附件 □15W殺菌燈(UV Lamp) □美製"Dwyer"差壓計 □瓦斯開關：單口或雙口式 ●

▓垂直落地型 規格 外部尺寸 工作範圍 型式 W1xD1xH1(㎜) W2xD2xH2(㎜) VC-4 1300x750x2000 1170x610x630 VC-6 1900x750x2000 1780x610x630

`

主過濾網 (inch) 排氣過濾網 (inch) 馬達 照 明 Main HEPA Filter Exhaust HEPA Filter 風扇 24x48x5 7/8 12x12x5 7/8 1/2HP 110V 30Wx2支 24x72x5 7/8 12x12x5 7/8 3/4 HP 110V 40Wx2支

▓水平桌上型 規格 型式 HT-22 HT-32 HT-42 HT-62

外部尺寸 W1xD1xH1(㎜) 660x750x1180 960x750x1180 1270x750x1220 1880x820x1220

工作範圍 W2xD2xH2(㎜) 580x510x580 880x510x580 1190x510x580 1800x510x580

高效率過濾網 預濾片 馬達 HEPA Filter Pre-Filter(inch) 風扇 24＂x24＂x7cm 16x25x1 1/6HP 110V 24＂x36＂x7cm 16x25x1 1/6HP 110V 24＂x48＂x7cm 16x25x1 1/2HP 110V 24＂x72＂x7cm 16x25x1x2 PCS 3/4HP 110V

▓水平落地型 規格 外部尺寸 工作範圍 高效率過濾網 型式 W1xD1xH1(㎜) W2xD2xH2(㎜) HEPA Filter HC-42 1300x840x1520 1190x540x580 24x48x7 cm HC-62 1910x840x1520 1800x540x580 24x72x7 cm

照

明

15W x 2支 20W x 2支 30W x 2支 40W x 2支

預濾片 馬達 照 明 Pre-Filter(inch) 風扇 16x25x1 1/2HP 110V 30Wx2支 16x25x1x2 PCS 3/4 HP110V 40Wx2支

15

▓PP化學清洗槽 外殼：厚10mm耐酸鹼抗蝕瓷白色 PP 材質。 ● 內罩：厚10mm耐酸鹼抗蝕瓷白色 PP 材質。 ● 台面板：厚10mm耐酸鹼抗蝕瓷白色PP 材質。 ● 視窗：厚5mm透明強化玻璃視窗。 ● 視窗把手：模具押出成型ABS塑膠 把手。 ● 照明：40W X 2日光燈組。 ● 排風罩：10＂ 出風口。 ● 門把：不銹鋼成型把手。 ● 底座：厚10mm耐酸鹼抗蝕瓷白色PP 材質。 ● 水槽尺寸：500(W) X 400(L) X 300(H) mm。 ● 龍頭：純水鵝頭龍頭。 ● 廢液收集裝置：具廢液注入PP小杯槽 ，另附廢液收集桶。

●

PP化學清洗槽/排煙櫃/萬向抽氣罩

`

▓排煙櫃 ▓萬向抽氣罩

壁掛式 EAW

屋頂型 EAR

16

▓洗滌塔

廢氣排放工程及處理設備

▓室內洗滌塔

▓過濾箱

▓風車

17