6 SEMICON CHINA 2018
2018年3月14日
半導體材料分析技術 汎銓領風騷 16日在E7館新技術舞台舉辦「10 nm技術節點分析」發布會 ■翁永全 IC產業蓬勃發展，在摩爾 定律下，晶圓廠在每個世代
評及同業跟進效法，成為產 業標準。
EUV光阻是先進製程開發
析能力的重要指標，汎銓具
的重要材料之一，材料特性 有超薄TEM試片5nm奈米的製
技 術 長 陳 榮 欽 博 士 表 很容易受到製備及觀測而改 備能力，居同業之冠。
的製程競賽中，持續研發新 示，材料分析業只要願意投 變原始形貌造成誤判，汎銓
成分分析的判讀能力也
技術與設計，藉著微縮線寬 資，引入先進儀器都不難， 開發一系列低損傷工法，可 受到客戶肯定，多次為客戶 來降低IC成本及提高效能。 汎銓科技面對製程技術
但單憑設備無法建立絕對的 保護易損傷材料，透過良好 解決長期困擾的難題，協助 的試片製備技術及觀測手
找出製程開發異常缺陷真正
汎銓樂於接受客戶的挑
法，正確地在TEM、 FIB、
來源，加速研發進度。在專
續引進最先進的設備，並投 戰並主動研發分析技術；
SEM觀測光阻的橫截面的形
業材料分析服務業界，汎銓
與設計不斷演變與改良，持
競爭力。
入巨大的研發能量，克服各 「好的分析設備必須配合優 貌，以評估曝光顯影狀況， 領先同業，並且逐漸拉開差 汎銓科技董事長柳紀綸（左）、技術長陳榮欽博士。 種先進製程分析的關卡。 異的試片製備技術，及正確 或以特殊的高解析SEM手法 距，被國際大廠評為最佳的 汎銓歷年開發許多分析
的資料判讀能力，為分析品 來觀測光阻線之間的曝光顯 長期夥伴。
技術，搶在業界之先，各種 質的關鍵」，汎銓在這方面 影殘留狀況。 全新服務品項也獲得客戶好 一路領先。
雙據點提供中國客戶即時服務
TEM試片製備厚度是TEM分
新國際博覽中心E7館新技 節點分析（Inside of 10
今 年 中 國 半 導 體 展 ， 術舞台舉行「新技術發布
nm technology node）》，
汎銓後（16日）天在上海 會」，主題為《10 nm技術
更多資訊見網站：www.
聯毅攜手新松 強攻AI機器人
■翁永全
芯及台積等中國指標性晶圓
的維修能量從一開始為個位
廠都由聯毅服務，京東方及
數，增至目前高達上百隻
投資腳步，繼昆山之後也在
聯芯也是對象；去年起至明
支，建立絕對領先的優勢，
南京落腳，順應中國近年風
年，三年內中國將有多座12 累計維修的機械手臂數量多
起雲湧的半導體產業發展風
吋及8吋晶圓廠相繼啟用，
達1萬1千支以上，為建立客
潮，以「雙據點」提供內地
都是聯毅的準客戶名單。
戶高黏著度的另一個原因。
達勝科技（7419）為
全新的機械手臂通常在兩 總經理林仲章分析半導體產
聚醯亞胺薄膜（PI Film
達勝PI膜 高效尺寸齊全 ■翁永全
以機械手臂維修聞名兩岸，
年保固期後才有維修需求，
業的長線發展趨勢，機械手
）專業廠，近兩年營運
中國上市公司新松機器人自
但中國新建的晶圓廠有相當
臂維修的需求持續殷切，反
明顯起飛，步上穩定獲
動化公司則以工業機器人久
比例採用舊設備，因此運轉
應在聯毅去年的營收，在多
利的軌道。在最忙碌的
居業界龍頭大位，雙方強強
半年即需保養維護。
年二位數成長下，去年仍超
公司草創期，董事長孫
聯手，結為戰略合作夥伴，
專業的機械手臂維修人
標達成，比前年成長12%，
德錚堅持不斷進修，先
推出AI智能型自走式機器人
才養成不易，多數代理商並 聯毅科技副總經理杜興邦（左起）、總經理林仲章、協 不具維修能力，若送回原廠 理孫有志為公司經營鐵三角。 翁永全／攝影 維修不但緩不濟急，並且價
今年除了本業持續看旺，另
後在兩岸三所大學取得
在整廠自動上下料及與原廠
EMBA學位；去年起，更
合作兩項新業務助攻下，可
第四度成為EMBA班的新
格高昂，突顯在地化的需要
望有二成的營收成長空間。
生，進入北大清華就讀
電話86-158-9563-7191林
，創下企業界少見的紀
強攻市場。 今年在新松的中國半導 體展展位，可見到聯毅的招 牌。外界對於聯毅如何保持
副總經理杜興邦表示，聯毅
3、40種品牌的機械手臂，
與客戶高黏著度感到好奇，
以技術優勢，可維修多達 合計200多個品項；除了中
性。
聯毅成立14年，每個月 經理。
錄。 孫德錚熱愛研發，是
財團法人商業發展研究 院Commerce Development
達勝科技董事長孫德錚。 翁永全／攝影
最像「科學家」的企業
商研院：景氣將緩升至7月 ■蔡穎青
msscorps.com。
供應尺寸0.5mil至9mil
聯毅科技隨著台積電的
客戶即時到位的服務。聯毅
翁永全／攝影
家；他認為材料是工業發展的根本，一頭栽入冷門的 PI膜研發，放眼市場，全球喊得出名號的PI大廠五根 手指就可算完，達勝則是台廠唯二PI膜製造廠商。
Research Institute繼「商
景氣動向分析與預測，景氣 年金融海嘯使同行指標循
業服務業景氣指標」改版
循環預測小組指出，台灣商 環指數急速下墜到2009年6
尤其值得警惕的是，預
發各類PI膜，供應的尺寸從1/2mil至9mil，並與設備
後，再發布最新商業服務業 業服務業景氣將持續緩慢爬 月的97.39，接著也快速爬
測及估計值到今年的7月，
廠合作開發環保、高效率的R2R製程設備，掌握研發
升至今年7月無虞。
台灣商業服務業景氣循環指標綜合指數
商研院景氣循環預測小
均每月上升才0.03。
升，經18個月回到長期趨勢 歷經18個月其指數才只達
技術及量產設備。
正常水準的100，平均每個
到99.85，平均每月才上升
全球PI膜需求暢旺，達勝開拓散熱、軟板、絕緣為
組表示，以美國「全國經濟 月上升0.145，是典型的V型
0.0228，顯示未能恢復正常
三大應用，出貨同步增溫，營收占比各為45％、40％
研究局」（NBER）景氣綜合 復甦。
趨勢水準之前，上升步調已
、15％。受惠於缺貨效應，營收及獲利雙創新高，去
指標法編製的台灣商業服務
見逐漸緩慢了下來。這是一
年營運約9,500萬元，增幅逾三成，獲利翻倍成長至
99.22），2013年6月（指 次在金融海嘯之後，整體經
2,700萬元。達勝股本3億元，EPS約0.9元，也創下歷
業景氣循環「領先指標綜
其餘2005年3月（指數
合指數」，預測經證實可代 數99.42）底谷開始復甦，
濟結構體質未見真正恢復提
史新高紀錄。今年二廠新產能開出，注入更大成長動
表商業服務業整體景氣動向 到 達 指 數 1 0 0 的 平 均 每 月
升導致的「低度均衡」現
能，營運更具想像空間。
的「同行指標綜合指數」可 上升速度分別為0.0975與 象。
達勝以差異化、高值化的模式奏效，站穩PI膜市場
從去年12月的99.77百分點
0.058。但這一次2017年1月
商研院呼籲，不能不對
；在連續3年賺錢下，財務體質也更加強健，孫德錚
持續緩慢上升為今年7月的
的底谷指數為99.44，算是
下半年的可能動向採取較高
表示，在現有基礎下，將以軟板應用、石墨散熱片及
99.85。
衰退程度最淺的，但復甦速 的戒備並做應有的努力。
商研院表示，比較前面 資料來源：商業發展研究院景氣循環預測小組。
13年來，達勝一步一腳印，穩健踏實練兵，自主研
度也極其緩慢，其實際值到
各次的復甦過程，發現2008 去年12月，歷經11個月，平
OLED應用為下階段的目標。 電話886-3-419-5560。