La conversión de Dresde en sede de la electrónica es un éxito de la promoción de la investigación en Alemania. Se han creado alrededor de 16.000 empleos en la región y dado un gran impulso innovador a la toda la economía del país. En los proyectos apoyados por el Ministerio de Investigación alemán (BMBF), 44 socios de la industria e institutos de investigación públicos, incluidas 21 empresas medianas, han desarrollado la norma para el uso futuro de obleas de cristal de silicio de 300 milímetros de diámetro para la producción de circuitos integrados extremadamente complejos. El centro tecnológico de máscaras de Dresde, en donde se trabaja para conseguir futuros microprocesadores nanoelectrónicos, desempeña un papel clave en este campo.
Prototipo de un waferstepper de EUV para la producción de generaciones futuras de microprocesadores.
Nano-impresión para empresas medianas ualquiera que piense en la nanoelectrónica probablemente se imagina instalaciones costosas que requieren inversiones de millones o miles de millones de euros pero que proporcionan productos asequibles gracias a su enorme volumen de su producción. Sin embargo, hay también maneras de introducirse en el nanocosmos que están al alcance de las empresas medianas. Estos métodos pueden parecer arcaicos a primera vista: en el método de nanoimpresión UV, por ejemplo, las nanoestructuras se estampan de manera puramente mecánica sobre una capa que cubre el material electrónico portador, por ejemplo, el silicio. El cuño que contiene las delicadas nanoestructuras es de vidrio de cuarzo, que es transparente a la luz ultravioleta. Cuando se hunde en la pintura, un impulso de luz ultravioleta hace que la capa sensible a la luz se polimerice, es decir, se endurezca. Entonces se retira el cuño y se diluye el relieve de la capa debajo. El silicio que queda al descubierto puede entonces manipularse a voluntad, repitiendo el proceso muchas veces con diversas
C
plantillas se crea finalmente la estructura compleja de un microprocesador, con transistores, circuitos etc. En los ensayos de laboratorio se han conseguido ya estructuras mínimas de un tamaño de 10 nanómetros. Este proceso no se limita a los componentes electrónicos sino que puede también utilizarse para estructurar con gran finura metales y plásticos. También podría llegar a producirse el denominado Lab-on-a-Chip (laboratorio en un chip). El coste de una máquina de nano-impresión UV se calcula actualmente en menos de un millón euros, lo cual es una fracción de lo que cuesta el equipo similar utilizado en una fábrica convencional moderna de producción de chips. Sin embargo, la técnica de nanoimpresión ultravioleta no proporcionará necesariamente productos más baratos, puesto que la producción es mucho más baja. Para las miniseries especiales –“mini” en comparación con los volúmenes de las grande series que producen los fabricantes de procesadores - la técnica de nano-impresión ultravioleta podría convertirse en la mejor opción.
Zerodur para máscaras de litografía, esta cerámica especial permanece estable incluso a tamaño nanoscópico.
Imprimiendo el nanocosmos: En el Institut für Halbleitertechnik (IHT) de la Universidad RWTH-Aachen, se consiguen ya estructuras de microprocesador de 80 nanómetros de ancho con la ayuda de métodos mecánicos/ópticos. Aplicaciones: circuitos de gran complejidad en pequeñas series.
17