ICT
CASE STUDY
UCM ULTRASONIC FINE-CLEANING SYSTEM FOR RESEARCH TASKS. MAXIMUM FLEXIBILITY FOR THE DEVELOPMENT OF CLEANING PROCESSES Macchina per il lavaggio di precisione a ultrasuoni UCM per attività di ricerca: massima flessibilità per lo sviluppo dei processi di lavaggio
© Fraunhofer THM
Opening photo: The ultrasound cleaning system comprising 6 tanks was custom-built to match the available floorspace. Foto di apertura: la macchina di lavaggio a ultrasuoni a sei vasche è stata costruita su misura in base allo spazio disponibile.
I
n optimizing the diamond wire saw process for slicing silicon wafers or cutting other hard materials, cleaning is but a secondary matter. Or is it? For evaluation and further processing, the surfaces obtained should be free of contaminants – so on the one hand the cleaning media ought to be perfectly matched to other process media, while on the other a suitable cleaning process is required. With a view to developing both, a public call for tenders was held for the supply of a cleaning system on behalf of the Fraunhofer center of semiconductor materials technology (THM). The bid was won by a custom-built UCM ultrasonic fine-cleaning system providing maximum flexibility.
N
ell’ottimizzazione del processo di segatura a filo diamantato per il taglio dei wafer di silicio o di altri materiali duri, il lavaggio sembra rappresentare solo una questione di secondo piano. Ma è davvero così? Per la valutazione e le successive lavorazioni, le superfici ottenute devono essere prive di contaminazioni: per questo motivo, da un lato l’agente di lavaggio deve essere perfettamente compatibile con altri agenti di processo, mentre dall’altro lato è necessario un processo di lavaggio idoneo. Per raggiungere entrambi gli obiettivi, è stata istituita una gara di appalto pubblica per la fornitura di un sistema di lavaggio per conto del centro di tecnologia dei materiali semiconduttori Fraunhofer (THM). La gara è stata vinta da un sistema di lavaggio di precisione a ultrasuoni UCM appositamente costruito per fornire la massima flessibilità.
32 JUNE 2014