Kupfer-Landefläche) hervorgerufen werden. Als Faustregel für den Bildverstärker kann gelten, dass ein Absorptionsunterschied mindestens 2% betragen muss, um im Röntgenbild eindeutig nachweisbar zu sein.
Hochvergrössernde Schrägdurchstrahlung Insbesondere bei der Inspektion von BGA- und ähnlichen Lötstellen haben sich Schrägansichten als sehr hilfreich erwiesen. Bei ausreichend grossen Blickwinkeln gegen die Senkrechte von 50 bis 70° kann die Lötstelle annähernd von der Seite betrachtet werden, wodurch die dreidimensionale Gestalt und damit die Position von Poren und vor allem die Landeflächenbenetzung beurteilt werden können. Beim Kippen der Leiterplatte wird jedoch die erreichbare Vergrösserung stark vermindert, da der zu untersuchende Objektbereich nicht mehr in den minimalen Abstand zur Röntgenquelle gebracht werden kann. Dies wird dadurch umgangen, dass der Detektor im weiten Strahlkegel der Transmissionsröntgenröhre geschwenkt wird. Da die Baugruppe in waagerechter Position bleibt, vermindert sich die Vergrösserung nicht wesentlich. Durch zusätzliches Drehen der Bauguppe können die Lötstellen aus allen Richtungen betrachtet werden. Dabei wird der untersuchte Probenausschnitt durch eine synchrone Achsensteuerung festgehalten. Auf diese Weise können also dreidimensionale Informationen über Lötstellen auch auf sehr ausgedehnten Baugruppen bei höchster Vergrösserung und Auflösung gewonnen werden.
Röntgenröhre
Detektor 0 - 70°
Schrägdurchstrahlung. Die herkömmliche Kipptechnik (links) vermindert die erreichbare Vergrösserung, indem sie einen grösseren Abstand von Quelle zu Objekt erzwingt, während die ovhm-Technik (oblique views at highest magnification, rechts) unter Winkeln bis zu 70° ein hochvergrösserndes Bild liefert.
Nanofokus-Röntgentechnik. Der Brennfleck mit einem Durchmesser von ‹1 μm minimiert die Halbschatteneffekte, maximiert damit die Bildschärfe und ermöglicht damit eine Detailerkennbarkeit von 200 bis 300 nm.
bild von 200 bis 300 nm führt. Da bei derart kleinen Brennflecken nur eine begrenzte Leistung oder Intensität zur Verfügung steht, bieten moderne Röhren verschiedene Betriebsmodi, die es erlauben, eine an die Probe angepasste Kombination von Strahlungsintensität und Auflösung einzustellen.
Computertomografie NanofokusRöntgentechnik Die bestmögliche Auflösung eines Röntgensystems hängt wesentlich von der Brennfleckgrösse der Röntgenröhre ab. In Nanofokus-Röhren werden mittels zweistufiger Elektronenoptik und Blendensysteme Brennflecke deutlich unter einem Mikrometer erzeugt, was zu einer Detailerkennbarkeit im Röntgen-
Die Röntgen-Computertomografie liefert dreidimensionale Abbilder der Probe, in denen die Kontraste (Grauwerte) nicht mehr von der Probendicke, die ja räumlich dargestellt wird, abhängen, sondern nur noch von der Materialdichte. So wird im tomografischen Bild letztlich die räumliche Verteilung der verschiedenen Probenmaterialien dargestellt. Kernstück eines
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6-08 MegaLink Precision 17