JAARBOEK
Verspanen
Procesbeheersing voorwaarde voor grade 2 reinheid
24
Chips worden alsmaar kleiner. Tegelijkertijd neemt hun rekenkracht toe. Dit betekent per saldo steeds meer IC’s op een kleiner oppervlak. Om aan de vraag naar kleinere en krachtigere chips te voldoen, zullen de chipfabrikanten massaal overstappen naar de EUV technologie van ASML, is de verwachting. De eisen die deze technologie stelt aan toeleveranciers liggen extreem hoog. Vooral op het vlak van reinheid. En dat vereist beheersing van het complete verspanend proces.