㈜한국자동화기술 VACUUM BOLT
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1.공정 설비용 진공볼트 및 SUS볼트의 세정
산 처리 방식의 제품(유통중인 제품의 세정)
㈜한국자동화기술의 세정방식
산 처리 방식의 치명적인 단점 * 유통중인 진공볼트의 산세정 약품은 불산 과 질산을 사용하여 제품을 48시간 dipping 하는 산처리 방식으로 불산은 유독성으로 수세의 문제가 생기면 제품의 표면부식 및 인체에 아주 해로운 영향을 초래
* 강산을 이용한 산 처리는 제품을 부식시켜 표면을 거칠게 만들고 사진과 같이 SUS 제품 마저 부식(녹)이 발생하여 장비 및 공정에 아주 위험한 상황을 초래하고 있습니다. www.lock-one.kr
2. VACUUM BOLT 가공공정(1)
유통되고 있는 진공볼트의
방전 후 세정대기중인
산 처리 (48시간)후 제품의
가공방식- 방전
제품상태 – 녹 발생
백화현상과 나사산의 뜯김 현상
㈜한국자동화기술의
가공 후 세정대기중인
진공볼트 가공방식 -CNC
제품의 상태
세정 후 제품의 상태 www.lock-one.kr
3. VACUUM BOLT 검수및 포장(2)
세정 후 제품상태
세정 후 제품상태
세정 후 면봉으로 홀 내부
마대 자루로 납품 –
검수 – 검은 카본슬로지 발생
챔버 내부 오염의 원인
진공 홀 내부의 세정상태
진공포장 하여 외부 오염물질 원천 차단 www.lock-one.kr
4. ㈜한국자동화기술 세정방식
삼성디스플레이(이상필책임)
화학연마 프로세스
스펙인 받은 연마방식 국내 유일한 인증업체
삼성디스플레이에서 제공한 시험 조건으로
테스트조건
한국화학융합시험 연구소에서 test 의뢰 후 발급받은 test report 입니다
원익ips, 한국알박, SFA, 둔포기계, 인 베니아(구 LIG ADP ),
적용업체
아바코 , TES , PSK , SNF , 코스텍 , 다이헨한국 , 삼익T H K , 나인테크 , 코디에스 , 동부로봇 , AP시스템 그외 진공장비 업체 적용 중
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5. 체결용 화스너 인증서 iso 9001
iso 14001
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6. 진공볼트 특허관련 자료 진공볼트 세정방식의 특허증
진공볼트 디자인등록증
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7. 요약 - 진공볼트에서 가장 핵심은 VENT 홀 가공방식과 홀 내부의 세정을 어떤 방식으로 하느냐에 따라 CHAMBER 내부의 환경오염에 영향을 줄 수 있습니다. - 파티클과의 싸움
- 대부분의 업체들은 황동으로 된 전극봉을 이용하여 SUS볼트의 홀을 작업을 하고 있습니다. 방전가공을 하면 볼트 VENT 홀 벽면엔 엄청난 카본 슬로지가 고열로 인하여 고착이 되고 있습니다.
- 고착된 카본 슬러지를 얼마나 완벽하게 재거하는 것이 세정의 기술력입니다.
- 대부분의 납품업체 는 경기도 안산에 있는 산 처리 업체에 의뢰를 하여 산 처리를 합니다.
- 산 처리 업체의 세정프로세스는 강산(염산.질산.불산) 을 이용 48시간을 불순물이 빠질때 까지 - 강산에 담궈 놓습니다. 담 군 후 육안으로 보아 불순물이 빠졌다 싶으면 건져 물로 수세 하여 건조후 마대자루에 담아 업체별로 발송을 합니다.
- 이 작업공정의 가장 큰 문제점은 SUS304 소재를 강산에 48시간 동안 노출을 시키면 소제의 표면이 뜯겨나가는 현상 내 식성 ,내구성에 영향을 끼쳐 시간이 흐름에 따라 녹 발생과 볼트 부러짐. 체결 후 고착현상(떡짐)으로
장비를 해체 후 재 조립을 해야 하는 경우까지 발생 하고 있습니다. – 홀 내부에서 녹물 발생
- 초창기 진공장비에 적용되는 진공볼트의 경우 볼트규격이 크짐에 따라 홀의 크기도 커졌습니다.
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7. 요약 -다만 세정이 검증되지 않은 업체 에서 받은 제품을 면봉으로 홀 내부를 검사 했을 경우 새까만 쇠 가루가 묻어 나오곤 했습니다.
- 그 후 일부 진공볼트의 개념을 이해 하지 못하는 업체에서는 검수를 못하게끔 홀의 직경을 1파이 미만으로 가공을 하여 면봉이 들어 갈수 없게 편법으로 가공 후 유통을 하고 있습니다.
- 모든 장비는 클린룸 내부에서 파티클과의 싸움인데 .. 아무리 세정을 잘하고 단가가 저렴하더라도 진공 챔버용 볼트를 시커먼 목장 값을 끼고 바닥에서 포장을 하여 마대자루에 담아 납품을 하면 챔버 내부의 환경은 오염물질로 가득 차게 됩니다.
- 챔버용 PART 의 경우 정밀세정 후 진공포장을 하여 외부의 오염 없이 공급하는 것도 아주 중요한 작업입니다
- ㈜한국자동화기술 에서는 장비에 소모되는 모든 PART를 공급하기에 있어 조립이 되는 장비를 이해하고 - 공정을 이해 하기 때문에 그에 맞는 품질로 대응을 하고 있습니다.
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