什么是 SECS/GEM

什么是 SECS/GEM （ 设备通信标准）/GEM（通用设备模型）是用于半导 体设备和晶圆厂主机之间通信的通信接口协议。 SECS SEMI

（SEMI 设备通信标准）/GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和晶圆厂主机 之间通信的通信接口协议。 Fab 主机是一个使用 SECS/GEM 协议控制和监控设备处理 的软件应用程序。符合 SECS/GEM 的设备可以使用 TCP/IP（使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 – HSMS）或 RS-232（使用 SEMI 标准 E4 – SECS-I）与晶圆厂主机通信。 SECS

标准接口用于启动和停止设备处 理、收集测量数据、选择产品配方和更改变 量。使用 SECS/GEM，所有这些都可以以标准 方式执行。 SECS/GEM 协议已由非营利协会 SEMI（国际半导体设备和材料）标准化。查看 www.SEMI.org 了解更多关于 SEMI 标准和 SECS/GEM 协议的信息。 SECS/GEM

简而言之，SECS/GEM 标准定 义了消息、状态机和场景，以 使工厂主机应用程序能够控制 和监控制造设备。 GEM 标准正 式指定为 SEMI 标准 E30，但通 常称为 GEM 或 SECS/GEM 标 准。 GEM 对设备制造商和设备 供应商都有好处，因为它定义 了一组通用的设备行为和通信 能力，以提供功能以及支持制 造的灵活性。由于 GEM 标准只 有少数半导体特有的特性，它 也被其他制造业采用，例如光 伏。

半標準： 製造設備 通信和控 制通用模型規 範

E30 : GEM

設備 通信標準 2 消 息內容規範

E5 : SEMI

(SECS-II)

高速 SECS 消息服務 (HSMS) 通用服 務規範

E37:

高速 SECS 消息服務 (HSMS) 通用服 務規範

E37:

SECS/GEM

標準提供的功能包括

晶圓廠主機開始和停止處理 供晶圓廠主機從/到設備選擇、下載和上傳配方 供晶圓廠主機查詢設備的各種工藝參數值和設備配置 為晶圓廠主機設置設備配置參數值 用於設備向晶圓廠主機發送警報 晶圓廠主機定義各種變量的報告並將它們與諸如批量開始或晶圓完成等 事件相關聯 用於設備向晶圓廠主機發送各種事件和相關報告

由於 SECS/GEM 是一種通信協議，它獨立於平台和技術以及編程語言。 連接的主機端在工廠提供的計算機系統上執行，連接的設備端在設備製 造商提供的控制器計算機上運行。 這為工廠和設備製造商提供了互操作 性、靈活性和平台獨立性。 晶圓廠和 OEM 都可以開發他們的軟件應用 程序，而不必擔心通信兼容性，只要他們都遵守 SECS/GEM 標準。 SECS/GEM EIGEMEquipment

軟件解決方案的最佳報價

EIGEM300Equipment

EIGEMBox

EIGEMHost

EIGEMSim

為設備製造商 (OEM) 和工廠（FAB 或 ATM）提供 SECS/GEM 軟件解決方 案。 通過將 eInnoSys 的 EIGEMEquipment 即插即用軟件與設備的設備控制器軟件 集成，OEM 可以顯著降低使其設備具備 SECS/GEM 能力所需的成本和時間。 同 樣，EIGEMHost 是一個 SECS/GEM 軟件，用於 FAB 和 ATM（裝配和測試製造）與 工廠中的各種設備進行通信。 EIGEMSim 是一款用於 SECS/GEM 測試的模擬器軟 件。 它是可以配置為主機或設備來測試對方的SECS/GEM通信的軟件。 eInnoSys

描述了主機和設備之間使用單一連接的通信。 在最初的概念中，甚至在今天 最常見的場景中，設備都提供了一個 SECS 接口，供單個主機獨享。 SECS 定義的消 息類型是部分不對稱的——一些消息類型僅定義為主機使用，其他消息類型僅定義 為設備，但也有許多定義為任何一方的相同用途。 SECS

但是，SECS 標準中有一條規定是通過在每個消息中指定設備標識值來共享連接。 不建議將連接共享的做法用於新部署。 通常的做法是長時間保持連接，並且只有在 設備或主機重新啟動時才會中斷。 SECS 連接是輕量級的，不會使用太多的網絡帶 寬。 可以在典型的台式計算機上運行多個 SECS 連接。

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