ASML legt de cleanliness lat nog hoger; ketenbeheersing de enige oplossing 6
Als schoon niet meer rein genoeg is
RVS Finish investeert in Grade 2 reiniging, omdat de dienstverlener merkt dat de cleanliness eisen verscherpen en bedrijven zelf al vaak Grade 4 reiniging in huis halen. “De machine is slechts een begin”, zegt Driek Brouwers, bedrijfsleider. “Als je de kennis niet hebt, kun je nooit goed reinigen. Je moet het hele proces beheersen.”(Foto RVS Finish)
De nieuwe GSA (Generic Standards of ASML) verduidelijkt de eisen die de chipmachinefabrikant stelt aan oppervlaktereinheid. De herziene standaard maakt het voor toeleveranciers gemakkelijker om te weten waaraan ze moeten voldoen. Tegelijkertijd legt de chipmachinefabrikant de lat qua oppervlaktereinheid opnieuw hoger. Moleculaire verontreinigingen wegen zwaarder. Grade 1 reiniging voor specifieke onderdelen is geen uitzondering meer. Ketensamenwerking is daarop het enige juiste antwoord. maart 2020