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Line Defect FMA Flow Chart: Cell解析室点灯复判

Line Defect 类型辨 别

垂直线or 水平线Defect

十字线Defect

No 判断十字线交叉点 是否有异常点?

垂直/水平Line Defect 类型辨别 AA区内Defect 类: 垂直渐变线(CLDCS) 水平渐变线(CLGCS) 线上有点(CLDOT) 压面线(CLPRS)

断线类: 垂直断线(CLDOP) 水平断线(CLGOP)

判断为假十字线,分别 以垂直线和水平线来解

AA区外Defect 类: 垂直/水平亮线 (CLDBT/CLGBT) 垂直/水平暗线 (CLDDK/CLGDK) 垂直/水平淡线 (CLDWK/CLGWK) 垂直/水平区块线 (CLDSH/CLGSH) 垂直/水平静电线 (CLDES/CLGES)

通过Laser方法缩小Short

Yes

发生的区域 点灯,Mark断点位置 是否观察到线上有 异常点(Short位 拆片前,对Data/Gate line Open位置拍照

不可见异常点

Laser切断渐变线从末端逐渐 到端子侧移动一定距离

Mark Line Defect对应位置 Mark交叉点位置 否

可见异常点

OM下观察,对异常点 拍照

OM下观察 拆片前,对异常点拍照

点灯,观察渐变性 是否消失(只见断

拆片后,对Data/Gate line Open位置拍照 是

拆片后,对异常点CF侧 和TFT侧拍照

OM下观察Source边 S/B、 端子线、Fanout、ESD Protect Circuit

在最后两次Laser Cut两 点之间拆片观察

对Data/Gate line Open可能原因判断

修复失败

Array刮伤

Array制程异常

对Data/Gate line Short to Common可能原因 判断

对Data and Gate line 短路可能原因判断

线路可见刮伤

线路有烧毁痕迹,无刮 Array异常导致短路

判断Array膜层异常 类型

判断PI膜上还是膜 下刮伤?

SE/GE/AS ResidueT/P/E

可见桥接

膜下刮伤

SE/GE Particle

TFT UPI Scratch

TFT API Scratch

ALCV Fail

不可见桥接, 有Lase痕迹

S/Bar内或外?

ALSR Fail

S/B 外 观察异物在CF侧, 还是在Array侧?

判断修复失败类型

可见桥接

不可见桥接, 有Lase痕迹

ALSR Fail

膜残

Array侧

CF侧

观察异物在CF侧PI 膜上还是膜下?

CF PI膜上异

观察异物在Array侧 PI膜上还是膜下?

CF PI膜 下异物

TFT PI膜上异物

API Light Metal

判断异物产生于Cell 制程还是Array制程

Cell制程 CF制程

CF制程金属异物

复判异常原因和权 责单位是否确定?

No

SEM/FIB深入解析 Yes

判定权责,图片资料输 入系统,存档保存

Array PI 膜下异

API Light Metal

判断异物产生于Cell 制程还是CF制程

依照《Line Defect 解析 判定表》确认原因和权

S/B 外

S/B 内

膜残

异物

判断修复失败类型 膜上刮伤

异物

S/Bar内或外? S/B 内

修复失败

判断PI膜上还是膜 下刮伤?

可见桥接

膜下刮伤

膜残

不可见桥接, 有Lase痕迹

判断Array异常类型

SE/GE/AS ResidueT/P/E ALCV Fail

判断Array膜层异常 类型

判断Fan out异常类 型

判断修复失败类型 膜上刮伤

异物 膜残

导电异物导致短路

修复失败导致 短路

TFT刮伤导 致Data and Gate Short

Array制程异常

Fan out 有短路 或断路现象

CF UPI Light Metal

Array制 程

Array制程金属异物

Cell制程

TFT UPI Light Metal

异物

TFT UPI Particle(EP5NG)

Data/Gate ESD out of S/B

Data/Gate ESD in S/B

Pad Sratch out of S/B

Pad Sratch in S/B

SE/GE/AS ResidueT/P/E

GE/SE Particle

SE/GE/AS ResidueT/P/E

SE/GE Particle

TFT UPI Scratch

TFT API Scratch

ALCV Fail

ALSR Fail


line_defect_fma_flow_chart1