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Advanced Coating Systems SWISS

QUALITY

www.platit.com

Die grosse Beschichtungsanlage der Serie


MoDeC® Innovationen PLATIT's Beschichtungskonzept - Modular Dedicated Coating - erlaubt eine Vielzahl von Konfigurationen der Kathoden (Arten und Positionen), entsprechend dem Beschichtungsauftrag. MoDeC® ist die treibende Kraft hinter PLATIT-Innovationen. Neue Schichten und Anlagen werden nach diesem Grundsatz entwickelt.

2 LARC®+ Kathoden LARC® Technologie: LAteral Rotating Cathodes • Die neue Generation der ersten industriellen, kompakten Beschichtungsanlage für Nanocomposite-Schichten • Das Herz der schlüsselfertigen Beschichtungssysteme für KMUs • Ausgewählte TripleCoatings3® • Beschichtungsvolumen: ø355x460 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 288 Stück • 5 Chargen / Tag

PL

• Hartstoffanlage mit hoher Kapazität • Das "Arbeitspferd" für Beschichtungszentren • 4 Planar-Kathoden • Konventionelle und ausgewählte TripleCoatings3® • Nutzbares Plasmavolumen: ø700x750 mm • Beschichtungsvolumen: ø700x700 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 1056 Stück • 3 Chargen / Tag

2

MoDe

Patentiert 2


Serie PLATIT's gesamte Produktpalette besteht aus "kompakten" Beschichtungsanlagen. Diese Anlagen werden in einem Stück, mit der Beschichtungskammer im selben Gehäuse wie die Elektronik, geliefert. Dies eliminiert eine teure und zeitraubende Installation vor Ort.

eC

2003

Hochleistungs-Kompaktbeschichtungsanlage • ist die Basismaschine • 3 LARC® Kathoden Modular upgradebar mit Optionen: • DLC2 Option TURBO • Option ® • 3 LARC Kathoden + 1 CERC® Kathode • hohe Produktivität mit CERC® Booster

® • OXI Option • SCIL® Option: Hochleistungs-Sputtering • 3 LARC® Kathoden + 1 central SCIL® Kathode • LACS® Option: Simultan LAteral ARCing + CEntral Sputtering • Für konventionelle und Nanocomposite Coatings • Alle TripleCoatings3® und Coatings4® • Beschichtungsvolumen: ø500x460 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 504 Stück • 5 (bis zu 6) Chargen / Tag

Kombination aus LARC® und Planar-ARC-Technologien • Grossvolumige Kompaktanlage • 3 neu entwickelte LARC®-XL rotierende Kathoden in der Tür • 2 Planar-Kathoden im hinteren Bereich als Booster • Alle 5 Kathoden können gleichzeitig beschichten • Für konventionelle und Nanocomposite Schichten • Die meisten TripleCoatings3® und Coatings4® • Nutzbares Plasmavolumen: ø700 x 750 mm • Beschichtungsvolumen: ø700 x 700 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 1056 Stück • 3 Chargen / Tag 3


PLATIT Allgemeine Informationen

Elektronik und Software

• Hartstoff-Beschichtungsanlage mit hoher Kapazität • Basierend auf PLATIT's Technologien mit rotierenden (LARC®) und Planar-ARC-Kathoden • Schichten auf HSS und Hartmetall (T £ 500°C)

• Industrielles PLC (programmable logic) System • Industrielles PC System • Bedienung per Touch-Screen • Vollständig menügeführter Prozess • Einfache Ferndiagnose und Hilfsfunktionen • Keine Programmiererfahrung notwendig für Prozesssteuerung • Bedienungsanleitung auf interaktiver CD

Hartstoffschichten • Monolayers, Multilayers und Nanolayers • Nanocomposites, TripleCoatings3® und Coatings4® • Hauptstandardschichten: AlCrN3, ALL4®, TiXCo4®

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Hardware

Zykluszeiten*

• Maschinenmaße: W4882 x D2181 x H3354 mm • Interne Maße der Vakuumkammer: W1000 x D1000 x H1100 mm • Nutzbares Plasmavolumen: ø700 x H750 mm • Beschichtungsvolumen: ø700 x H700 mm • Max. Substratlast: 400 kg • BIAS: 20 kW, 350 kHz, 750 V • Doppelwand, Edelstahl, wassergekühlte Kammer • Frontladung, exzellenter Zugang • 3 LARC®-XL rotierende Kathoden • 2 PLATIT Kathoden mit Schnellladesystem • Alle 5 Kathoden gesteuert durch gepulste ARC Verstärker • Elektrische Anschlusswerte: 3x400 V, 50-60 Hz, 100 kVA • Modulare Karusselle mit 2, 4, 8, 12 Satelliten

• Schaftwerkzeuge (2 µm): ø10 x 70 mm, 1056 Stück: 7.0 h • WSP (3 µm): ø20 x 6 mm, 6720 Stück: 7.5 h • Walzenstirnfräser (4 µm): ø80 x 180 mm, 48 Stück: 8.0 h *: Die Chargenzeiten sind unter folgenden Bedingungen erreichbar: • Vollhartmetall-Werkzeuge (keine Ausgasung notwendig) • Reinigung der Werkzeuge mit hoher Qualität (kurzes Ätzen) • kontinuierlicher Betrieb (vorgeheizte Kammer) • 5-Kathodenprozesse • Verwendung von Schnellkühlung (z.B. mit Helium, Öffnung der Kammer bei 200 °C) • 3 Chargen / Tag


Wichtigste Merkmale Anlage mit hoher Kapazität • 5 Kathoden können gleichzeitig laufen 3x LARC®-XL LAteral Rotating Cathodes • Hauptkathoden: Ti, Al, AlSi+, Cr, TiSi 2x Planar-ARC-Kathoden • Hauptkathoden: AlCr, AlTi, Ti • Abscheidung von TripleCoatings3® und Coatings4® • Bis zu 3 Chargen / Tag, sogar 3 verschiedene Schichten

Hohe Beladbarkeit • Robuste und einfache Chargenbeladung

Optimale Haftung durch ®

• und • GD • • Planar Shutter für die Planarkathoden

Hauptanwendungsfelder

®

• Stempel und Matrizen mit kleinen und grossen Dimensionen (fürs Prägen, Feinstanzen, Stempeln, Biegen, etc.) • Schneidewerkzeuge besonders mit grösseren Dimensionen (Sägeblätter, Abwälzfräser, Räumnadeln) • Lohnbeschichtung

®

Kombination aus 2 PLATIT Technologien Heizer 5: Planarkathode 2 Standard AlCr

4: Planarkathode 1 Standard AlCr

Planar Shutter 2

Planar Shutter 1

Heizer

Heizer

Satelliten Standard 8 Substratkarussell

®

®

®

1: LARC®-XL Kathode 1 Standard Ti

2: LARC®-XL Kathode 2 Standard Al

3: LARC®-XL Kathode 3 Standard Cr

5


Wichtigste Anwendungsfelder der Stempel und Matrizen

Für Lohnbeschichter mit einfacher Beladung gemischter Chargen

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Formwerkzeuge für Tiefziehen, Feinstanzen, Stempeln, Biegen

Schneidewerkzeuge mit grösseren Dimensionen (Sägeblätter, Abwälzfräser, Räumnadeln)


Karusselle und Handhabungsgeräte

Kathodentürme 3+1 Turm 4+4 Turm

Herausnahme der rotierenden Kathode aus der Holzbox mit dem FL380 Lift für den Kathodenwechsel

FL380 Lift mit Kathode

Karussell mit Einfachrotation für Stempel und Matrizen

Karussell mit Einfachrotation für Sägeblätter - Dmax=700mm

Karussell mit 2 Achsen für Sägeblätter mit Überlappung Dmax=450 mm

Karussell mit 4 Achsen für Stempel und Matrizen Dmax=300 mm

Karussell mit 8 Achsen für Zerspanwerkzeuge D-Gearbox=172 mm

Karussell mit 12 Achsen für Abwälzfräser Dmax=110 mm

7


Hauptschichten der

ALL3®: AlTiCrN3

ALL4®

ALL4®

AlCrN3

AlTiN3 CrTiN3 TiN 8


ALL4®: AlCrTiN4

TiXCo4®

nACRo4®

nACo4®

nACoX4® 9


Standardschichten der

® 3 TripleCoatings

TripleCoatings3®

CrTiN3: Zum Umformen CrTiN - Cr/TiN-NL - CrN oder TiN : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: Ti/Cr – 5: Ti/Cr

AlTiN3: Für universellen Einsatz TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlTi33 – 5: AlTi33

3

AlCrN : Für Trockenzerspanung abrasiver Materialien CrN - Al/CrN-NL - AlCrN : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr30 – 5: AlCr30

ALL3®: AlTiCrN3: Universell für Zerspanung und Umformen CrTiN - Al/CrN-NL - AlTiCrN - (CrCN optional) : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr30 – 5: AlCr30

Was sind TripleCoatings3® ?

TripleCoatings3®

Was sind

Ziel der TripleCoatings3® ist die Kombination von 3 Merkmalen: • optimale Haftschicht (z.B. TiN, CrN) • zähe Kernschicht (z.B. Multi- oder Nanolayerschicht) • harte verschleissfeste Topschicht (z.B. Nanocomposites)

Coatings4® ? Ziel der QuadCoatings4®: • Integration eines 4. Merkmals, zusätzlich zu TripleCoatings3® z.B.: • 4. Schichtblock • extreme Wärmeisolierung durch AlON • Schmierung durch CrCN

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® 4 Coatings ALL4®: AlCrTiN4: Für Nass- und Trockenbearbeitung CrTiN - AlCrTiN-G - Al/CrN-NL - AlCrTiN - (CrCN optional) : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr30 – 5: AlCr30

nACo4®: Für universellen Einsatz, Drehen, Bohren TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL - nACo : 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi

– 4: AlTi33 – 5: AlTi33

nACRo4®: Für Superlegierungen, Fräsen, Abwälzfräsen CrN - AlCrN-G - AlCrN-NL - nACRo : 1: none – 2: AlSi+ – 3: Cr

– 4: AlCr30 – 5: AlCr30

TiXCo4®: Für superharte Bearbeitung TiN - nACo-G - nATCRo-NL - TiSiN : 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi

– 4: AlTi33 – 5: AlTi33

nACoX4®: Für HSC Trockendrehen und Fräsen TiN - AlTiN - nACo - AlCrON : 1: Ti – 2: AlSi+ – 3: AlCr-OXI – 4: AlTi33 – 5: AlTi33

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Schichtkompass Einsatzempfehlungen Zerspanen Drehen

Fräsen Sägen Abwälzfräsen

Spanloses Formen

Bohren Reiben Räumen

Gewinden

Kunststoffformen

Stempeln Stanzen

Umformen Tiefziehen Extrudieren

Unlegierte Stähle < 1000 N/mm2

nACo®

ALL®

nACo®

ALL®

nACVIc®

AlCrN

ALL®-Tribo

AlTiN

nACRo®

AlTiN

SCILVIc®

CrTiN

nACVIc®

nACRo®

Unlegierte Stähle > 1000 N/mm2

®

AlCrN

ALL®-Tribo

ALL®

nACRo®

Gehärtete Stähle < 55 HRC

TiXCo

TiXCo

Gehärtete Stähle > 55 HRC

TiXCo® ®

Hochlegierte Stähle

nACo®

nACo

ALL

nACo

AlTiN

nACRo®

AlTiN

nACo®

nACo®

nACo®

®

®

®

ALL®

TiXCo®

TiXCo®

TiXCo®

AlCrN

®

®

nACo®

TiXCo®

nACo

TiXCo

nACoX4®

TiXCo®

ALL

Superlegierungen Ti-basiert

ALL®

nACRo®

nACo

ALL

Guss

nACo®

nACo®

Kupfer Bronze, Messing, Plastik Graphit

®

nACRo

nACo

Aluminium Si < 12%

ALL®

nACo®

nACoX4®

®

nACoX

SCILVIc

nACo

CROMTIVIc

SCILVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc® ®

SCILVIc

®

®

®

CROMTIVIc

®

CROMTIVIc

CROMTIVIc® nACVIc®

®

CROMTIVIc® nACVIc®

nACVIc®

nACVIc® CROMTIVIc

CROMTIVIc

®

nACVIc®

nACVIc®

®

ALL®-Tribo

ALL®-Tribo

ALL®-Tribo ®

nACVIc®

®

ALL®

®

®

CROMTIVIc®

nACRo®

nACo®

ALL®

AlTiN

AlTiN

AlTiN

CrN

AlCrN

Superlegierungen Ni-basiert

®

SCILVIc® SCILVIc®

®

®

nACVIc

®

TiXCo

ALL® 4®

ALL

®

nACo®

nACo

nACo

nACoX

Aluminium Si > 12%

®

®

nACRo®

nACRo®

AlCrN

nACVIc®

TiCN

SCILVIc®

TiCN

ALL®-Tribo

CROMTIVIc®

TiB2

TiB2

TiB2

TiB2

TiB2

TiB2

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CrN

CrN

CrN

CrN

CrN

CrN

CrN

TiCN

TiCN

TiCN

SCILVIc®

TiCN

TiCN

®

®

nACRo

nACRo

nACRo

TiCN

TiCN

TiB2

CROMTIVIc CROMVIc

®

CROMTIVIc CROMVIc

®

®

CROMTIVIc CROMVIc

®

CROMTIVIc CROMVIc

®

TiXCo®

TiXCo®

TiXCo®

Kohlenstofffaserverstärkte Kunststoffe

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

TiXCo®

TiXCo®

TiXCo®

TiXCo®

Holz

CROMTIVIc® nACVIc

CROMTIVIc® nACVIc

®

Hauptvorschlag: Wenn verfügbar, diese Schicht für die Anwendung verwenden.

CROMTIVIc® nACVIc

®

Schicht A Schicht B

CROMTIVIc

TiCN ®

CROMTIVIc®

TiXCo®

®

CROMTIVIc

®

CROMTIVIc® nACVIc® Alternativvorschlag: Die Schicht verwenden, wenn der Hauptvorschlag nicht verfügbar ist.

Editor: Dr. Tibor Cselle Pi1511ev7

Design:

• Schichtdicke und -struktur können und sollen unterschiedlich sein, entsprechend der verschiedenen Anwendungsprozesse auch für dieselbe Schicht. • Der Exponent x (Schichtx) wird dadurch bestimmt, welche Schichtgeneration die Maschine abscheiden kann.

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