Page 1

Advanced Coating Systems SWISS

QUALITY

www.platit.com

Die grosse Beschichtungsanlage der Serie


MoDeC® Innovationen PLATITs Beschichtungskonzept - Modular Dedicated Coating - erlaubt eine Vielzahl von Konfigurationen der Kathoden (Arten und ® Positionen), entsprechend dem Beschichtungsauftrag. MoDeC ist die treibende Kraft hinter PLATIT-Innovationen. Neue Schichten und Anlagen werden nach diesem Grundsatz entwickelt.

2 LARC®+ Kathoden LARC® Technologie: LAteral Rotating Cathodes • Die neue Generation der ersten industriellen, kompakten Beschichtungsanlage für Nanocomposite-Schichten • Das Herz der schlüsselfertigen Beschichtungssysteme für KMUs • Ausgewählte TripleCoatings3® • Beschichtungsvolumen: ø355x460 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 288 Stück • 5 Chargen / Tag

MoDe

PL

• Hartstoffanlage mit hoher Kapazität • Das "Arbeitspferd" für Beschichtungszentren • 4 Planar-Kathoden • Konventionelle und ausgewählte TripleCoatings3® • Nutzbares Plasmavolumen: ø700x750 mm • Beschichtungsvolumen: ø700x700 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 1056 Stück • 3 Chargen / Tag

2

Patentiert 2


Serie PLATITs gesamte Produktpalette besteht aus "kompakten" Beschichtungsanlagen. Diese Anlagen werden in einem Stück, mit der Beschichtungskammer im selben Gehäuse wie die Elektronik, geliefert. Dies eliminiert eine teure und zeitraubende Installation vor Ort.

eC

2003

Hochleistungs-Kompaktbeschichtungsanlage • ist die Basismaschine ® • 3 LARC + Kathoden Modular upgradebar mit Optionen: 2 • DLC Option TURBO • Option ® ® • 3 LARC + Kathoden + 1 CERC Kathode ® • hohe Produktivität mit CERC Booster

® • OXI Option ® • SCiL Option: Hochleistungs-Sputtering ® ® • 3 LARC + Kathoden + 1 central SCiL Kathode ® • LACS Option: Simultan LAteral ARCing + CEntral Sputtering • Für konventionelle und Nanocomposite Coatings • Alle TripleCoatings3® und Coatings4® • Beschichtungsvolumen: ø500x460 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräsern: 504 Stück • 5 (bis zu 6) Chargen / Tag

®

Kombination aus LARC und Planar-ARC-Technologien • Grossvolumige Kompaktanlage ® • 3 neu entwickelte LARC -XL rotierende Kathoden in der Tür • 2 Planarkathoden im hinteren Bereich als Booster • Alle 5 Kathoden können gleichzeitig beschichten • Für konventionelle und Nanocomposite Schichten • Ausgewählte TripleCoatings3® und Coatings4® • Nutzbares Plasmavolumen: ø700 x 750 mm • Beschichtungsvolumen: ø700 x 700 mm • Beladung mit ø10mm Schaftfräser: 1056 Stück • 3 Chargen / Tag

3


PLATIT Allgemeine Informationen

Elektronik und Software

• Hartstoff-Beschichtungsanlage mit hoher Kapazität • Basierend auf PLATIT's Technologien mit rotierenden ® (LARC ) und Planar-ARC-Kathoden • Schichten auf HSS und Hartmetall (T £ 500°C)

• Industrielles PLC (programmable logic) System • Industrielles PC System • Bedienung per Touch-Screen • Vollständig menügeführter Prozess • Einfache Ferndiagnose und Hilfsfunktionen • Keine Programmiererfahrung notwendig für Prozesssteuerung • Bedienungsanleitung auf interaktiver CD

Hartstoffschichten • Monolayers, Multilayers und Nanolayers • Nanocomposites, TripleCoatings3® und Coatings4® • Hauptstandardschichten: AlCrN3, AlCrTiN4®, TiXCo4®

4

Hardware

Zykluszeiten*

• Maschinenmaße: W4882 x D2181 x H3354 mm • Interne Maße der Vakuumkammer: W1000 x D1000 x H1100 mm • Nutzbares Plasmavolumen: ø700 x H750 mm • Beschichtungsvolumen: ø700 x H700 mm • Max. Substratlast: 400 kg • BIAS: 20 kW, 350 kHz, 750 V • Doppelwand, Edelstahl, wassergekühlte Kammer • Frontladung, exzellenter Zugang • 3 LARC®-XL rotierende Kathoden • 2 PLATIT Kathoden mit Schnellladesystem • Alle 5 Kathoden gesteuert durch gepulste ARC Verstärker • Elektrische Anschlusswerte: 3x400 V, 50-60 Hz, 100 kVA • Modulare Karusselle mit 2, 4, 8, 12 Satelliten

• Schaftwerkzeuge (2 µm): ø10 x 70 mm, 1056 Stück: 7.0 h • WSP (3 µm): ø20 x 6 mm, 6720 Stück: 7.5 h • Walzenstirnfräser (4 µm): ø80 x 180 mm, 48 Stück: 8.0 h *: Die Chargenzeiten sind unter folgenden Bedingungen erreichbar: • Vollhartmetall-Werkzeuge (keine Ausgasung notwendig) • Reinigung der Werkzeuge mit hoher Qualität (kurzes Ätzen) • kontinuierlicher Betrieb (vorgeheizte Kammer) • 5-Kathodenprozesse • Verwendung von Schnellkühlung (z.B. mit Helium, Öffnung der Kammer bei 200 °C) • 3 Chargen / Tag


Wichtigste Merkmale Anlage mit hoher Kapazität • 5 Kathoden können gleichzeitig laufen ® 3x LARC -XL LAteral Rotating Cathodes • Hauptkathoden: Ti, Al, AlSi+, Cr, TiSi 2x Planar-ARC-Kathoden • Hauptkathoden: AlCr, AlTi, Ti • Abscheidung von TripleCoatings3® und Coatings4® • Bis zu 3 Chargen / Tag, sogar 3 verschiedene Schichten

Hohe Beladbarkeit • Robuste und einfache Chargenbeladung

Optimale Haftung durch ®

• und • GD • • Planar Shutter für die Planarkathoden

Hauptanwendungsfelder

®

• Stempel und Matrizen mit kleinen und grossen Dimensionen (fürs Prägen, Feinstanzen, Stempeln, Biegen, etc.) • Schneidewerkzeuge besonders mit grösseren Dimensionen (Sägeblätter, Abwälzfräser, Räumnadeln) • Lohnbeschichtung

®

Kombination aus 2 PLATIT Technologien Heizer 5: Planarkathode 2 Standard AlCr

4: Planarkathode 1 Standard AlCr

Planar Shutter 2

Planar Shutter 1

Heizer

Heizer

Satelliten Standard 8 Substratkarussell

®

®

®

1: LARC®-XL Kathode 1 Standard Ti

2: LARC®-XL Kathode 2 Standard Al

®

3: LARC -XL Kathode 3 Standard Cr

5


Wichtigste Anwendungsfelder der Stempel und Matrizen

Für Lohnbeschichter mit einfacher Beladung gemischter Chargen

6

Formwerkzeuge für Tiefziehen, Feinstanzen, Stempeln, Biegen

Schneidewerkzeuge mit grösseren Dimensionen (Sägeblätter, Abwälzfräser, Räumnadeln)


Karusselle und Handhabungsgeräte

Kathodentürme 3+1 Turm 4+4 Turm

Herausnahme der rotierenden Kathode aus der Holzbox mit dem FL380 Lift für den Kathodenwechsel

FL380 Lift mit Kathode

Karussell mit Einfachrotation für Stempel und Matrizen

Karussell mit Einfachrotation für Sägeblätter - Dmax=700mm

Karussell mit 2 Achsen für Sägeblätter mit Überlappung Dmax=450 mm

Karussell mit 4 Achsen für Stempel und Matrizen Dmax=300 mm

Karussell mit 8 Achsen für Zerspanwerkzeuge D-Gearbox=172 mm

Karussell mit 12 Achsen für Abwälzfräser Dmax=110 mm

7


Coatings4® TripleCoatings3® & Erweitertes Schicht-Rezept-Set

ALL4®: AlCr

ALL4®

ALL4

SCiL ®

®

DLC-V ® Ic

o nAC

Ro C A n

AlCrN3

®

AlTiN3

®

CrTiN3

®

TiN 8

TiXCo 3 ®


rTiN4

®

AlTiCrN4

®

4

iN T r C l 4® : A ALL rN C i T Al AlCrN Dedic ated

TiXCo4

®

®

nACo 4 ® X

nACRo4

nACo4

®

nACoX4® 9


Standardschichten der

® 3 TripleCoatings

TripleCoatings3®

CrTiN3®: Zum Umformen CrTiN - Cr/TiN-NL - CrN or TiN : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: Ti/Cr – 5: Ti/Cr

AlTiN3®: Für universellen Einsatz TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlTi – 5: AlTi

AlCrN : Für Trockenzerspanung abrasiver Materialien CrN - Al/CrN-NL - AlCrN : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

Was sind TripleCoatings3® ?

TripleCoatings3®

Was sind

Ziel der TripleCoatings3® ist die Kombination von 3 Merkmalen: • optimale Haftschicht (z.B. TiN, CrN) • zähe Kernschicht (z.B. Multi- oder Nanolayerschicht) • harte verschleissfeste Topschicht (z.B. Nanocomposites)

Coatings4® ? Ziel der QuadCoatings4®: • Integration eines 4. Merkmals, zusätzlich zu TripleCoatings3® z.B.: • 4. Schichtblock • extreme Wärmeisolierung durch AlON • Schmierung durch CrCN

10


® 4 Coatings ALL4®: AlCrTiN4®: Für Nass- und Trockenbearbeitung CrTiN - AlCrTiN-G - Al/CrN Multilayer - AlCrTiN - (CrCN optional) : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5: AlCr

AlTiCrN4®: Zum Gewinden und Umformen CrTiN - AlTiCrN-G - Al/CrN Multilayer - AlTiCrN - (CrCN optional) : 1: Ti – 2: Al – 3: Cr – 4: AlCr – 5:AlCr

nACo4®: Für universellen Einsatz, Drehen, Bohren TiN - AlTiN-G - AlTiN-NL - nACo : 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi

– 4: AlTi – 5: AlTi

nACRo4®: Für Superlegierungen, Fräsen CrN - AlCrN-G - AlCrN-NL - nACRo : 1: none – 2: AlSi+ – 3: Cr

– 4: AlCr – 5: AlCr

TiXCo4®: Für superharte Bearbeitung TiN - nACo-G - nATCRo-ML - TiSiN : 1: Ti – 2: Al – 3: TiSi

– 4: AlTi – 5: AlTi

nACoX4®: Für HSC Trockendrehen und Fräsen TiN - AlTiN - nACo - AlCrON : 1: Ti – 2: AlSi+ – 3: AlCr-OXI – 4: AlTi – 5: AlTi

11


Schichtkompass Einsatzempfehlungen Zerspanen Drehen

Fräsen Sägen Abwälzfräsen

Spanloses Formen

Bohren Reiben Räumen

Gewinden

Kunststoffformen

Stempeln Stanzen

Umformen Tiefziehen Extrudieren

nACo

ALL4®

nACo

AlTiCrN

nACVIc

AlCrN

AlTiCrN (+CrCN)

AlTiN

nACRo

AlTiN

TiCC

CrTiN

nACVIc

TiCC

Unlegierte Stähle > 1000 N/mm2

nACo

ALL4®

nACo

AlTiCrN

nACVIc

AlCrN

AlTiCrN (+CrCN)

AlTiN

nACRo

AlTiN

TiCC

CrN

ALL4®

TiCC

Gehärtete Stähle < 55 HRC

nACo

nACo

nACo

nACo

AlCrN

TiXCo

TiXCo

TiXCo

TiCC

ALL4®

Gehärtete Stähle > 55 HRC

TiXCo

TiXCo

TiXCo

TiXCo

AlCrN

nACo

nACo

nACo

nACo

nACo

ALL4®

nACo

ALL4®

ALL4®(+CrCN)

ALL4®(+CrCN)

ALL4®(+CrCN)

Unlegierte Stähle < 1000 N/mm2

Hochlegierte Stähle

TiXCo

nACRo

TiXCo

TiCC

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

nACoX4®

nACoX4®

TiXCo

nACVIc

nACVIc

nACVIc

nACVIc

nACo

AlTiCrN

nACo

TiCC

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

Superlegierungen Ti-basiert

ALL4®

nACRo

nACRo

CROMTIVIc

nACVIc

nACVIc

nACVIc

nACRo

ALL4®

ALL4®

TiCC

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

Guss

nACo

nACo

nACo

nACRo

AlTiN

AlTiN

AlTiN

AlTiCrN

nACRo

nACRo

nACRo

nACRo

nACRo

AlCrN

nACVIc

TiCN

TiCN

TiCN

TiCC

TiCN

TiB2

TiB2

TiB2

TiB2

TiB2

TiB2

TiB2

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

ZrN

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

nACoX Superlegierungen Ni-basiert

Aluminium Si > 12% Aluminium Si < 12% Kupfer

CROMTIVIc

CrN

CrN

CrN

CrN

CrN

CrN

CrN

Bronze, Messing, Plastik

TiCN

TiCN

TiCN

TiCC

TiCN

TiCN

TiCN

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

CROMTIVIc

Graphit

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

CROMVIc3®

TiXCo3®

TiXCo3®

TiXCo3®

TiXCo3®

CROMVIc

CROMVIc

CROMVIc

CROMVIc3®

Kohlenstofffaserverstärkte Kunststoffe

TiXCo

TiXCo

TiXCo

TiXCo

Holz

CROMTIVIc

CROMTiVic

CROMTiVic

CROMTiVic

nACVIc

nACVIc

nACVIc

nACVIc

Hauptvorschlag: Wenn verfügbar, diese Schicht für die Anwendung verwenden.

Schicht A Schicht B

Alternativvorschlag: Die Schicht verwenden, wenn der Hauptvorschlag nicht verfügbar ist.

Editor: Dr. Tibor Cselle Pi1511dv4

Design:

• Schichtdicke und -struktur können und sollen unterschiedlich sein, entsprechend der verschiedenen Anwendungsprozesse auch für dieselbe Schicht. • Der Exponent x (Schichtx) wird dadurch bestimmt, welche Schichtgeneration die Maschine abscheiden kann.

Pi1511 German  
Read more
Read more
Similar to
Popular now
Just for you