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テープエキスパンダー Tape Expander 概要 ダイシング後のチップピックアップ、 レーザースクライブ後のチップブレ イクを容易にするため、 ダイシングテープを均一に拡張させる装置です。

Overview This machine is used to expand the dicing tape evenly for facilitate chip pickup and chip breaking after laser scribing.

特長 モーター駆動により安定した拡張性を実現 伸びにくいフィルムでも高い拡張が可能 ● カッター刃のインターロック機能付 ● ●

Features ●

Motor driving system allows for stable expansion Increased expansion of low-stretch tape ● Interlock mechanism for the cutter blade ●

機能

Functions

ステージ加温可能(室温∼100 ℃) 拡張ストローク調節(1 mm 単位、最大90 mm) ● ステージ上昇速度調節 (下表参照) ●

Stage can be heated up to 100 °C Expansion stroke length is adjustable (up to 90 mm, at 1 mm increments) ● Stage lifting speed is adjustable (see the specifications below)

仕様/Specifications

ステージ上昇速度/Stage lifting speed

品名/Model Number

TAE-600

最大ウエハサイズ/Maximum Wafer Size

6 inches

8 inches

対応フレームサイズ/Frame Size

6 inches

4 inches, 5 inches, 6 inches

目盛

Scale

上昇速度(mm/sec) Lifting Speed (mm/sec)

10

2.2

20

3.7

30

4.8

40

5.8

50∼

上昇速度40と同じ Same lifting speed as that of scale 40

TAE-800

寸法 ( W x D x H )/Dimension ( W x D x H ) 400 mm × 665 mm × 445 mm 400 mm × 665 mm × 445 mm 重量/Weight

35 kg

電源/Power Supply

40 kg

Single Phase AC 100 V, 5 A, 50/60 Hz

エキスパンドリングサイズ/Expand Ring Size 対応 フレーム サイズ

インナーリング/Inner Ring

2.2内径 ID

アウターリング/Outer Ring

2.2外径 OD

内径 ID

厚み

Thickness

外径 OD

Frame Size

inches

mm

inches

mm

inches

mm

inches

mm

inches

mm

2-6-1

7.670

194.82

7.973

202.51

7.975

202.57

8.280

210.31

0.236

5.99

2-8-1

8.856

224.94

9.176

233.07

9.178

233.12

9.498

241.24

0.236

5.99

エキスパンドリング・クランプリングサイズ/Expand Ring・Clamp Ring Size 対応 フレーム サイズ

6

エキスパンドリング/Expand Ring 内径

外径

厚み

Frame Size

ID (mm)

OD (mm)

Thickness (mm)

2-6-1

180

190

2-8-1

225

235

クランプリング/Clamp Ring 内径

外径

厚み

Material

ID (mm)

OD (mm)

Thickness (mm)

Material

20

アルミ Aluminum

180

195

10

樹脂 Resin

20

アルミ Aluminum

225

240

10

樹脂 Resin

材質

材質

クランプリング取り外しツール(別売) Tool for removing the clamp ring is also available.

da_tape_expander  
da_tape_expander  

It is a product pamphlet of da_tape_expander

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